真空防止弁の英語

主弁の弁開度を段階的に大きくして、真空チャンバ内の気体の乱流を確実に防止し、真空排気を安定的に行なうことができるパイロット式２ポート真空バルブを提供する。例文帳に追加

To provide a pilot type two-port vacuum valve capable of stably performing evacuation by increasing valve opening of a main valve stepwise, and surely preventing a turbulent flow of gas in a vacuum chamber. - 特許庁

容易に開弁することができるとともに落下防止用のストッパが不要な真空弁ユニットの仕切弁を提供する。例文帳に追加

To provide a sluice valve for vacuum valve unit, capable of being easily opened and dispensing with a fall preventing stopper. - 特許庁

リリーフ弁を用いなくてもベント時の真空予備室の加圧を確実に防止することができ、しかも基板へのパーティクル付着を防止することができる真空予備室のベント方法および基板処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a vent method and a substrate processing device for a vacuum preliminary chamber capable of certainly preventing a pressure application of a vacuum preliminary chamber at the time of venting even if a relief valve is not used and a particle deposition to the substrate. - 特許庁

シール面への異物の付着を防ぎ、リークの発生を防止するゲート弁及び真空ゲート弁を提供すること。例文帳に追加

To provide a gate valve and a vacuum gate valve which prevent the adhesion of foreign matter onto a seal surface and the occurrence of leakage. - 特許庁

真空容器を開閉する真空ゲート弁について、弁板３４の冷却通路と、弁板支持体１５の冷却通路とを接続するスパイラルチューブ６６からの冷却流体の漏れを早期に検知して、冷却流体による真空容器内の汚染を防止する。例文帳に追加

To prevent the contamination of a vacuum container by cooling fluid by detecting the leakage of the cooling fluid from a spiral tube for connecting a cooling passage of a valve plate and a cooling passage of a valve plate support at an early period. - 特許庁

前後の真空容器１，２間の真空ゲート弁５における弁箱６内でその連通口７，８を開閉する弁板１４，１５を機械的な機構により開閉駆動するようにしつつ、その機構からの発塵により真空空間が汚染されるのを防止する。例文帳に追加

To prevent a vacuum space from being contaminated with dust generated from a mechanism while driving a valve plate for opening and closing a communication port in a valve casing in a vacuum gate valve between front and rear vacuum vessels by a mechanical mechanism. - 特許庁

真空ゲート弁について、その弁体駆動部等からの発塵の拡散を簡単な構成によって防止するようにして、コストの低減を図りつつ真空空間の汚染を抑制する。例文帳に追加

To reduce the cost and restrain contamination of vacuum space in a vacuum gate valve by preventing dust generated from a valve element driving part or the like from being diffused in a simple constitution. - 特許庁

天井裏を這い回す真空配管の所定部分に排水逆流防止用の逆止弁３５，３７を取り付ける。例文帳に追加

Check valves 35 and 37 for drain checks are secured to the fixed sections of the vacuum piping made to creep in an attic space. - 特許庁