electron clusterとは 意味・読み方・使い方

An emitter cluster 152 for the data storage device includes a plurality of electron sources 154, 156, the electron sources generate electron beams 158, 160, and a collection spot 162 is formed on a storage medium 106.例文帳に追加

データ記憶装置のための放出器クラスタ（１５２）は、複数の電子源（１５４、１５６）を含み、該電子源はそれぞれ電子ビーム（１５８、１６０）を発生し、記憶媒体（１０６）上に集合スポット（１６２）を形成する。 - 特許庁

Evaporated particles 20a from an electron beam evaporation source 20 and cluster ions 30a from a cluster ion generator 30 are made incident on the substrate W to be treated held to a holder 2; thus the deposition of a fluoride film by a cluster ion assist is performed.例文帳に追加

ホルダー２に保持された被処理基板Ｗに、電子ビーム蒸発源２０からの蒸発粒子２０ａとクラスターイオン生成装置３０からのクラスターイオン３０ａを入射させることで、クラスターイオンアシストによるフッ化物膜の成膜を行う。 - 特許庁

Sublimed materials (molecule, atom, ion, cluster, electron or the like) are accumulated on a base material 9 while being collided with a reaction gas in a chamber.例文帳に追加

昇華した物質（分子，原子，イオン，クラスタ，電子等）は、チャンバ中の反応ガスと衝突しながら基材９上に堆積する。 - 特許庁

The chamber 120 is used for a cluster supply material and is used in a non-arc discharge mode such as a direct electron collision mode.例文帳に追加

チャンバ１２０はクラスター供給材料に用い、直接電子衝突モードのような非アーク放電モードで使用するように構成される。 - 特許庁

If the dopant profile measurement is implemented by using an electron beam holography, the thin piece 2 is thinned down by sputtering the gas cluster ion beam 1 after an removal of the residual gallium layer 3 until an electron beam of 100-200 kV passes through it.例文帳に追加

電子線ホログラフィーを用いてドーパントプロファイル測定を行う場合は、残留ガリウム層3除去後の薄片2を100〜200kVの電子線が透過する厚さまでガスクラスターイオンビーム1のスパッタで薄くする。 - 特許庁

At the irradiation step, an irradiation condition for ions of light elements or electron beams is so set that the content of a silicon cluster may exceed 0.06 times the content of carbon-oxygen composite defects in the region to be irradiated with ions of light elements or electron beams.例文帳に追加

この照射工程では、前記照射対象領域においてシリコンクラスタの含有量が炭素−酸素複合欠陥の含有量の０．０６倍を超えるように、軽元素イオン又は電子線の照射条件を設定する。 - 特許庁

When a charged particle is detected, a cluster ion exciting electron multiplier is employed and operated as a high-pass filter thus performing effective counting at a density of small number of particles.例文帳に追加

また、荷電パーティクルの検出に、クラスタイオン励起の電子増倍管を用い、さらにハイパスフィルタとして動作させることで、少ないパーティクル数密度でも有効なカウンを行う。 - 特許庁

Although it is difficult to balance prevention of the fragmentation of the cluster with a practical beam current by ionization by a conventional electron impact method, the practical beam current can be provided while preventing the fragmentation of the cluster by this application.例文帳に追加

従来の電子衝撃法によるイオン化ではクラスターのフラグメント化防止と実用的なビーム電流を両立することは困難であるが、本発明を用いることによって、クラスターのフラグメント化を防止しながら、実用的なビーム電流を得ることができる。 - 特許庁