ブースタ真空ポンプの英語

真空アーク溶解炉１は、炉体６に吸引管路８を通じて接続された真空ポンプ設備を有しており、機械式のメカニカルブースタポンプ１２およびロータリポンプ１４を併用して炉体６内に真空雰囲気が形成される。例文帳に追加

The vacuum arc melting furnace 1 has vacuum pump equipment connected to a furnace body 6 through a suction pipeline, and a vacuum atmosphere is formed in the furnace body 6 by jointly using a mechanical booster pump 12 of a mechanical type and a rotary pump 14. - 特許庁

粗引ポンプＢとブースタポンプＡとを備えた多段式真空排気装置１００において、シーリングポンプＣを最終段粗引ポンプＢの大気側に取り付け構成し、シーリングポンプＣの設計排気速度を、粗引ポンプＢの設計排気速度より小さいがシーリングポンプとして機能する大きさとし、エネルギー効率の高い真空排気装置とすることができた。例文帳に追加

The multistage type evacuator 100 furnished with a roughing pump B and a booster pump A is constituted to be high in energy efficiency by installing a ceiling pump C on the atmospheric air side of the final stage roughing pump B and making designed exhaust speed of the ceiling pump C in size enough to function as the ceiling pump even though it is lower than designed exhaust speed of the roughing pump B. - 特許庁

外気圧側に配置されるメインポンプ１５と、真空側に配置されてメインポンプ１５に直列に接続されるブースターポンプ１６とを備える。例文帳に追加

This dry vacuum pump unit includes a main pump 15 arranged on the outside air pressure side, and a booster pump 16 arranged on the vacuum side and connected in series to the main pump 15. - 特許庁

ロードロックチャンバ３６内は、ブースタポンプ２７（副ポンプ）及び主ポンプ１０の作動によって所望の低圧状態（真空状態）にされる。例文帳に追加

The inside of a load lock chamber 36 is put in a desired low pressure state (a vacuum state) by operation of a booster pump 27 (the sub-pump) and the main pump 10. - 特許庁

生成物の噛み込み等によるドライ真空ポンプが過負荷状態となり、該過負荷状態を解消するため、ブースタポンプ（ＢＰ）及びメインポンプ（ＭＰ）の正転及び逆転起動運転を行っても真空ポンプ装置の吸気口から反応チャンバー内への逆気流が発生しない真空ポンプ装置の運転制御装置。例文帳に追加

To provide a device for controlling operation of a vacuum pump device, preventing occurrence of a reverse air flow into a reaction chamber from the inlet of the vacuum pump device even if operation is performed to start the normal rotation and reverse rotation of a booster pump (BP) and a main pump (MP) so that a dry vacuum pump is overloaded by biting or the like of a product and an overloaded state is solved. - 特許庁

真空ポンプ装置は、第１ハウジングＨ１内に多段式の第１ポンプ機構Ｐ１を収容してなるメインポンプ１１の上に、第２ハウジングＨ２内に第２ポンプ機構Ｐ２を収容してなるブースタポンプ６１が載置固定されてなる。例文帳に追加

This vacuum pump device is formed by placing and fixing the booster pump 61 for housing a second pump mechanism P2 in a second housing H2 on the main pump 11 for housing a multistage type first pump mechanism P1 in a first housing H1. - 特許庁

真空排気システム１００の運転時には、全バルブ３，４，５，６，８を閉じた状態でメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）９およびロータリポンプ（ＲＰ）１０を起動し、一旦メカニカルブースタポンプ９を停止してからスローラフバルブ（ＳＲＶ）４を開いた後に再びメカニカルブースタポンプ９を再起動するものである。例文帳に追加

When the vacuum exhaust system 100 is operated, the mechanical booster pump (MBP) 9 and a rotary pump (RP) 10 are started while all valves 3, 4, 5, 6 and 8 are closed, a slow rough valve (SRV) 4 is opened after stopping the mechanical booster pump 9 once, and then the mechanical booster pump 9 is restarted. - 特許庁

半導体デバイス等の製造に用いるCVD装置の真空系におけるドライポンプとメカニカルブースターポンプの間に反応性生物をその下部内面にトラップする中間室を設けるとともに、ドライポンプのインレット・パイプの上端を中間室内の高い位置まで挿入する。例文帳に追加

An intermediate chamber for trapping reaction products on the lower inner surface of the chamber is provided between a dry pump and a mechanical booster pump, in the vacuum system of a CVD apparatus for use in the manufacture of a semiconductor device, or the like, and the upper end of an inlet pipe for the dry pump is inserted as far as a high position within the intermediate chamber. - 特許庁