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substrate processing systemの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 694件
SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, METHOD FOR PROCESSING SUBSTRATE, AND PROGRAM FOR EXECUTING THE METHOD例文帳に追加
基板処理システム、基板処理方法及び該方法を実行するプログラム - 特許庁
LOAD LOCK DEVICE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM EQUIPPED THEREWITH例文帳に追加
ロードロック装置、それを備えた基板処理装置および基板処理システム - 特許庁
SUPERCRITICAL PROCESSING APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, AND SUPERCRITICAL PROCESSING METHOD例文帳に追加
超臨界処理装置、基板処理システム及び超臨界処理方法 - 特許庁
SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND METHOD OF CONTROLLING THE SAME例文帳に追加
基板処理システム及びその制御方法 - 特許庁
STATISTICAL ANALYSIS METHOD AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM例文帳に追加
統計解析方法及び基板処理システム - 特許庁
SOFTWARE SEQUENCER FOR INTEGRATED SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM例文帳に追加
集積基板処理システムのソフトウェアシーケンサー - 特許庁
SUPPORT OF SUBSTRATE, PROCESSING SYSTEM OF SUBSTRATE COMPRISING SUPPORT, AND PROCESSING PROCESS OF SUBSTRATE例文帳に追加
基板の支持装置及び該装置を備えた基板の処理装置、並びに基板の処理方法 - 特許庁
SUBSTRATE-PROCESSING APPARATUS MANAGEMENT SYSTEM, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, METHOD OF MANAGING SUBSTRATE-PROCESSING APPARATUS, PROGRAM, AND STORAGE MEDIUM例文帳に追加
基板処理装置管理システム、基板処理装置、基板処理装置管理方法、プログラム、および、記録媒体 - 特許庁
METHOD FOR MANAGING SUBSTRATE, SYSTEM FOR PROCESSING SUBSTRATE AND MOUNTING TABLE例文帳に追加
基板管理方法及び基板処理装置並びに載置台 - 特許庁
LOAD PORT SYSTEM OF SUBSTRATE PROCESSOR AND METHOD FOR PROCESSING SUBSTRATE例文帳に追加
基板処理装置のロードポートシステム及び基板の処理方法 - 特許庁
SUBSTRATE CLEANING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM EQUIPPED WITH THE SAME例文帳に追加
基板洗浄装置およびそれを備えた基板処理装置 - 特許庁
SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, SUBSTRATE PROCESSOR, PROGRAM, AND RECORDING MEDIUM例文帳に追加
基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 - 特許庁
PROCESSING METHOD OF SUBSTRATE, COATER AND SUBSTRATE TREATMENT SYSTEM例文帳に追加
基板の処理方法、塗布処理装置及び基板処理システム - 特許庁
METHOD OF PROCESSING SUBSTRATE, PROGRAM, COMPUTER STORAGE MEDIUM, AND SYSTEM OF PROCESSING SUBSTRATE例文帳に追加
基板の処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板の処理システム - 特許庁
METHOD OF PROCESSING SUBSTRATE, PROGRAM, COMPUTER STORAGE MEDIUM, AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM例文帳に追加
基板の処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体及び基板処理システム - 特許庁
To provide a substrate processing system for effectively managing consumables in two or more substrate processing apparatuses.例文帳に追加
複数の基板処理装置内の消耗品を効率的に管理する。 - 特許庁
FRACTIONAL RECOVERY SYSTEM OF LIQUID FOR PROCESSING SUBSTRATE, PROCESSING SYSTEM OF SUBSTRATE EQUIPPED WITH THAT SYSTEM, AND FRACTIONAL RECOVERY METHOD OF LIQUID FOR PROCESSING SUBSTRATE例文帳に追加
基板の処理液の分別回収装置及び該装置を備えた基板の処理装置、並びに基板の処理液の分別回収方法 - 特許庁
CALCULATING DEVICE, SETTING DEVICE, AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM例文帳に追加
算出装置、設定装置、基板処理装置 - 特許庁
ELECTROSTATIC ATTRACTION STAGE AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM例文帳に追加
静電吸着ステージ及び基板処理装置 - 特許庁
CLEANING METHOD OF SUBSTRATE CARRYING MEMBER, SUBSTRATE CARRIER AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM例文帳に追加
基板搬送部材の洗浄方法、基板搬送装置及び基板処理システム - 特許庁
SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS, SUBSTRATE TRANSFER METHOD, AND RECORDING MEDIUM例文帳に追加
基板処理システム、基板搬送装置、基板搬送方法、および記録媒体 - 特許庁
The substrate processing apparatus 10 includes: the substrate processing system 100 configured to process a substrate; and a controller 240 configured to control the substrate processing system 100.例文帳に追加
基板処理装置10は、基板を処理する基板処理系100と、基板処理系100を制御するコントローラ240と、を有する。 - 特許庁
SUBSTRATE IDENTIFICATION CODE ISSUANCE PROCESSING METHOD AND SUBSTRATE IDENTIFICATION CODE ISSUANCE PROCESSING SYSTEM例文帳に追加
基板識別コード発行処理方法および基板識別コード発行処理システム - 特許庁
SUSCEPTOR HEATER ASSEMBLY OF LARGE-AREA SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM例文帳に追加
大面積基板処理システムのサセプタ・ヒータアセンブリ - 特許庁
VACUUM PROCESSING SYSTEM AND PRELIMINARY SUBSTRATE HEATING METHOD例文帳に追加
真空処理システム及び基板予備加熱方法 - 特許庁
ION BEAM MACHINING SYSTEM AND PROCESSING METHOD OF SUBSTRATE例文帳に追加
イオンビーム加工装置および基板処理方法 - 特許庁
PROCESSING METHOD OF SUBSTRATE, COATER AND SUBSTRATE TREATMENT SYSTEM例文帳に追加
基板の処理方法、塗布膜除去装置及び基板処理システム - 特許庁
PROCESSING METHOD OF ZINC OXIDE SYSTEM SUBSTRATE AND SUBSTRATE WITH GROWTH LAYER例文帳に追加
酸化亜鉛系基板の処理方法及び成長層付き基板 - 特許庁
SUBSTRATE PRECEDENCE TRANSPORT SYSTEM AT SUBSTRATE WORK-PIECE PROCESSING MANUFACTURE例文帳に追加
基板ワーク加工処理製造における基板優先搬送システム - 特許庁
SUBSTRATE FEEDER, SUBSTRATE TAKE-UP DEVICE, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, SUBSTRATE SUPPLYING METHOD, AND SUBSTRATE TAKE-UP METHOD例文帳に追加
基板供給装置、基板巻取装置、基板処理システム、基板供給方法および基板巻取方法 - 特許庁
PROCESSING SYSTEM FOR SUBSTRATE AND METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR例文帳に追加
基板処理装置及び半導体製造方法 - 特許庁
SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD例文帳に追加
基板処理システム、検査装置および検査方法 - 特許庁
SUBSTRATE PROCESSING METHOD, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM例文帳に追加
基板の処理方法、基板の処理システム及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 - 特許庁
SUBSTRATE PROCESSING METHOD, PROGRAM, COMPUTER STORAGE MEDIUM, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND IMPRINT SYSTEM例文帳に追加
基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、基板処理装置及びインプリントシステム - 特許庁
SUBSTRATE PROCESSING METHOD, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, AND COMPUTER READABLE STORAGE MEDIUM例文帳に追加
基板処理方法および基板処理システム、ならびにコンピュータ読取可能な記憶媒体 - 特許庁
SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND SCHEDULE CREATION METHOD OF THE SAME例文帳に追加
基板処理システム及びそのスケジュール作成方法 - 特許庁
LOAD LOCK CHAMBER FOR LARGE AREA SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM例文帳に追加
大面積基板処理システムのためのロードロックチャンバ - 特許庁
To improve a substrate carrier transportation mechanism for transporting the substrate carrier between a transportation system and a processing device in a manufacturing facility, and to reduce total time for processing the substrate.例文帳に追加
キャリア搬送の仕組みを改善して、基板処理のための総合経過時間を低減する。 - 特許庁
SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, SUBSTRATE PROCESSING METHOD, SEALED CONTAINER STORAGE APPARATUS, PROGRAM, AND STORAGE MEDIUM例文帳に追加
基板処理システム、基板処理方法、密閉容器保管装置、プログラム、及び記憶媒体 - 特許庁
DEPOSITION APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, SUBSTRATE PROCESSING METHOD, AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
成膜装置、基板処理システム、基板処理方法及び半導体装置の製造方法 - 特許庁
OBJECT PROCESSING SYSTEM, OBJECT PROCESSING METHOD, PROCESSING APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加
物体処理システム、物体処理方法、処理装置、基板処理方法及びデバイス製造方法 - 特許庁
To provide a substrate processing system having a small footprint.例文帳に追加
フットプリントが小さい基板処理装置を提供する。 - 特許庁
PROCESSING SYSTEM AND METHOD FOR CHEMICAL TREATMENT OF SUBSTRATE例文帳に追加
基板を化学的処理する処理システムおよび方法 - 特許庁
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