誘電体窓の英語

誘電体窓曇り防止型プラズマ処理装置例文帳に追加

DIELECTRIC WINDOW ANTI-MIST TYPE PLASMA PROCESSING DEVICE - 特許庁

アンテナと誘電体窓の密着性を向上させ、異常放電を防止し、かつ、誘電体窓内の電磁界分布、したがってプラズマ密度分布を安定させることができる誘電体窓の製造方法、誘電体窓、およびその誘電体窓を用いるプラズマ処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a method of manufacturing a dielectric material window, the dielectric material window, and a plasma processing apparatus using the dielectric material window which can increase an adhesive force between an antenna and the dielectric material window and also can prevent abnormal electric discharging and stabilize a plasma density distribution according to a magnetic field distribution or a plasma density distribution. - 特許庁

誘電体板２２を誘電体窓１２に押し付け、誘電体窓１２の撓みに合わせて誘電体板２２を撓ませることができるので、誘電体板２２とスロット板２３との間、又はスロット板２３と誘電体窓１２との間に隙間が発生するのを防止することができる。例文帳に追加

Since the dielectric plate 22 can be pressed onto the dielectric window 12 and the dielectric plate 22 can be bent to be adjusted to the bending of the dielectric window 12, it is prevented that the gap is formed between the dielectric plate 22 and a slot plate 23, or between the slot plate 23 and the dielectric window 12. - 特許庁

誘電体板３，４は、誘電体窓２に並設され、表面波の伝播のみを行う。例文帳に追加

Dielectric plates 3, 4 are provided parallel to the dielectric window 2 and only propagate the surface waves. - 特許庁

誘電体板３，４は、形状、厚さおよび誘電率のうち少なくとも１つが誘電体窓２と異なってもよい。例文帳に追加

At least one of the form of the dielectric plates 3, 4, their thickness and their dielectric constant may also differ from that of the dielectric window 2. - 特許庁

このとき、誘電体窓５の内部に設けられた流路１１に流体を流すことにより、誘電体窓５の温度を制御することができる。例文帳に追加

At this time, fluid is put to flow in a passage 11 provided inside the dielectric window 5 to control a temperature of the dielectric window 5. - 特許庁

誘電体窓５は、複数の誘電板を接合することによって夫々の誘電板間に冷温媒流路１１を形成する。例文帳に追加

In the dielectrics window 5, the cold warm medium path 11 is formed between dielectric plates by jointing a plurality of dielectric plates. - 特許庁

マイクロ波プラズマ処理装置、それに用いる誘電体窓部材および誘電体窓部材の製造方法例文帳に追加

MICROWAVE PLASMA PROCESSING APPARATUS, DIELECTRIC WINDOW MEMBER USED THEREFOR, AND MANUFACTURING METHOD OF DIELECTRIC WINDOW MEMBER - 特許庁