target atomsとは 意味・読み方・使い方

Further, each target atom shielding plate 17 is provided so as to shield the flying of the target atoms sprung out from both the edge parts in the parallel direction to the rotary axis 12a of the rotary drum 12 of the target 14 than the flying of the target atoms sprung out from the central part sandwiched between both the edge parts.例文帳に追加

また、ターゲット原子遮断板１７は、ターゲット１４のうち、回転ドラム１２の回転軸１２Ａに対して平行方向における両端部からはじき出されるターゲット原子の飛来を、上記両端部に挟まれた中央部からはじき出されるターゲット原子の飛来よりも、遮断するように設けられている。 - 特許庁

The deposition apparatus 1 is an apparatus for depositing a film by a PLD (pulsed laser deposition) method where a target 3 placed on a rotating targer table 5 is irradiated with a laser beam 42 emitted from a laser part 4 to excite atoms constituting the target 3 and liberate metal atoms from the target 3 by a thermal/photochemical action.例文帳に追加

成膜装置１は、ＰＬＤ法によって成膜する装置であり、レーザ部４からレーザ光４２を、回転するターゲット台５に載置されたターゲット３に照射し、ターゲット３を構成する原子を励起し、熱的・光化学的作用により、ターゲット３から金属原子を遊離させる。 - 特許庁

The space between a target 8 emitting atoms by a sputtering method and a substrate 14 on which a thin film has been formed by the atoms is deposited with a pole board 16 and a pole board 18.例文帳に追加

スパッタリング法により原子を放出するターゲット８と、この原子により薄膜が形成される基板１４の間に磁極板１６と磁極板１８が配置されている。 - 特許庁

Thereby, atoms 70 in the target material, even if they are unevenly emitted and scattered from the target 4, uniformly deposits on the whole surface of the wafer 8.例文帳に追加

したがって、ターゲット材料の原子７０がターゲット４から不均一に分散して飛び出したとしても、ターゲット材料の原子はウェハー８の表面に対し場所によらず均一に被着する。 - 特許庁

To provide a magnetron sputtering reactor capable of ionizing 15% or more of the metal atoms sputtered from a target.例文帳に追加

本発明は、ターゲットからスパッタされる金属原子の１５％またはそれ以上をイオン化することができるマグネトロンスパッタリアクターを提供する。 - 特許庁

Then, target atoms are beaten out by the generated plasma, and the electrode is formed on a wiring pattern exposed from the opening part 110.例文帳に追加

そして、該発生したプラズマによってターゲット原子を叩き出し、開口部１１０から露呈した配線パターン上に電極を形成する。 - 特許庁

The recessed and projected parts cause the target atoms knocked out in an oblique direction at a predetermined angle from recessed positions of the sputtering surface to collide with a sidewall of the recessed and projected parts, thereby preventing the target atoms knocked out in an oblique direction from being discharged from the sputtering surface.例文帳に追加

そして、前記凹凸形状部は、前記スパッタ面の凹部位置から所定の角度で斜め方向に叩き出されたターゲット原子を前記凹凸形状部の側壁に衝突させることで、前記斜め方向に叩き出されたターゲット原子が前記スパッタ面から放出されることを防いでいる。 - 特許庁

The AlOx 2b can be formed by using Al as a target material and using an Ar as a sputtering gas, or by using a target made of Al containing oxygen atoms.例文帳に追加

ＡｌＯ__x 膜２ｂは、Ａｌをターゲットとして、スパッタガスとしてＯ_2 を含むＡｒガスを用いることで形成するか、若しくはターゲットに酸素元素を含むＡｌを用いることで形成することが可能である。 - 特許庁