エアフロートの英語

エアフロート装置例文帳に追加

AIR FLOAT DEVICE - 特許庁

エアフロート装置例文帳に追加

AIR FLOAT SYSTEM - 特許庁

基板加工装置１は、エアフロート等の加工支持装置９によりＺ方向精度を維持して基板３の加工を行うので、加工精度を維持することができる。例文帳に追加

The substrate processing apparatus 1 performs processing of a substrate 3 by maintaining a z-directional accuracy by a processing supporting apparatus 9 such as an air float, thus making it possible to maintain a processing accuracy. - 特許庁

エアフロート層１４に流入するエアの流量又は流速は、温度センサ、湿度センサ、エア流量又は流速センサ１９・・による検出値に基づいて制御する。例文帳に追加

The flow rate or flow speed of the air flowing into the air floating layer 14 is controlled on the basis of the detection values of the temperature sensors, the humidity sensors and the air flow rate or flow speed sensors 19. - 特許庁

このチップ押し出し部材３は、ラック本体１の後方側より注入されるエアにより常に前方側に向け移動するように付勢されたエアフロート式のものとすることができる。例文帳に追加

This tip pushing out member 3 can be designed to be an air-float type which is energized to always move forward by air filled from the rear of the rack body 1. - 特許庁

ウェハ保持ヘッド３内に設けたバックプレート１１とウェハＷとの間に、予め設定した温度、湿度、流量又は流速に調整されたエアを連続して流動させるエアフロート層１４を形成する。例文帳に追加

An air floating layer 14 for continuously circulating air adjusted at a previously set temperature, humidity, flow rate or flow speed is formed between a backplate 11 disposed on a wafer holding head 3 and a wafer W. - 特許庁

主動偏揺制御技術を利用し、エアフロート主軸に応用し、主軸外部のセンサで直接ツールの軸方向偏揺を測定し、測定データをフィードバック信号となし、ツール切削ポイントを所定の軸方向位置決め精度に保持するよう制御する。例文帳に追加

A tool cutting point is controlled so as to maintain predetermined axial positioning accuracy by using active yaw control technique and adapting it in an air float main spindle, directly measuring an axial yaw of a tool by a sensor outside a main spindle, and using measurement data as a feedback signal. - 特許庁