室内の雰囲気の英語

次いで、水素雰囲気の反応室内でシリコン単結晶基板に熱処理を施す。例文帳に追加

Subsequently, heat treatment is effected to the silicon single crystal substrate in a reaction chamber of hydrogen atmosphere. - 特許庁

室内の空気は、自然対流作用による室内空気循環により熱交換器の冷水と熱交換し、室内雰囲気は冷房される。例文帳に追加

Air in a room is heat-exchanged with cold water of the heat exchanger through indoor air circulation by natural convention operation to effect cooling of indoor atmosphere. - 特許庁

次に、この大気雰囲気の温度からの差異が５℃以下に制御された雰囲気の別の室内に成形体２４を搬送し、そこで焼結工程を実行する。例文帳に追加

Next, the molding 24 is carried into another chamber having the atmosphere in which difference in temperature from the atmosphere is controlled to ≤5°C, and the sintering step is performed therein. - 特許庁

次に、この大気雰囲気の温度からの差異が５℃以下に制御された雰囲気の別の室内に成形体２４を搬送し、そこで焼結工程を実行する。例文帳に追加

Next, the molding 24 is carried into another chamber of the atmosphere controlled so that the difference in temperature form the temperature in this atmospheric condition is controlled to be not greater than 5°C, and the sintering process is carried out in the chamber. - 特許庁

短時間にて処理室内を低酸素濃度雰囲気に置換することができる基板処理装置および雰囲気置換方法を提供する。例文帳に追加

To provide a substrate processing device which can substitute the inside of a processing chamber by a low oxygen concentration atmosphere in a short time, and an atmosphere substituting method. - 特許庁

視聴覚室１の室内にプロジェクタ等の機材を配置するものではなく、室内の雰囲気を乱さずにコンテンツの視聴が可能となる。例文帳に追加

Since the equipment such as the projector is not arranged in the audio visual room 1, a user can view and listen to the content without deteriorating the atmosphere of the room. - 特許庁

処理室内に排気ラインの雰囲気が逆流するのを防止できる基板処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a substrate treatment apparatus capable of preventing an atmosphere of an exhaust line from flowing back into a treatment chamber. - 特許庁

基板処理装置において、汚染された移載室の雰囲気を待機室内に取り込むことを回避し、且つ、タクト延伸とならずに、清浄な雰囲気（大気）をロードロック室内に取り込むことを可能にする。例文帳に追加

To take in a clean atmosphere (the air) into a load lock chamber without elongating a processing time by evading the intake of the atmosphere of an infected transfer chamber to a standby chamber concerning a substrate processing system. - 特許庁