fsgとは 意味・読み方・使い方

METHOD FOR IMPROVING ADHESION OF BARRIER LAYER TO HDP- FSG THIN FILMS例文帳に追加

ＨＤＰ−ＦＳＧ薄膜へのバリア層の付着力を改善する方法 - 特許庁

The carbon, OSG and FSG layers can be used as an IMD (Inter-Metal Dielectric) layer (isolation between lines).例文帳に追加

炭素、ＯＳＧ，ＦＳＧ層は、ＩＭＤ層（ライン間の分離）として使用される。 - 特許庁

Then, the TaN film 108 on the FSG film 105 is removed by second grinding.例文帳に追加

次に、第２研磨でＦＳＧ膜１０５上のＴａＮ膜１０８を除去する。 - 特許庁

It is considered that this nitrifying removes moisture from the FSG film and takes away fluorine.例文帳に追加

この窒化処理は、ＦＳＧ薄膜から水分を除去しフッ素を取り除くと考えられる。 - 特許庁

A wiring trench 110 is formed in side an FSG film 108 and an ARL film 109.例文帳に追加

ＦＳＧ膜１０８及びＡＲＬ膜１０９の内部に配線溝１１０を形成する。 - 特許庁

Thus, a following conductive layers that follow are protected from being exposed to fluorine due to the FSG layer.例文帳に追加

かくして後続の導電層は、ＦＳＧ層によりフッ素に曝されるのを保護される。 - 特許庁

After the FSG layer 13 is formed to cover aluminum wirings 12 on a substrate 11 in a chamber of a plasma processing apparatus, an NSG layer 14 is continuously formed in the chamber subsequent to the formation of the FSG layer 13 on the condition of higher temperature when the FSG layer 13 is formed.例文帳に追加

基板１１上のアルミニウム配線１２を覆う状態で、プラズマ処理装置のチャンバ内においてＦＳＧ層１３を形成した後、このチャンバ内においてＦＳＧ層１３の形成に連続させてＦＳＧ層１３の形成温度よりも高い温度条件でＮＳＧ層１４を形成する。 - 特許庁

At this time, a part of the top of the FSG film is exposed by dispersion of the manufacturing process.例文帳に追加

このとき、製造工程のばらつきによってＦＳＧ膜３の上面の一部が露出している。 - 特許庁