CLEANLINESS FACTORとは 意味・読み方・使い方

Since the chemical is not supplied from a replenishing line, and the like to the chemical cartridge 29 so that the chemical is not polluted, the cleanliness factor of the chemical is maintained at a high level.例文帳に追加

薬液カートリッジ２９には、補充ラインなどから薬液が補充されることがなく、薬液が汚染されることがないので、薬液の清浄度を高く維持することができる。 - 特許庁

Further, in a substrate-polishing and cleaning system equipped with the substrate-cleaning equipment, after planarizing and planishing of the substrate is performed, the substrate can be cleaned with sufficient cleanliness factor.例文帳に追加

更に、前記の基板洗浄装置を備える基板研磨及び洗浄システムでは、基板を平坦化且つ鏡面化した上で、基板を清浄度よく洗浄することができる。 - 特許庁

To provide a method of cleaning a semiconductor substrate which improves the cleanliness factor of surface of the semiconductor substrate, and which is capable of avoiding the generation of variety in roughness on the surface of the semiconductor substrate, and to provide a method of manufacturing the semiconductor substrate.例文帳に追加

半導体基板表面の清浄度を良好にしかつ、半導体基板表面に粗さのムラが生じることを回避できる半導体基板の洗浄方法、および半導体基板の製造方法を提供すること。 - 特許庁

To provide a method for producing a substrate for mask blank including steps suitable for imparting a higher cleanliness factor to only a target portion with no need of evenly cleaning the whole substrate.例文帳に追加

基板全体を平均的に洗浄する必要が無く、狙った部分のみをより高い清浄度にするのに適した工程を有するマスクブランク用基板の製造方法等を提供する。 - 特許庁

To discharge effectively trash or the like in processing liquid and process a substrate with high cleanliness factor, and prevent mutual contamination by discharging process liquid, while supplying cleaning liquid to the inner wall of a processing tank.例文帳に追加

処理槽内壁に洗浄液を供給しながら処理液を排出することにより、処理液中のゴミ等を効率よく排出して清浄度高く基板を処理することができ、相互汚染を防止することができる。 - 特許庁

To simplify the change of an insert in which a thermal control fluid flows in an injection molding, and to keep the cleanliness factor of a die while placing and removing the insert.例文帳に追加

射出成型において熱制御流体が流れるインサートの交換を簡単にすると共に、インサートを設置および取り外す間、金型の清浄度を保持する。 - 特許庁

To provide an environment which is comfortable for an operator and a patient to have an operation and to ensure a cleanliness factor which is appropriate for the patient in an operating room.例文帳に追加

施術者にとっても、また手術を受ける患者にとっても快適な環境を提供することができ、患者に見合った清浄度を手術室内に確保する。 - 特許庁

To provide a simplified bioclean room which can be inexpensively installed in a short time, capable of maintaining an indoor cleanliness factor at at least class 7 and an indoor safety level at at least P2.例文帳に追加

多くのコストを要することなく短時間で設置することができ、しかも室内の清浄度を少なくともクラス７で、かつ室内のバイオセーフティレベルを少なくともでＰ２で維持することができる簡易型バイオクリーンルームを提供する。 - 特許庁