tem analysisとは 意味・読み方・使い方

To shorten a time required for the analysis of a multiple-conductor coupling line constituted of a TEM line, and to more easily perform the analytic processing than a conventional manner.例文帳に追加

ＴＥＭ線路からなる多導体カップリング線路の解析に要する時間を短縮し、その解析処理を従来に比べ容易に行うことができるようにする。 - 特許庁

To form a section on a desired position of a semiconductor device having a fine structure without impairing the original section shape, and to enable section analysis by a SEM, a TEM or the like.例文帳に追加

本来の断面形状を損なうことなく、微細構造を有する半導体装置の所望位置に断面を形成し、ＳＥＭあるいはＴＥＭ等による断面解析を可能とする。 - 特許庁

The tissue structure has the structural characteristic in which the crystal structure substantially exclusive of a graphite structure does not substantially exist, the diffraction lines belonging to the metal Si and Si compound by the pattern analysis using an X-ray diffraction method are not detected and the granular structure is not identifiable by the observation of a transmission type electronmicroscope(TEM).例文帳に追加

その組織構造は、実質的に黒鉛構造以外の結晶構造が存在せず、Ｘ線回折法によるパターン解析により金属Ｓｉ及びＳｉ化合物に帰属する回折線が検出されず、透過型電子顕微鏡(TEM) の観察によって粒状組織が識別できない組織性状を備えている。 - 特許庁

Hereby, the sample 10 for analysis suitable for analyzing the surface state and the state of a plane parallel to the surface by using a SEM or a TEM can be formed easily and highly accurately without fouling the surface of an analysis object film pattern 14.例文帳に追加

これにより解析対象膜パターン１４の表面を汚すことなく、ＳＥＭやＴＥＭなどを用いた表面状態および表面と平行な面内における状態の解析に好適な解析用試料１０を、高精度かつ容易に形成することができる。 - 特許庁

To provide a cathode luminescence specimen holder to easily perform cathode luminescence analysis by using an existing transmission electron microscope (TEM) and a spectroscopic analyzer using the cathode luminescence specimen holder.例文帳に追加

既設の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いてカソードルミネッセンス分析を容易に行うことを可能とするカソードルミネッセンス用試料ホルダ、及び該カソードルミネッセンス用試料ホルダを用いた分光分析装置を提供する。 - 特許庁

The device for preparing a plane TEM sample comprises a glow discharge emission spectral analysis (GDS) device part 102 and an ion milling device part 103, and sets a control program corresponding to a specific element contained in a sample 5 comprising a multilayer film.例文帳に追加

平面ＴＥＭ試料作製装置はグロー放電発光分光分析（ＧＤＳ）装置部１０２とイオンミリング装置部１０３とを備え、多層膜からなる試料５に含まれる特定元素に対応した制御プログラムを設定する。 - 特許庁

To sample quickly a slice specimen processed for analyzing by observation, instrumental analysis or the like by means of TEM or STEM, a foreign matter or a defect existing on the surface of a semiconductor wafer or the like or inside thereof.例文帳に追加

本発明の目的は、半導体ウェハ等の表面や内部にある異物や欠陥などをＴＥＭもしくはＳＴＥＭで観察や分析など解析するために加工された薄片試料を迅速に採取することに関する。 - 特許庁

To provide an electron microscope holder having high X-ray detection efficiency even in an EDX analysis by an X-ray analyzer of a low angle for extracting a sample for TEM observation in cross section produced by the FIB processing and to provide a spacer for use therefor.例文帳に追加

ＦＩＢ加工により作製した断面ＴＥＭ観察用試料の、低取り出し角のＸ線分析器によるＥＤＸ分析においても、高いＸ線検出効率を有する電子顕微鏡ホルダー及びこれに用いるスペーサーを提供する。 - 特許庁