モーター駆動ステージの英語

算出された偏心量に応じ直動ステージ駆動モーター５０により直動ステージ４０を移動し、偏心方向に合わせてワーク保持ステージ回転モーター３０を用いてワーク保持ステージ２０を回転させてワークの中心位置を矯正する。例文帳に追加

A direct moving stage 40 is thereby moved by a direct moving stage driving motor 50 in response to the quantity computed of eccentricity, and the work holding stage 20 is rotated using the work holding stage rotation motor 30 while being adapted to the direction of eccentricity, so that the center position of the work is thereby straightened. - 特許庁

レチクルステージを駆動するリニアモーター３は、共に非磁性材料で構成された真空チャンバー４内に収納されている。例文帳に追加

A linear motor 3 for driving a reticle stage is contained in a vacuum chamber 4 composed of a nonmagnetic material to the linear motor. - 特許庁

基板を載置する基板チャックステージが、接合フランジを介して回転駆動軸と結合し、回転駆動軸に回転力を供給する駆動用モーターが接続する構造の中で、駆動用モーターから基板チャックステージに至る回転駆動軸または接合フランジの熱流路が熱流路中に設けた低熱伝導率材により遮られる。例文帳に追加

In a structure where a substrate chuck stage on which a substrate is mounted is coupled with a rotation drive shaft via a joint flange, and is connected with a drive motor for supplying torque to the rotation drive shaft, the rotation drive shaft extending from the drive motor to the substrate chuck stage or a heat flow path of the joint flange is shielded by a low thermal conductivity material provided in the heat flow path. - 特許庁

本発明は、露光エリアとアライメントエリアの二つのエリアを設け、それぞれに露光ステージ部とアライメントステージ部を設け、さらにそれぞれのステージの駆動を駆動手段が分離独立したそれぞれの平面モーターで行い、互いのウエハ搭載部を交換することにより、連続的に露光動作とアライメント動作を平行作業させるようにした。例文帳に追加

Two areas, namely an exposure area and an alignment area, are provided, an exposure stage and an alignment stage are provided at each of them, each stage is driven by each plane motor in which the drive means is separated and independent, and respective wafer mounting sections are exchanged, thus performing the exposure operation and alignment operation continuously in parallel. - 特許庁

昇降用モーター２１はボールネジシャフト１７の側方に備えられ、昇降用モーター２１の駆動力がプーリー２３、タイミングベルト２５、プーリー１９を介してボールネジシャフト１７に伝達されるようになっているので、ステージ装置１の高さ方向と長さ方向において寸法が小さくすることが可能となっている。例文帳に追加

A lifting motor 21 is provided on the side of a ball screw shaft 17, and since the driving force of the lifting motor 21 is transmitted through a pulley 23, a timing belt 25 and a pulley 19 to the ball screw shaft 17, the stage apparatus 1 can reduce the dimensions in the height direction and the length direction. - 特許庁

基板を回転させて基板表面に塗布液を展開させることにより基板上に塗膜を形成する回転塗布装置において、回転駆動用モーターからの発熱が基板チャックステージの表面温度を上昇させることを簡単な手段により防ぎ、均一に膜厚制御された塗膜を基板上に形成できる回転塗布装置を提供すること。例文帳に追加

To prevent heat generated from a rotary drive motor from causing surface temperature rise of a substrate chuck stage by a simple means, in a rotary coating apparatus which forms a coating film on a substrate by rotating the substrate and spreading the coating liquid on the surface of the substrate, thus providing a rotary coating apparatus which can form a coating film having a uniformly controlled thickness on a substrate. - 特許庁