スパッタリング現象の英語

スパッタリング時にスパッタリングターゲット部のクラック不良や割れ不良およびスパッタリングターゲット部の膨張によって回転時にスパッタリングターゲット部が空転する現象を防ぐことができる回転式ターゲットアセンブリを提供する。例文帳に追加

To provide a rotary target assembly capable of improving the defective cracking property of a sputtering target part during the sputtering, and preventing a phenomenon that the sputtering target part runs idle during the rotation by the inflation of the sputtering target part. - 特許庁

パーティクルや異常放電現象の原因となる不純物を低減させると同時に、ハイパワースパッタリング（高速スパッタリング）時においても亀裂や割れの発生がなく、スパッタリング特性を安定させ、成膜時のパーティクルの発生を効果的に抑えることのできる高品質のスパッタリング用チタンターゲットを提供する。例文帳に追加

To provide a titanium target for sputtering having high quality capable of reducing the amount of impurities causing particles or abnormal discharge phenomenon, preventing occurrence of any crack even during the high-power sputtering (the high-speed sputtering), stabilizing the sputtering characteristic, and effectively suppressing generation of particles during the film deposition. - 特許庁

高圧印加式除電器の除電電極である放電電極のスパッタリング現象防止、オゾン発生防止、並びに発光作用防止又真空層内の帯電除去等装置及びその製造方法。例文帳に追加

PREVENTION OF SPUTTERING PHENOMENON OZONE GENERATION, AND LIGHT EMISSION OF DISCHARGE ELECTRODE OR ELECTRICITY REMOVAL ELECTRODE FOR HIGH VOLTAGE APPLYING ELECTRICITY REMOVAL DEVICE OR ELECTRIFICATION REMOVAL DEVICE IN VACUUM LAYER AND ITS MANUFACTURE - 特許庁

この冷陰極では発光中に発生する酸素及び水素の吸着能が向上し、酸化物の生成及びＨイオンの発生が抑制されため、仕事関数も上昇することなく、スパッタリング現象も抑制される。例文帳に追加

In this cold cathode, because adsorption ability of oxygen and hydrogen generated during light emission is improved and formation of oxide and generation of H ions are suppressed, work function is not elevated and a sputtering phenomenon is suppressed. - 特許庁

薄膜を構成する物質の相互拡散に起因する汚染物質の抑制及びパーティクルや異常放電現象が生じないスパッタリングターゲット等に有効であるコバルト粉末とその製造方法を提供すること。例文帳に追加

To provide a cobalt powder effective for a sputtering target which restrains pollutants caused by interdiffusion of substances constituting thin films and does not cause particles or abnormal discharge phenomenon, or the like, and to provide a method for producing the cobalt powder. - 特許庁

従って、中空電極のスパッタリングを防止して平板蛍光ランプの寿命を増加させ、電極部の黒化現象を減少させて発光特性を向上させることができる。例文帳に追加

Thereby, by preventing sputtering of the hollow electrode, and increasing lifetime of the flat plate fluorescent lamp, and reducing a blackening phenomenon of the electrode parts, light emitting characteristics can be improved. - 特許庁

標準試料は、例えばスパッタリングにおける再付着現象を利用して既知の濃度の金属汚染を生じさせることにより作製することができる。例文帳に追加

The standard sample can be prepared by generating metal contamination having a known concentration, for example, by utilizing re-adhering phenomenon in sputtering. - 特許庁