室内の雰囲気の英語

半導体ウェーハＷを反応室２内の還元性雰囲気中で熱処理する半導体ウェーハの熱処理方法であって、前記還元性雰囲気中の熱処理終了後に、前記反応室内に不活性ガスを供給して還元性雰囲気を不活性雰囲気に置換する。例文帳に追加

This method is the heat-treating method of semiconductor wafers W for heat-teating the semiconductor wafers W in the reducing atmosphere within a reaction chamber 2 and after the heat treatment in the reducing atmosphere is finished, inert gas is introduced in the reaction chamber to substitute the reducing atmosphere in an inert atmosphere. - 特許庁

処理室内に排気ラインの雰囲気が逆流するのを防止できる基板処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a substrate treatment apparatus capable of preventing an atmosphere of an exhaust line from flowing back into a treatment chamber. - 特許庁

周囲の雰囲気を損なわずに、室内の整理に役立つごみ袋を提供する。例文帳に追加

To provide a trash bag for indoor arrangement without spoiling an atmosphere in the circumference. - 特許庁

次いで、水素雰囲気の反応室内でシリコン単結晶基板に熱処理を施す。例文帳に追加

Subsequently, heat treatment is effected to the silicon single crystal substrate in a reaction chamber of hydrogen atmosphere. - 特許庁

室内の空気は、自然対流作用による室内空気循環により熱交換器の冷水と熱交換し、室内雰囲気は冷房される。例文帳に追加

Air in a room is heat-exchanged with cold water of the heat exchanger through indoor air circulation by natural convention operation to effect cooling of indoor atmosphere. - 特許庁

空気調和機は、室内機１００と、室内機１００内の空間に雰囲気調整材を供給するための雰囲気調整材供給装置６０と、使用者の睡眠時、または、使用者の不在時に雰囲気調整材供給装置６０を駆動させるためのリモートコントローラ４００とを備える。例文帳に追加

This air conditioner comprises an indoor unit 100, an atmosphere adjustment material supply device 60 for supplying an atmosphere adjustment material to a space in the indoor unit 100, and a remote controller 400 for driving the atmosphere adjustment material supply device 60 when an user sleeps or does not stay home. - 特許庁

エンジン３１を囲むエンクロージャ３２と、エンクロージャ３２にて形成したエンジン室３３内の雰囲気を強制的に排出する室内雰囲気排出手段３４と、室内雰囲気排出手段３４によりエンジン室３３内が負圧となることを防止する通気口５１とを具備する。例文帳に追加

This engine enclosure device comprises an enclosure 32 surrounding an engine 31, an indoor atmosphere discharge means 34 forcibly discharging atmosphere in the engine room 33 formed by the enclosure 32, and a ventilation port 51 preventing the inside of the engine room 33 from being brought into a negative pressure by the indoor atmosphere discharge means 34. - 特許庁

処理室内の雰囲気の置換性を向上させることができ、基板の液処理を行う際に飛散した薬液等の雰囲気が処理室内に残存しないようにすることができる液処理装置および液処理方法を提供する。例文帳に追加

To provide a liquid processing apparatus and a liquid processing method which improve replaceability of the atmosphere in a processing chamber and prevent the atmosphere of chemicals scattered when the liquid processing of a substrate is performed and the like from remaining in the processing chamber. - 特許庁