「Shearing interferometer」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

SHEARING INTERFERENCE MEASURING METHOD AND SHEARING INTERFEROMETER例文帳に追加

シアリング干渉測定方法及びシアリング干渉計 - 特許庁

SHEARING INTERFEROMETER WITH DYNAMIC PUPIL FILL例文帳に追加

ダイナミックピューピルフィルシアリング干渉計 - 特許庁

SHEARING INTERFEROMETER FOR MEASURING FLATNESS例文帳に追加

平面度測定用シヤリング干渉計 - 特許庁

SHEARING INTERFEROMETER AND INTERFERENCE MEASURING DEVICE例文帳に追加

シヤリング干渉計及び干渉計測装置 - 特許庁

SHEARING INTERFEROMETER AND CALIBRATION METHOD THEREFOR例文帳に追加

シアリング干渉測定装置およびその校正方法 - 特許庁

METHOD OF MEASURING PHASE DISTRIBUTION BY USING GRATING SHEARING INTERFEROMETER例文帳に追加

グレーティングシアリング干渉計を用いた位相分布の計測方法 - 特許庁

SHEARING INTERFEROMETER, MEASURING METHOD BY SHEARING INTERFEROMETER, METHOD OF MANUFACTURING PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND EXPOSURE DEVICE例文帳に追加

シアリング干渉計、シアリング干渉計による計測方法、投影光学系の製造方法、投影光学系及び露光装置 - 特許庁

DIFFRACTION DIRECTION MEASURING METHOD OF DIFFRACTION GRATING OF SHEARING INTERFEROMETER FOR EUV例文帳に追加

ＥＵＶ用シアリング干渉計の回折格子の回折方向測定方法 - 特許庁

SHEARING INTERFEROMETER, REFRACTION INDEX DISTRIBUTION MEASURING DEVICE PROVIDED WITH THE INTERFEROMETER AND MEASURING METHOD FOR REFRACTION INDEX DISTRIBUTION例文帳に追加

シアリング干渉計及び該干渉計を備えた屈折率分布測定装置及び屈折率分布の測定方法 - 特許庁

SHEARING INTERFERENCE MEASURING METHOD AND SHEARING INTERFEROMETER, METHOD OF MANUFACTURING FOR PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND PROJECTION EXPOSURE DEVICE例文帳に追加

シアリング干渉測定方法及びシアリング干渉計、投影光学系の製造方法、投影光学系、及び投影露光装置 - 特許庁

To provide a technology advantageous for accurately determining a shear amount in a shearing interferometer.例文帳に追加

シアリング干渉測定装置においてシア量を高精度に決定するために有利な技術を提供する。 - 特許庁

METHOD FOR CALIBRATING SHEARING INTERFEROMETER, METHOD FOR MANUFACTURING PROJECTION OPTICAL SYSTEM, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS例文帳に追加

シアリング干渉計の校正方法、投影光学系の製造方法、投影光学系、及び投影露光装置 - 特許庁

A second grating is disposed on the focal surface to receive the refractive image of an irradiating light to form a Shearing interferometer.例文帳に追加

第２の格子は放射源の回折像を受け取る焦点面に配置されており、シアリング干渉計を形成している。 - 特許庁

To provide a shearing interferometer with dynamic pupil fill which dissolves one or more faults in conventional technology.例文帳に追加

従来技術における１つ若しくはそれ以上の欠点に鑑みそれらを解消する、ダイナミックピューピルフィル走査型干渉計を提供すること。 - 特許庁

To provide a shearing interferometer which can avoid breakages due to collision, and preventing collision of a first reflecting surface and a second reflecting surface which closely face each other in a pair of parallel flat plates for forming a shearing interference pattern.例文帳に追加

シアリング干渉縞を形成するための一対の平行平板の近接対向する第１，２の反射面が衝突することを防止し、衝突による破損を回避できるシアリング干渉計測装置を提供する。 - 特許庁

A laterally offset interference image of a phase shift mask (3) is formed by a shearing interferometer (6, 44), and the interference image is captured by a two-dimensional imaging device (17, 48).例文帳に追加

シャリング干渉計（６，４４）により、位相シフトマスク（３）の横ずらし干渉画像を形成し、当該干渉画像を2次元撮像装置（１７，４８）により撮像する。 - 特許庁

To provide the shearing interferometer, etc., which can obtain interference fringes in two mutually orthogonal directions with simple constitution without using any rotating mechanism or switching mechanism, etc.例文帳に追加

回転機構、又は切り換え機構等を使用せずに、簡易な構成で、相互に直交する２方向について各々干渉縞を得ることができるシアリング干渉計等を提供すること。 - 特許庁

To provide a wave aberration measuring machine using a diffraction grating shearing interferometer for a mirror (reflection) type optical system, which can prevent the analysis of zero-order light or high-order overlapped diffracted light from becoming difficult caused by double diffraction interference.例文帳に追加

ミラー（反射）型光学系に対する回折格子シアリング干渉計を用いた波面収差計測機において、２重の回折干渉を行うので０次光や高次の回折光が重なってしまい解析が困難になってしまうことを防止する。 - 特許庁

In the shearing interferometer using diffraction gratings, two or more kinds of diffraction gratings which have the same operating wavelength and different pitches, and at least one kind of diffraction grating which has an operating wavelength differing from the same operating wavelength, are made up on their common substrate or support body.例文帳に追加

回折格子を用いたシアリング干渉計測装置において、使用波長が同じでピッチの異なる回折格子を二種類以上と、前記使用波長と異なる第二の使用波長用の回折格子を少なくとも一種類を同一の基板、または、同一の支持体上に構成したことを特徴とする。 - 特許庁