真空蒸発器の英語

真空容器７内の上部に成膜材料を含む溶融蒸発源Ｓを収容した耐熱性の蒸発容器８を配置する。例文帳に追加

The upper part in a vacuum vessel 7 is arranged with a heat resistant evaporating vessel 8 stored with a molten evaporating source S contg. a film forming material. - 特許庁

本発明の真空蒸着方法は、真空容器内で複数の蒸発源を用いて蒸着により基板の表面に膜を形成するものである。例文帳に追加

In the vacuum deposition method, the film is formed on the surface of the substrate by vacuum deposition using a plurality of evaporation sources within a vacuum vessel. - 特許庁

そして、蒸発器１４内の真空中空粒子３２が断熱層になり、発熱体１２を保温する。例文帳に追加

Then, vacuum hollow grains 32 in the evaporator 14 act as an heat-insulating layer to retain the heat in the heating element 12. - 特許庁

蒸発材料の蒸発により発生する不要な堆積物を、真空容器を開けることなく除去可能な付着物除去装置を提供する。例文帳に追加

To remove unnecessary deposits generated by the evaporation of an evaporation material without opening a vacuum vessel. - 特許庁

蒸発源を配置した真空容器１内に、プラズマガン２の陰極４から高密度のプラズマを発生させ、このプラズマの存在下で上記蒸発源の材料を真空容器１内の基体に蒸着させる。例文帳に追加

The high-density plasma is generated from a cathode 4 of a plasma gun 2 within a vacuum vessel 1 arranged with an evaporation source and the material of the evaporation source is deposited by evaporation on a substrate within the vacuum vessel 1 in the presence of this plasma. - 特許庁

真空系に接続された真空容器の内部に、蒸発源容器と基板ホルダとを、水平方向に沿って互いに対面させ、かつ該基板ホルダの蒸発源容器に対面する側の表面を上向きに傾斜した状態に配置させてなる真空蒸着装置。例文帳に追加

The vacuum deposition system is structured by arranging a vaporization source vessel and a substrate holder to face each other along the horizontal direction and to incline the surface of the substrate holder in the side opposed to the vaporization source vessel to face upward. - 特許庁

液滴を安定に生成するための大量の溶媒を予め蒸発させた上でプラズマ発生用真空容器９に供給することで、真空容器９の真空度の低下が抑制できる。例文帳に追加

Lowering of the degree of vacuum can be restrained by evaporating a large amount of the solvent for stably generating the water drop in advance, and supplying the liquid drop to the plasma generating vacuum container 9. - 特許庁

ＶＯＣ除去液再生・回収装置であって、ＶＯＣ除去液を噴霧するノズルを内部に配した真空容器と、当該真空容器内部を減圧してＶＯＣを真空蒸発させる真空ポンプと、当該真空容器内に蒸発促進気体を導入する気体導入機構と、処理後のＶＯＣ除去液を排出する排液機構と、を含めて構成する。例文帳に追加

An apparatus for regeneration and recovery of a VOC removing liquid includes a vacuum container arranged inside with a nozzle spraying the VOC removing liquid, a vacuum pump reducing the pressure of the inside of the vacuum container to make VOCs vacuum-evaporate, a gas introducing mechanism introducing an evaporation promoting gas into the vacuum container and a liquid discharging mechanism discharging the VOC removing liquid after the treatment. - 特許庁