plasma shiftとは 意味・読み方・使い方

Further, the light-shielding layer 3 is patterned to form a light-shielding pattern 3a, and the shifter layer 2 is subjected to dry etching with chlorine, using ICP(inductively coupled plasma) type dry etching apparatus, to form a phase shift pattern 2a for obtaining shift mask 100 of the invention.例文帳に追加

さらに、遮光層３をパターニング処理して遮光パターン３ａを形成し、さらに、シフター層２をＩＣＰ（誘電結合プラズマ）タイプのドライエッチング装置を用いて塩素によるドライエッチングにてエッチングし、位相シフトパターン２ａを形成し、本発明の位相シフトマスク１００を得る。 - 特許庁

Since the CO and H_2O having dipole moment are made into radicals or ions and activated by the plasma, a CO shift reaction and a methanation reaction proceed simultaneously and efficiently.例文帳に追加

双極子モーメントを有するCO及び H_2Oはプラズマによってラジカル化あるいはイオン化して活性化されるので、COシフト反応及びメタン化反応が同時に効率よく進行する。 - 特許庁

To provide a method in which appropriate shift of charging to an electrode Y_as from an electrode X is guaranteed regardless of a type of phosphor of a cell in a plasma display panel.例文帳に追加

プラズマディスプレイパネルにおいて、電極Ｘから電極Ｙ_ａｓへの充電の適切な移行をセルの蛍光体のタイプに関係なく保証することのできる方法を提供する。 - 特許庁

To perform plasma etching to form a gate electrode on a workpiece of a large-size diameter, while ensuring the in-plane uniformity of CD shift of the gate electrode.例文帳に追加

大口径の被処理体にゲート電極の形成を目的としてプラズマエッチングを行う際に、ゲート電極のＣＤシフトの面内均一性を確保するのが困難になってきている。 - 特許庁

To provide semi-fabricated item of an electrode for a plasma arc torch having a structure preventing shift of an electron emission element during a heating process after assembly and its exposure to an atmosphere during the heating process.例文帳に追加

組立後の加熱工程で電子放出要素が移動せず、電子放出要素が加熱工程中の雰囲気に露出しない構造となるプラズマアークトーチ用電極の半製品を提供する。 - 特許庁

Thereby, the plasma gun 10 can stably generate the glow discharge in a short period of time, and can shift the glow discharge to the arc discharge though having a structure provided even with three intermediate electrodes.例文帳に追加

これにより、３つの中間電極を備えた構成であっても短時間にグロー放電を安定して生じさせることができ、アーク放電に移行させることができる。 - 特許庁

To provide a substrate transmitting device which controls the positional shift of the substrates without damaging the substrates, a burning system, and manufacturing method of plasma display panel.例文帳に追加

焼成炉内での基板の位置ずれを抑制し、基板の破損がない基板搬送装置と焼成装置およびプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。 - 特許庁

As a result, since no change is produced in the temperature distribution of the optical bench 2, even before and after the plasma flame 3 is ignited, the problem due to the positional shift of the optical element is solved and consumption of argon gas can be reduced also.例文帳に追加

結果として、プラズマ炎３の点火前も点火後も光学ベンチ２の温度分布に変化が生じないため、光学素子の位置ずれのよる問題が解決し、アルゴンガスの消耗も低減できる。 - 特許庁