alignment stageとは 意味・読み方・使い方

To image alignment marks of a wafer stage and a mask stage by one imaging apparatus.例文帳に追加

ウェハステージとマスクステージのアライメントマークを１台の撮像装置で撮像可能とする。 - 特許庁

WAFER STAGE ALIGNMENT SYSTEM FOR STEPPER AND ALIGNING METHOD THEREFOR例文帳に追加

ステッパーのウェハーステージ・アライメントシステムおよびそのアライメント方法 - 特許庁

Two stage alignment coils 50 are arranged on the upstream side of two stage electromagnetic lenses 15 and 19.例文帳に追加

２段の電磁レンズ１５、１９の上流側に２段のアライメントコイル５０を配置する。 - 特許庁

The aligner has an exposure stage 4 used for executing exposure treatment, and an alignment stage 7 used for executing alignment and measurement.例文帳に追加

露光装置は、露光処理を実行するための露光ステージ４とアライメント計測を実行するためのアライメントステージ７を有する。 - 特許庁

The method for conveying the semiconductor wafer includes pressing of a first brush of an alignment stage cleaning mechanism 29 against a water vacuum stage of an alignment stage 5 of the semiconductor wafer W prior to conveying of the semiconductor wafer W to the alignment stage 5, rotating of the wafer vacuum stage in this state, and removing of the dust deposited on the wafer vacuum stage.例文帳に追加

半導体ウエハＷのアライメントステージ５への搬入に先立ち、アライメントステージクリーニング機構２９の第１のブラシをアライメントステージ５のウエハ吸着ステージに押し当て、その状態でウエハ吸着ステージを回転させ、ウエハ吸着ステージに付着した塵埃を除去する。 - 特許庁

To provide an exposure device including an exposure processing section for exposure processing and an alignment stage section for performing alignment, in which the alignment stage is made compact and inexpensive as much as possible.例文帳に追加

露光処理を行う露光処理部と位置合せを行うアライメントステージ部とを備えた露光装置において、アライメントステ一ジをできるだけ小型化、低コスト化すること。 - 特許庁

The alignment stage 2 aligns a plurality of articles that have been supplied.例文帳に追加

整列ステージ２は、供給された複数の物品を整列させる。 - 特許庁

A first stage holds a first member including a first alignment mark, and a second stage holds a second member including a second alignment mark.例文帳に追加

第１ステージが、第１アライメントマークを有する第１部材を保持し、第２ステージが、第２アライメントマークを有する第２部材を保持する。 - 特許庁