「リフターピン」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

その後、エアシリンダを使用してリフターピンを上昇させることによりリフターピンでウェハを保持し（Ｓ１０７）、ハンドリングアームにより後処理室からウェハを搬出する（Ｓ１０８）。例文帳に追加

Then, lifter pins are elevated using air cylinders to hold the wafer by the lifter pins (S107), and a handling arm carries the wafer out of the post treatment chamber (S108). - 特許庁

また、リフターピン６０は、その先端領域より軟質な材料から形成され先端領域を被覆する被覆部を備えている。例文帳に追加

The lifter pin 60 has a covering part formed of material softer than its tip region to cover the tip region. - 特許庁

複数のプレートを積層してなる載置台に設けられるリフターピンの破損や電極の破損を防止することができる。例文帳に追加

To prevent damage to a lifter pin and an electrode provided on a mounting base made of a plurality of stacked plates. - 特許庁

下部電極１０６をプラズマ処理位置から搬送位置に降下させ，ウェハＷをリフターピン１３０で静電チャック１０８のチャック面から離しても，ウェハＷと導電性のリフターピン１３０との間で異常放電が生じることがない。例文帳に追加

Then, a lower electrode 106 is descended from a plasma-treating position to the carrying position, and even if the wafer W is separated from the chuck face of the electrostatic chuck 108 by a lifter pin 130, abnormal discharge can be prevented from being generated between the wafer W and the conductive lifter pin 130. - 特許庁

被処理体の基材が誘電体である場合でも、リフターピン用のピン穴に対応した領域とその周囲の領域とにおいてプラズマ処理がほぼ均一となるプラズマ処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide plasma treatment equipment wherein plasma treatment in a region corresponding to a pin hole for a lifter pin and a peripheral region of the above region becomes almost uniform in the case that base substance of an object is dielectrics. - 特許庁