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三塩化窒素の英語
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英訳・英語 nitrogen trichloride
「三塩化窒素」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 8件
エイジーン(三塩化窒素)を有する熟成した漂白小麦粉例文帳に追加
age or bleach flour with Agene (nitrogen trichloride)発音を聞く - 日本語WordNet
亜硝酸性窒素,硝酸性窒素の分析では、それぞれ試料溶液に対しヨウ化カリウム溶液,三塩化チタン溶液を選択的に注入し、混合器5,気化分離器6を通過させて一酸化窒素ガスに転換する。例文帳に追加
In the analysis of nitrous nitrogen and nitric nitrogen, potassium iodide solution and titanium trichloride solution are selectively injected to each sample solution, are passed through a mixer 5 and a vaporization separator 6, and are converted into nitrogen monoxide gas. - 特許庁
本発明にかかる半導体装置の製造方法は、塩化ニトロシル、塩化ニトロイルまたは臭化ニトロシルのいずれかをエッチングガスとして用いたうえで、あるいはまた、一酸化窒素、一酸化二窒素、二酸化窒素、三酸化窒素、三酸化二窒素、四酸化二窒素、五酸化二窒素またはフッ化ニトロシルのいずれかを添加含有させてなる塩素系または臭素系のエッチングガスを用いたうえでポリシリコンまたはシリコンをエッチングすることを特徴としている。例文帳に追加
The manufacturing method of a semiconductor device is to etch a polysilicon or silicon using either one out of nitrosyl chloride, nitrile chloride or nitrosyl bromide or using chlorine or bromic base etching gas additionally containing either one out of nitrogen oxide, dinitrogen oxide, nitrogen dioxide, nitrogen trioxide, dinitrogen trioxide, dinitrogen tetroxide, dinitrogen pentoxide. - 特許庁
High−k膜105上に、ゲート電極としての多結晶シリコン膜パターン111が形成されている場合において、三塩化ホウ素ガスおよび窒素ガスを用いてHigh−k膜105をドライエッチングする。例文帳に追加
When a polysilicon film pattern 111 is formed as a gate electrode on a High-k film 105, the High-k film 105 is dry-etched using boron-trichlodide gas and nitrogen gas. - 特許庁
高周波イオン源のプラズマ生成室内をクリーニングするに際し、プラズマ生成室内に全ハロゲン化塩化フッ化炭素、三フッ化窒素、ハロゲン化水素及び三フッ化ハロゲンから選ばれる少なくとも1種のクリーニングガスを導入し、該クリーニングガスを励起して活性種を生成させる。例文帳に追加
When the plasma producing chamber of a high-frequency ion source is cleaned, at least one kind of cleaning gas among all the chlorofluoro-halocarbons, nitrogen trifluorides, hydrogen halides, and halogen trifluorides is introduced into the chamber. - 特許庁
塩素ガスの供給先に高圧塩素ガスを供給するに際し、塩素ガスを高圧化する過程において、含有される塩素化反応に望ましくなく、濃度が高い場合に爆発する三塩化窒素を低減化できる簡便な方法を提供する。例文帳に追加
To provide a simple method reducing nitrogen trichloride, which is incorporated in a process of increasing the pressure of chlorine gas, is undesirable for a chlorination reaction and detonates in the case of high concentration when high pressure chlorine gas is supplied to a user using chlorine gas. - 特許庁
アルゴンなどの非反応性ガス、酸素などの酸素原子供給性ガスおよび窒素酸化物などの酸化性ガスの少なくとも1種をリモートプラズマ発生装置12において活性化して、活性種を含むガスとし、このガスを三塩化ホウ素などのハロゲン系ガスとともチャンバ1に導入する。例文帳に追加
At least one kind of gas among unreactive gas like argon, oxygen atom supply gas like oxygen and oxidizing gas like nitrogen oxide is activated in a remote plasma generator 12, and then the activated gas is supplied to the chamber 1 as the gas including active species, together with the halogen gas like boron trichloride. - 特許庁
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Weblio例文辞書での「三塩化窒素」に類似した例文 |
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三塩化窒素
a nitrate
carburetted hydrogen―hydrocarbon
a hydride
the circulation of nitrogen
「三塩化窒素」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 8件
三塩化アルミニウム等のハロゲン化アルミニウムを含むIII族ハロゲン化物ガスとアンモニア等の窒素源ガスとを基板上で反応させることにより基板上に気相成長させてアルミニウム系III族窒化物結晶を製造する際に、予め300〜550℃で前記両ガスを反応させ、次いで1100℃〜1600℃で同両ガスを反応させる二段成長法を採用する。例文帳に追加
When manufacturing aluminum-based group III nitride crystal by vapor phase-growing it on a substrate by reacting a group III halide gas containing an aluminum halide such as aluminum trichloride with a nitrogen source gas such as ammonia on the substrate, there is employed a two step growing method where the both gases are reacted preliminarily at 300-550°C and then at 1,100-1,600°C. - 特許庁
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