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真空蒸発器の部分一致の例文一覧と使い方

該当件数 : 81



例文

蒸発蒸発源および真空蒸着方法例文帳に追加

EVAPORATION CONTAINER, EVAPORATION SOURCE AND VACUUM DEPOSITION METHOD - 特許庁

蒸発型ゲッターおよび真空例文帳に追加

EVAPORATION TYPE GETTER AND VACUUM CONTAINER - 特許庁

真空蒸着装置における蒸発源容例文帳に追加

EVAPORATION SOURCE CONTAINER IN VACUUM DEPOSITION SYSTEM - 特許庁

真空蒸着用蒸発材料収容容例文帳に追加

ACCOMMODATION CONTAINER OF EVAPORATION MATERIAL FOR VACUUM DEPOSITION - 特許庁

例文

真空チャンバ1と、蒸発材料保持容2a等を備える蒸発源2と、ホッパ式蒸発材料供給手段10を備える真空成膜装置50において、蒸発材料保持容2a等に蒸発材料を供給するにあたり、計量カップ21を用いて行う。例文帳に追加

In a vacuum deposition system 50 equipped with a vacuum chamber 1, the evaporation source 2 having an evaporation material holding container 2a, etc., and a hopper type evaporation material feeding material 10, the evaporation material is fed into the evaporation material holding container 2a, etc., by using a metering cup 21. - 特許庁


例文

真空仕切り弁により断熱空間も真空引きさせ、凝縮として機能するときの凝縮/蒸発用熱交換の断熱を図る。例文帳に追加

The thermal insulation space is also vacuum-exhausted by a vacuum gate valve, and thermal insulation of the condensation/evaporation heat exchanger is attained when functioning as a condenser. - 特許庁

冷凍機3は、蒸発10、凝縮11、及び圧縮機12を含み、真空ポンプ16によりシステム全体が真空状態となっている。例文帳に追加

The refrigerator 3 includes: an evaporator 10; a condenser 11; and a compressor 12, wherein the whole system is put in the vacuum state by a vacuum pump 16. - 特許庁

真空7内の上部に成膜材料を含む溶融蒸発源Sを収容した耐熱性の蒸発8を配置する。例文帳に追加

The upper part in a vacuum vessel 7 is arranged with a heat resistant evaporating vessel 8 stored with a molten evaporating source S contg. a film forming material. - 特許庁

本発明の真空蒸着方法は、真空内で複数の蒸発源を用いて蒸着により基板の表面に膜を形成するものである。例文帳に追加

In the vacuum deposition method, the film is formed on the surface of the substrate by vacuum deposition using a plurality of evaporation sources within a vacuum vessel. - 特許庁

例文

そして、蒸発14内の真空中空粒子32が断熱層になり、発熱体12を保温する。例文帳に追加

Then, vacuum hollow grains 32 in the evaporator 14 act as an heat-insulating layer to retain the heat in the heating element 12. - 特許庁

例文

蒸発材料の蒸発により発生する不要な堆積物を、真空を開けることなく除去可能な付着物除去装置を提供する。例文帳に追加

To remove unnecessary deposits generated by the evaporation of an evaporation material without opening a vacuum vessel. - 特許庁

蒸発源を配置した真空1内に、プラズマガン2の陰極4から高密度のプラズマを発生させ、このプラズマの存在下で上記蒸発源の材料を真空1内の基体に蒸着させる。例文帳に追加

The high-density plasma is generated from a cathode 4 of a plasma gun 2 within a vacuum vessel 1 arranged with an evaporation source and the material of the evaporation source is deposited by evaporation on a substrate within the vacuum vessel 1 in the presence of this plasma. - 特許庁

真空系に接続された真空の内部に、蒸発源容と基板ホルダとを、水平方向に沿って互いに対面させ、かつ該基板ホルダの蒸発源容に対面する側の表面を上向きに傾斜した状態に配置させてなる真空蒸着装置。例文帳に追加

The vacuum deposition system is structured by arranging a vaporization source vessel and a substrate holder to face each other along the horizontal direction and to incline the surface of the substrate holder in the side opposed to the vaporization source vessel to face upward. - 特許庁

液滴を安定に生成するための大量の溶媒を予め蒸発させた上でプラズマ発生用真空9に供給することで、真空9の真空度の低下が抑制できる。例文帳に追加

Lowering of the degree of vacuum can be restrained by evaporating a large amount of the solvent for stably generating the water drop in advance, and supplying the liquid drop to the plasma generating vacuum container 9. - 特許庁

VOC除去液再生・回収装置であって、VOC除去液を噴霧するノズルを内部に配した真空と、当該真空内部を減圧してVOCを真空蒸発させる真空ポンプと、当該真空内に蒸発促進気体を導入する気体導入機構と、処理後のVOC除去液を排出する排液機構と、を含めて構成する。例文帳に追加

An apparatus for regeneration and recovery of a VOC removing liquid includes a vacuum container arranged inside with a nozzle spraying the VOC removing liquid, a vacuum pump reducing the pressure of the inside of the vacuum container to make VOCs vacuum-evaporate, a gas introducing mechanism introducing an evaporation promoting gas into the vacuum container and a liquid discharging mechanism discharging the VOC removing liquid after the treatment. - 特許庁

図1の空気調和機の構造にすることにより蒸発内を真空ポンプで真空にしてから水を流し、水蒸気化して冷却作用をしてから真空ポンプによって排出される。例文帳に追加

By forming this vacuum type cooling apparatus into a structure of an air conditioner as shown in fig. 1, the inside of an evaporator is evacuated by a vacuum pump, thereafter water is run and converted to steam to carry out cooling action and thereafter discharged by a vacuum pump. - 特許庁

昇華性蒸着材料を収容して加熱手段で加熱することにより該昇華性蒸着材料を蒸発させ、真空蒸着する真空蒸着装置における蒸発源容1であって、前記蒸発源容に昇華性蒸着材料を仕切って収容するための仕切り板2を設ける。例文帳に追加

As for the evaporation source container 1 for a vacuum deposition system where a sublimable vapor deposition material is stored and heated by a heating means so that the sublimable vapor deposition material is evaporated and is vacuum-deposited, the evaporation source container is provided with diaphragms 2 for dividing and storing the sublimable vapor deposition material. - 特許庁

ゲスト化合物を含む水溶液Sa,Sb,Scを真空2a,2b,2c内に供給するとともに、この真空内を真空排気ポンプ3a,3b,3cにより排気し、この真空内で水溶液を蒸発させて冷却し、水和物の粒子を含む水和物スラリーを生成する。例文帳に追加

Aquenus solutions Sa, Sb, Sc each containing a gest compound are supplied into vacuum containers 2a, 2b, 2c, and these vacuum containers are evacuated with vacuum exhaust pumps 3a, 3b, 3c to evaporate the aqueous solutions in the vacuum containers for production of hydrate slurry containing hydrate particles. - 特許庁

真空1内に低い真空度の真空雰囲気を確立した状態で電子ビームをシリコンに照射して溶融させると共に、溶融したシリコン内のボロン等と反応して蒸発可能な酸化物を生成するH_2O等の化合物生成物質を前記真空チャンバ内に導入して、ボロン等の真空蒸気圧の低い不純物元素を蒸発させる。例文帳に追加

Impurity elements having a low vacuum vapor pressure such as boron or the like are evaporated by melting the impurity elements by irradiating the silicon with an electron beam under a condition that a vacuum atmosphere of a low vacuum degree is established in a vacuum chamber 1 and introducing a compound forming material such as H_2O or the like forming an evaporable oxide by the reaction with boron or the like in the melted silicon. - 特許庁

真空12を真空ポンプ24によって排気して真空にしたのち、キャリアガス源36からアルゴンガスなどのキャリアガスを蒸発槽26に流入させ、有機物28の蒸気をキャリアガスによって真空12に供給する。例文帳に追加

After the vacuum vessel 12 is evacuated to a vacuum by a vacuum pump 24, a carrier gas such as argon is allowed to flow into an evaporation vessel 26 from a carrier gas source 36 to feed the vapor of an organic substance 28 to the vacuum vessel 12 by the carrier gas. - 特許庁

したがって、小型の熱交換230にて蒸発及び凝縮の機能を兼ねさせることが可能となるので、真空系にバルブを設け必要がない。例文帳に追加

Since a small heat exchanger 230 can serve as an evaporator and a condenser, no valve is required in the vacuum system. - 特許庁

本発明の有機蒸着装置1は、基板3が配置される真空槽2と、真空槽2の外部に設けられ、有機材料を蒸発させる複数の蒸発源5h、5d、6h、6dと、複数の蒸発源5h、5d、6h、6dから供給された蒸発材料の蒸気を基板3に向って放出するための面蒸発4とを備えている。例文帳に追加

The organic vapor deposition apparatus 1 includes a vacuum tank 2 in which a substrate 3 is arranged, a plurality of evaporation sources 5h, 5d, 6h, and 6d, arranged outside of the vacuum tank 2, and evaporating organic materials, and a surface evaporator 4 for discharging vapor of the evaporation material supplied from the plurality of evaporation sources 5h, 5d, 6h, and 6d toward the substrate 3. - 特許庁

高圧ポンプ10aとエジェクター10bとから構成された真空装置10によって、凝縮9、第3蒸発濃縮5、第3熱交換2c、第2蒸発濃縮4、第2熱交換2b、第1蒸発濃縮3及び第1熱交換2aを減圧させる。例文帳に追加

A condenser 9, a 3rd evaporation concentrator 5, a 3rd heat exchanger 2c, a 2nd evaporation concentrator 4, a 2nd heat exchanger 2b, a 1st evaporation concentrator 3 and a 1st heat exchanger 2a are evacuated by a vacuum apparatus 10 composed of a high pressure pump 10a and an ejector 10b. - 特許庁

蒸発用熱交換41に低温水を循環させて吸着槽1内を冷却し、飽和水蒸気圧まで真空化させる。例文帳に追加

Low temperature water is circulated to an evaporating heat exchanger 41 to cool the inside of the adsorption tank 1 and to evacuate up to saturated water vapor pressure. - 特許庁

この磁界によって、各アーク式蒸発源42で生成したプラズマは、真空20内の基体24の近傍へ導かれる。例文帳に追加

By this magnetic field, the plasma generated by each arc type evaporating source 42 is guided into the vicinity of the substrate 24 in the vacuum vessel 20. - 特許庁

それにより、例えば真空7内に配置された基板6に絶縁膜が蒸着される場合に、真空7内で蒸発せしめられた絶縁膜が陽極5の表面に堆積してしまうのを抑制することができる。例文帳に追加

Thus, e.g., in the case the insulating film is vapor-deposited on a substrate 6 arranged in the vacuum vessel 7, the deposition of the insulating film evaporated in the vacuum vessel 7 on the surface of the anode 5 can be suppressed. - 特許庁

水の循環回路19によって発生する負圧を真空チャンバ10に供給し、真空チャンバ10内に導入した油水混合液の水を沸騰うさせて水分のみを蒸発させ、蒸発した水蒸気を冷却11で水に戻して処理水として排出する。例文帳に追加

Negative pressure generated by the water circulation circuit 19 is introduced into the vacuum chamber 10 where the water in the oil water mixed liquid is boiled to vaporize only water and the vaporized steam is cooled down to water by the cooler 11 for blow down as the treated water. - 特許庁

真空内で蒸発させた薄膜形成材料を基板上に蒸着せしめて薄膜を形成する真空成膜装置を構成する真空成膜装置用部品において、上記真空成膜装置用部品1の表面粗さが算術平均粗さRaで5μm以下であることを特徴とする真空成膜装置用部品1である。例文帳に追加

In the component for a vacuum film deposition system composing a vacuum film deposition system where a thin film deposition material evaporated in a vacuum vessel is vapor-deposited on a substrate, so as to deposit a thin film, the surface roughness of the component 1 for a vacuum film deposition system is ≤5 μm by the arithmetic average roughness Ra. - 特許庁

そのため排出される熱は、蒸発真空状態のときに水蒸気が取り除いた空気の熱と、真空ポンプ内でのモーター等の熱だけとなり、排熱を減少させることができる。例文帳に追加

Thereby, heat to be exhausted is only heat of air removed by the steam in the vacuum state in the evaporator and heat of a motor and the like in the vacuum pump, and exhaust heat can be reduced. - 特許庁

蒸発ゲッタの配置位置の自由度が高く且つ気密容内の高真空化を図れる真空封止デバイスの製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a manufacturing method of a vacuum locking device, wherein a degree of freedom about the arrangement position of a non-evaporation type getter is high, and high vacuum in an airtight vessel can be attained. - 特許庁

蒸発系路のガスを排気する真空ポンプ11の吐出管路又は吸込み管路に着脱式の吸着式又は薄膜式ドライヤ14,15を配設し、真空ポンプ11を蒸発系路のガス置換に用いる加圧装置10として用い、前記ドライヤ14,15によって乾燥させた空気によって蒸発系路のガス置換を行う。例文帳に追加

Removable suction type or thin film type driers 14, 15 are disposed in a discharge pipeline or suction pipeline of a vacuum pump 11 for discharging gas in the evaporator system path, the vacuum pump 11 is used as a pressurizing device 10 used for the gas replacement of the evaporator system path, and the gas replacement of the evaporator system path is performed by air dried by the driers 14, 15. - 特許庁

ライン状の蒸発において、温度むらや蒸発材料の偏りがあっても、蒸発材料の利用効率を下げることなく、大型基板においても、蒸着による薄膜の膜厚分布の均一性を向上することができる真空蒸着装置を提供する。例文帳に追加

To provide a vacuum vapor deposition apparatus, in a line-shaped vaporization container, even if unevenness in temperature and the deviation of an evaporation material are present, which can improve the uniformity of the film thickness distribution of a thin film by vapor deposition even in a large-sized substrate even without reducing the utilizing efficiently of the evaporation material. - 特許庁

真空蒸着装置において、抵抗加熱蒸着法により昇華性蒸着材料を蒸発源により加熱するに際し、加熱により固形化する昇華性蒸着材料を破裂させることなく、安定良く加熱、蒸発させることが可能となる蒸発源容を提供する。例文帳に追加

To provide an evaporation source container in a vacuum deposition system with which a sublimable vapor deposition material solidified by the heating can stably be heated and evaporated by a resistance heating vapor deposition method without bursting the sublimable vapor deposition material. - 特許庁

この薄膜形成装置は、真空2と、蒸発物質6を発生させる蒸発源4と、中空部12を有する基体10をその中空部が蒸発源4に向く方向にそれぞれ保持する複数の基体保持具34とを備えている。例文帳に追加

The thin film deposition system is provided with a vacuum vessel 2, an evaporation source 4 generating an evaporation material 6, and a plurality of substrate holders 34 each holding a substrate 10 having a hollow part 12 to a direction in which the hollow part orients toward the evaporation source 4. - 特許庁

真空ポンプ20により真空状態に維持されるハウジング21内において、吸着/脱着用熱交換22の上側位置に凝縮用熱交換23を、下側位置に蒸発用熱交換24を、それぞれ同じ反応空間210内に配設する。例文帳に追加

In a housing 21 kept in a vacuum state by a vacuum pump 20, a heat exchanger 23 for condensation is disposed at an upper position of an adsorbing/desorbing heat exchanger 22, and a heat exchanger 24 for evaporation is disposed at a lower position in the same reaction space 210. - 特許庁

真空槽内に窒素ガスを充填し、槽内は人工太陽光灯を点灯、槽内温度を100℃〜120℃熱交換蒸発を行い、他の真空槽内に窒素ガスを充填し、この槽内温度を−30℃に保ち、熱交換で凝縮を行う。例文帳に追加

Nitrogen gas is filled in a vacuum chamber, an artificial solar light is lit in the chamber, and a temperature in the chamber is increased to 100 to 120°C to perform evaporation by a heat exchanger. - 特許庁

管路18から冷却水を熱交換1内へ供給することで、真空状態に維持された熱交換1内で速やかに冷却水が蒸発気化して、その蒸発潜熱でもって太陽電池モジュール4を素早く冷却することができる。例文帳に追加

Cooling water is promptly evaporated in the heat exchanger 1 maintained in a vacuum state by supplying the cooling water to the heat exchanger 1 from the pipe 18, and the solar cell module 4 is quickly cooled by latent heat of vaporization of the cooling water. - 特許庁

水の循環回路19によって発生する負圧を真空チャンバ10に供給し、真空チャンバ10内に導入した油水混合液を沸騰させて水分のみを蒸発させ水蒸気は冷却11で水に戻して処理水とする。例文帳に追加

The negative pressure generated by the water circulating circuit 19 is applied to the vacuum chamber 10 and the oil-water mixed liquid evaporates only water and the steam is condensed in a cooler 11 to obtain treated water. - 特許庁

この真空乾燥システム1は、被乾燥物13を収容する真空乾燥容11と、真空乾燥容11内の気体の状態変化を計測する計測手段21〜23と、これらの計測手段21〜23による計測データを処理して、被乾燥物13からの水分蒸発量を算出するデータ処理手段25とを含み構成される。例文帳に追加

This vacuum drying system 1 comprises a vacuum drying container 11 storing the material to be dried 13, measuring means 21 to 23 measuring a variation in the state of gas inside the vacuum drying container 11, and a data processing means 25 calculating moisture evaporation amount from the material to be dried 13 by processing data measured by the measuring means 21 to 23. - 特許庁

軸シールとしてオイルシールを採用し、ロータ室内から漏洩した水蒸気を外部に排出し、水蒸気が軸受側に漏れないようにして、軸受のグリースや潤滑油が水蒸気により汚染されることを防止した真空蒸発器用ルーツブロワの軸シール構造及び軸シール方法並びに真空蒸発装置を提供する。例文帳に追加

To provide a shaft seal structure and shaft seal method of a roots blower for a vacuum evaporator, and a vacuum evaporation device, preventing grease or lubricating oil of bearings from being contaminated with steam by using oil seals as shaft seals and discharging the steam leaked from the inside of a rotor chamber to the outside to prevent the steam from leaking to a bearing side. - 特許庁

ナノ粒子の原料を蒸発させる蒸発装置から放出される熱の流れの実質的な終点の位置をナノ粒子回収装置内部に合致するように、真空内部の熱の流れの形態を制御するようにしたことを特徴とする。例文帳に追加

Form of flow of heat in a vacuum vessel is controlled such that a position of a substantial terminal of flow of heat released from a vaporization device for vaporizing the material of nanoparticle is coincident with the inside of a nanoparticle recovery device. - 特許庁

真空内に封入された凝縮性のある作動液の蒸発、凝縮の相変化で熱を輸送するヒートパイプにおいて、液相の作動液を凝縮部から蒸発部へ還流させるポンプ力を高めることにより、熱輸送性能を向上させる。例文帳に追加

To improve heat transporting performance by increasing pumping force to return a liquid-phase working liquid from a condensation portion to an evaporation portion in a heat pump for transporting heat by phase change of evaporation and condensation of the condensable working liquid sealed in a vacuum container. - 特許庁

有機性廃棄物を密閉容3内に収容して、密閉容3内を略真空状態に減圧し、有機性廃棄物に含まれる水分を蒸発させることにより、有機性廃棄物の温度を低下させる。例文帳に追加

Organic waste is housed in a hermetically closed container 3 and the hermetically closed container 3 is internally evacuated to be brought to an almost vacuum state to lower the temperature of the organic matter. - 特許庁

ビルや家庭用の空気調和機から出る排熱の低減化と、蒸発内で真空にして、水を気化させた時に一般の水面検知では誤作動するため、制御できないのが課題である。例文帳に追加

To provide a vacuum type cooling apparatus capable of reducing heat to be exhausted and of controlling the position of a water surface. - 特許庁

微粒子濃度を高めた微粒子集合体8を、プラズマ発生用真空9に供給するために、レーザー6で液滴5を加熱し、溶媒7を蒸発させる。例文帳に追加

A solvent 7 is evaporated by heating a liquid drop 5 with the laser beam 6 in order to supply the aggregate of fine particles 8 with heightened density of fine particles to a plasma generating vacuum container 9. - 特許庁

シート状の無機繊維集合体を芯材に用いた真空断熱材を複数の蒸発を有する冷蔵庫に適用することにより、庫内容積向上を図ることができる。例文帳に追加

The volume in a refrigerator can be elevated by applying vacuum heat insulating material, where a sheet-form inorganic fiber aggregate is used for the core, to a refrigerator which has a plurality of evaporators. - 特許庁

ベーク工程の熱以外の外部エネルギを与えるプロセスを必要せずに、活性化温度の異なる非蒸発型ゲッタを活性化することができる真空気密容の製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a method for manufacturing a vacuum airtight container which activates nonevaporable getters having different activation temperatures with no necessity for a process to give an external energy other than the heat in a baking step. - 特許庁

真空蒸着にて基板に金属薄膜あるいは有機化合物の薄膜を成膜させるに当り、基板の大面積化にも容易に対応することのできる蒸発材料収容容を提供する。例文帳に追加

To provide an accommodation container of evaporation materials, which can easily cope with enlargement of substrate area in a process of forming a metal thin film or an organic compound thin film on the substrate by vacuum deposition. - 特許庁

真空チャンバ1の中には、容2の中に2〜3mmφの粒子状の蒸着物質3であるNb_2O_5が収納されており、これに電子銃4からの電子が加速されて衝突し、Nb_2O_5を蒸発させる。例文帳に追加

Nb_2O_5 which is a particulate deposition substance 3 of diameters of 2-3 mmϕ in a container 2 is stored in a vacuum chamber 1, and collided by accelerating electrons from an electron gun 4 thereto to evaporate Nb_2O_5. - 特許庁

例文

冷凍機4が停止した際に蒸発するヘリウムガス2bを冷凍機ポート40内を通して第1伝熱部材10または第2伝熱部材9と熱交換させてから真空14外に吐出する。例文帳に追加

Helium gas 2b evaporated when the freezer 4 stops is made to pass through the freezer port 40, is thermally exchanged with the first heat transmission member 10 or the second heat transmission member 9 and is discharged outside the vacuum container 14. - 特許庁

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