tetrabutylammonium hydroxideとは 意味・読み方・使い方

The photoresist stripping solution comprises (a) a quaternary ammonium hydroxide such as tetrabutylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, methyltributylammonium hydroxide or methyltripropylammonium hydroxide, (b) a water-soluble amine, (c) water, (d) an anticorrosive and (e) a water-soluble organic solvent, wherein the mass ratio of the component (a) to the component (b) is 1:3 to 1:10.例文帳に追加

（ａ）テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、メチルトリブチルアンモニウムヒドロキシド、メチルトリプロピルアンモニウムヒドロキシド等の第４級アンモニウム水酸化物、（ｂ）水溶性アミン、（ｃ）水、（ｄ）防食剤、および（ｅ）水溶性有機溶媒を含有し、（ａ）成分：（ｂ）成分＝１：３〜１：１０（質量比）であるホトレジスト用剥離液。 - 特許庁

The base reactive group is typically reactive under typical photoresist developing conditions, for example, in a single puddle development process with a 0.26 N tetrabutylammonium hydroxide developer composition.例文帳に追加

塩基反応性基は、典型的なフォトレジスト現像条件、例えば、０．２６Ｎのテトラブチルアンモニウムヒドロキシド現像剤組成物でのシングルパドル現像下で典型的に反応性である。 - 特許庁

The graphene oxide is a macro-porous massive graphene oxide having an aspect ratio of 0.1-1, an average particle size of 1-44 μm, and not being pulverized to a thin leaf form when treating with an aqueous tetrabutylammonium hydroxide solution.例文帳に追加

アスペクト比が０．１〜１であり、平均粒径が１〜４４μｍであり、且つテトラブチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で処理したときに薄葉状に微細化しない、マクロ多孔質である塊状グラフェンオキサイド。 - 特許庁

The developing solution for photolithography contains (A) tetrabutylammonium hydroxide, and at least one selected from the group consisting of (B1) alcohol, (B2) a surfactant, and (B3) a clathrate.例文帳に追加

本発明は、（Ａ）水酸化テトラブチルアンモニウムと、（Ｂ１）アルコール、（Ｂ２）界面活性剤及び（Ｂ３）包接化合物からなる群より選択される少なくとも１つと、を含むフォトリソグラフィ用現像液である。 - 特許庁

To provide a developing solution for photolithography, in which tetrabutylammonium hydroxide (TBAH) is used as an alkaline agent of the developing solution and deposition of TBAH is suppressed.例文帳に追加

水酸化テトラブチルアンモニウム（ＴＢＡＨ）が現像液のアルカリ剤として使用され、かつ、ＴＢＡＨの析出が抑制されたフォトリソグラフィ用現像液を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for producing a developing solution for photolithography, suppressing deposition of TBAH (Tetrabutylammonium Hydroxide) upon producing a developing solution having a desired concentration of TBAH by diluting a concentrated developing solution containing TBAH with pure water, and also to provide an apparatus used for the production method.例文帳に追加

水酸化テトラブチルアンモニウム（ＴＢＡＨ）を含む濃縮現像液を純水で希釈して所望のＴＢＡＨ濃度を有する現像液を製造する際、ＴＢＡＨの析出を抑制することのできるフォトリソグラフィ用現像液の製造方法、及びそのような製造方法に使用される製造装置を提供すること。 - 特許庁