atomic shiftとは 意味・読み方・使い方

The phase difference of a phase shift mask is determined by measuring the depth of the step in the shifter part 6 by using a scanning atomic force microscope so as to manufacture the phase shift mask.例文帳に追加

走査型原子間力顕微鏡によりシフター部６の段差深さを測定することにより位相シフトマスクの位相差を測定し、位相シフトマスクを製造する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a halftone phase shift mask by which no correction scum of a residual defect is left when the residual defect of a halftone phase shift mask is removed by using an AFM (atomic force microscope) correcting device.例文帳に追加

ハーフトーン型位相シフトマスクの残留欠陥をＡＦＭ型修正機を用いて除去する際、残留欠陥の修正カスを残さないハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To provide a rubidium atomic oscillator that can reach a steady-state with a quick rise characteristic in a short shift time by quickly bringing its gas cell to a stable temperature when the oscillator is started from stop.例文帳に追加

ルビジウム原子発振器では、停止状態から起動したとき、急速にガスセルの安定温度に到達させ、素早い立ち上がり特性で通常状態への移行時間を短くする。 - 特許庁

The phase shift film 2 comprises a film, having a ratio of atomic percentages of the metal to silicon larger than metal:silicon=1:2 and is a dense film with ≤2 nm for root-mean-square (RMS) roughness.例文帳に追加

位相シフト膜２に含まれる金属と珪素との原子％の比率が、金属：珪素＝１：２より大きい膜で構成され、かつ自乗平均平方根粗さ（ＲＭＳ）で２ｎｍ以下となる緻密な膜である。 - 特許庁

To provide a method to easily measure phase difference by using a scanning atomic force microscope(AFM) without peeling a resist 1 during manufacturing a Levenson type phase shift mask, and to provide a method for manufacturing phase shift mask such that the manufacture process of a Levenson phase shift mask can be significantly reduced by using the above method for measuring the phase difference.例文帳に追加

レベンソン位相シフトマスクの製造途中にレジスト１を剥離せずに、走査型原子間力顕微鏡(AFM)を用いて簡便に位相差を測定する方法を提供し、この位相差測定方法を用いてレベンソン位相シフトマスクの製造プロセスを大幅に短縮することが可能になる位相シフトマスク製造方法を提供する。 - 特許庁

The shift reaction catalyst contains copper, palladium and/or platinum and has an atomic ratio, copper to palladium and/or platinum, of 0.2-20 and in the method for transforming carbon monoxide, carbon monoxide is transformed in the presence of the catalyst.例文帳に追加

銅ならびにパラジウム及び又は白金を含んでなり、かつパラジウム及び又は白金に対する銅の原子比が０．５〜２０であることを特徴とするシフト反応用触媒であり、また該触媒の存在下に一酸化炭素を平成することを特徴とする一酸化炭素の変性方法である。 - 特許庁