荷電粒子ビーム描画装置の基板搬送方法および荷電粒子ビーム描画装置例文帳に追加

SUBSTRATE TRANSFER METHOD OF CHARGED PARTICLE BEAM DRAWING APPARATUS, AND CHARGED PARTICLE BEAM DRAWING APPARATUS - 特許庁

位置検出装置、位置検出方法、電子部品搬送装置及び電子ビーム露光装置例文帳に追加

POSITION DETECTION APPARATUS AND METHOD, ELECTRONIC COMPONENT CONVEYANCE APPARATUS, AND ELECTRON BEAM EXPOSURE SYSTEM - 特許庁

本発明は、単一の被加工物をステージ上に搬送してビーム光を照射することにより所定の加工を行うビーム加工方法およびビーム光加工システムに関し、被加工物をステージ上に安定して搬送可能とすることを目的とする。例文帳に追加

To stably transport a work on a stage in a method of beam machining and a light beam machining system in which a prescribed machining is performed by transporting the single work on the stage and irradiating the work with the light beam. - 特許庁

エネルギービームを用いて基板上の導電性材料を除去する場合に、基板の収容や搬送による傷付き等の損傷を防止できる基板製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing a substrate in which the substrate can be protected against scratch or damage due to housing or carriage when a conductive material on the substrate is removed using an energy beam. - 特許庁

ウォーキングビームによる搬送方式を利用し、大きい昇温速度を得ることができる熱処理装置及び被加熱物の熱処理方法を提供する。例文帳に追加

To provide a heat treatment device, and a heat treatment method of an object to be heated capable of achieving a high temperature rise speed by utilizing a conveying method by a walking beam. - 特許庁

本発明では前記方法において、整列配置されて規定の方向へ搬送される圧電振動子１７の周波数調整を行う１のイオンビーム照射源（イオンガン１０）から照射されるイオンビームの放射領域を利用して、近接する複数の圧電振動子１７の周波数調整を同時に行うようにした。例文帳に追加

A radiation area of ion beams radiated from one ion beam radiation source (ion gun 10) which performs frequency adjustment upon piezoelectric vibrators 17 carried in a specific direction while being aligned and arranged, is utilized in said method to simultaneously adjust frequencies of a plurality of proximate piezoelectric vibrators 17. - 特許庁

レーザビームなどを磁気テープのバック層に入射させて、このテープのバック層に凹部（溝）を形成する加工を施す際などに、加工対象である磁気テープを加工用レーザビームの焦点位置に極めて正確に位置付けするために有効な磁気テープ搬送安定化方法およびそのための装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a method and a device effective for stabilizing transportation of a magnetic tape such that the tape to be worked is positioned with extreme precision at the focal position of a machining laser beam, for example in the case of machining where a laser beam or the like is made incident on the back layer of a magnetic tape to form a recessed part (groove) on this back layer. - 特許庁

選択的レーザー焼結システムの片側双方向粉体供給システムから計量済み粉体を標的領域に搬送するレーザー焼結プロセスにおいて、レーザー・ビームで熔解する前に新たな粉体を予熱することができる装置および装置の使用方法を提供する。例文帳に追加

In the laser sintering process where measured powder is conveyed to a target area from a single-sided bidirectional powder feeding system of the selective laser sintering system, fresh powder is preheated in advance of melting with a laser beam. - 特許庁

成膜室内において循環搬送装置内に充填された蒸着材料にビームを照射して蒸発させて基板面上に膜を形成する成膜方法において、蒸着の不均一による膜厚ムラの低減、及び、小片蒸着材料・スプラッシュによる歩留まり低下の防止を実現できる技術を提供する。例文帳に追加

To provide a technique capable of reducing the unevenness of film thickness caused by the unevenness of vapor deposition and preventing a yield from lowering caused by a fine vapor deposition material and splashes in a film deposition method by which a vapor deposition material packed into a circular conveyor is irradiated with a beam and is evaporated to deposit a film in a film deposition chamber. - 特許庁