poly silazaneとは 意味・読み方・使い方

A coating part 20 coats the paid-out film with a poly silazane solution.例文帳に追加

コーティング部２０は、繰り出されたフィルムにポリシラザン溶液を塗布する。 - 特許庁

A drying and reaction vessel 30 drys the applied poly silazane solution and forms a silica layer by converting into ceramic by a chemical reaction.例文帳に追加

乾燥反応槽３０は、塗布されたポリシラザン溶液を乾燥すると共に化学反応させてセラミック化することによりシリカ層を形成する。 - 特許庁

It applies completely so that a poly silazane film as the second element isolation insulating film 32 may become depressed and a portion 31v may be buried, and a densification is performed by a thermal oxidation.例文帳に追加

第２素子分離絶縁膜３２としてのポリシラザン膜が窪み部３１ｖを埋めるように全面塗布され、熱酸化により緻密化される。 - 特許庁

Such an isolation structure can be formed by coating the substrate surface with a poly-silazane composition, irradiating the surface of the coating film with an ultraviolet ray to solidify a part of the poly-silazane located in the vicinity of the surface of the coating film, and baking the coating film.例文帳に追加

このようなアイソレーション構造は、基板表面にポリシラザン組成物を塗布し、前記塗膜の表面に紫外線を照射して、塗膜の表面近傍にあるポリシラザンの一部を硬化させ、さらに前記塗膜を焼成することにより形成させることができる。 - 特許庁

A stimulable phosphor adapted to convert an incident radiation into a visible ray is formed on one surface of a support body in a storage phosphor panel, where the phosphor, and the surface of the support body if desired, are covered with a poly-p-xylylene film, and a film-forming silazane or siloxazane type polymer compound covers the outermost surface of the poly-p-xylylene film on the phosphor side.例文帳に追加

入射放射線を可視光に変換するために適応された刺激性燐光体が貯蔵燐光体パネル中の支持体の一つの表面上に形成され、そこでは燐光体、所望により前記支持体の表面はポリパラキシリレンフィルムでカバーされ、フィルム形成シラザン又はシロキサザンタイプのポリマー化合物は燐光体側上のポリパラキシリレンフィルムの最外表面をカバーする。 - 特許庁

The copper surface treatment method comprises a step of forming a metal layer containing at least one metal selected from copper, tin, chromium, nickel, zinc, aluminum, cobalt, gold, platinum, silver and palladium, and a step of subsequently treating the copper surface with a liquid containing at least one of alkali silicate, ester silicate, poly-silazane, or dual-functional silane compound.例文帳に追加

銅表面に銅、スズ、クロム、ニッケル、亜鉛、アルミニウム、コバルト、金、白金、銀、パラジウムから選択される金属を一種以上含む金属層を形成する工程、その後、ケイ酸アルカリ、ケイ酸エステル、ポリシラザンまたは双官能シラン化合物を少なくとも一種以上含む液で処理する工程を有する銅の表面処理方法。 - 特許庁

The ferroelectric memory is equipped with a plurality of capacitors 19 which are provided above a silicon substrate 1 comprising lower electrodes 13, ferroelectric films 14, and upper electrodes 15; and a poly silazane film 21 which is provided on the capacitors 19 and among a plurality of the capacitors 19, and in a gap between the capacitors 19 so as to fill it up.例文帳に追加

強誘電体メモリは、シリコン基板１の上方に設けられ、下部電極１３、強誘電体膜１４および上部電極１５を含む複数のキャパシタ１９と、複数のキャパシタ１９上および複数のキャパシタ１９間に設けられ、かつ、複数のキャパシタ１９間の隙間を埋め込む、ポリシラザン膜２１とを備えている。 - 特許庁