plasma environmentとは 意味・読み方・使い方

The metal nitride film may be plasma-etched under an environment containing fluorine plasma.例文帳に追加

そして、前記金属窒化膜はフッ素プラズマを含む環境でプラズマエッチングされるようにしてもよい。 - 特許庁

Since a portion for performing plasma treatment is arranged in environment of atmospheric pressure, the maintenance and inspection of the plasma treatment part can be easily performed.例文帳に追加

またプラズマ処理を行う部分については大気圧の環境に設置されるため、プラズマ処理部の整備や点検を容易に行うことができる。 - 特許庁

To provide a method for regenerating a plasma treatment container to a nearly new state when the surface of the container is degraded through its use in the plasma environment.例文帳に追加

プラズマ中での使用により表面が劣化したプラズマ処理容器を新品同様に再生することを提供する。 - 特許庁

The modulation of the pressure affects the ionization and the track of particles that have been ionized under a plasma environment.例文帳に追加

圧力の変調は、プラズマ環境でイオン化した粒子のイオン化および軌道に影響する。 - 特許庁

To provide a power supply device for generating plasma inducing plasma by generating glow discharge in gas, prevented from generation of arc discharge by creating a stable plasma environment.例文帳に追加

気体中でグロー放電を起こしてプラズマを発生させるプラズマ発生用電源装置において、安定したプラズマ環境を生成することによってアーク放電の発生を防止する。 - 特許庁

To provide an aluminum alloy for anodizing, which has superior corrosion resistance, and inhibits cracking of an anodic oxide coating even when irradiated with plasma in a plasma environment, and to provide a plasma treatment apparatus using it.例文帳に追加

耐食性に優れ、プラズマ環境下においてプラズマが照射されてもクラックの発生を抑制する陽極酸化処理用アルミニウム合金及びそれを用いたプラズマ処理装置を提供する。 - 特許庁

An element hardly removed from a quartz-made member to be used for plasma treatment is mixed in advance to the quartz-made member provided in the plasma treatment apparatus, thereby allowing the plasma treatment environment in replacing the quartz-made member to become a plasma treatment environment having substantially less change, and thus, the performance of the plasma treatment apparatus is stabilized.例文帳に追加

プラズマ処理装置内に備える石英製部材に、プラズマ処理に用いる石英製部材から除去しにくい元素をあらかじめ混入することにより、石英製部材の交換時におけるプラズマ処理環境を実質的に変化の少ないプラズマ処理環境とし、プラズマ処理装置の性能を安定化させる。 - 特許庁