interlayer spaceとは 意味・読み方・使い方

On the side of each of the plurality of wiring layers 2, a hollow space 20 or an interlayer film 7 with a low dielectric constant of 2.5 or below are located.例文帳に追加

複数の配線層２の各々の横側には、中空空間２０もしくは２．５以下の誘電率を有する低誘電率の層間膜７が位置している。 - 特許庁

Wirings 102 are formed on a first interlayer film 101 on a semiconductor substrate 100, separating from each other by an inter-wiring space 103.例文帳に追加

半導体基板１００上の第１の層間膜１０１の上に複数の配線１０２が配線間スペース１０３を介して形成されている。 - 特許庁

A second interlayer film 104 is formed on the wirings 102 and the inter-wiring space 103.例文帳に追加

複数の配線１０２の上及び配線間スペース１０３に第２の層間膜１０４が形成されている。 - 特許庁

A space 91 is formed on interlayer films 56-58 formed on the substrate 51 along the division line in the plan view.例文帳に追加

基板５１上に形成された層間膜５６〜５８に、間隙９１が、前記平面視において前記分割線に沿って形成される。 - 特許庁

A semiconductor device includes: a first interlayer dielectric 11 having a plurality of first nanocolumn type holes 11b as space portions each having a cylindrical shape extending vertically to a principal surface of the semiconductor substrate; and low-layer wiring 12 selectively formed in the first interlayer dielectric 11.例文帳に追加

半導体装置は、半導体基板の主面に垂直な方向に筒状に延びる複数の空間部である第１のナノコラム型ホール１１ｂを有する第１の層間絶縁膜１１と、該第１の層間絶縁膜１１に選択的に形成された下層配線１２とを有している。 - 特許庁

The semiconductor device according to the present invention comprises: a semiconductor substrate; an interlayer dielectric film formed on the semiconductor substrate; a wiring disposed in the interlayer dielectric film; and a first and a second anti-fuse wiring that are connected to the wiring, face each other with a space therebetween that provides electrical insulation, and are capable of conduction through the disposition of a conductive member in the space.例文帳に追加

本発明の実施の形態に係る半導体装置は、半導体基板と、前記半導体基板上に形成された層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜中に配置された配線と、前記配線に接続され、電気的に絶縁可能な間隔を有して対向し、前記間隔に導電部材を配置することにより導通可能な第１および第２の接続端部を有した第１および第２のアンチヒューズ配線と、を有する。 - 特許庁

The subject hydrogen storage material has the carbon material having: an interlayer space for hydrogen occlusion, formed by removing a portion of or whole of an organic compound from a graphite intercalation compound comprising graphite and the organic compound intercalated in the graphite; and an active point at which hydrogen is adsorbed, being produced on the remaining organic compound and/or a part of hexagonal carbon layers defining the interlayer space.例文帳に追加

水素吸蔵材は、黒鉛の層間に有機化合物が挿入された黒鉛層間化合物の有機化合物の一部又は全てが取り出されて形成される水素侵入用の層間空間を有し、層間空間を形成している炭素六角網面の一部及び／又は層間に残存する有機化合物に水素を吸着する活性点が付与されている炭素材料を備える。 - 特許庁

Vacuum or gas exists in that space and since the dielectric constant is significantly low as compared with that of an interlayer insulation film, parasitic capacitance between the wirings can be reduced.例文帳に追加

この空間は真空または気体が存在する状態であり、これは層間絶縁膜に比べて比誘電率が非常に低いので、配線間の寄生容量を低減することができる。 - 特許庁