pure fluidとは 意味・読み方・使い方

The pure water in the pure water passage is heated by forming a high-temperature fluid passage, for carrying the fluid discharged from the fuel cell stack 1 in contact with the pure water passage, whereby the temperature of the pure water at starting can be raised quickly.例文帳に追加

さらに前記純水流路中の純水を燃料電池スタック（１）から排出された流体が流れる高温流体流路を前記純水流路に接して形成することにより加熱するように構成することで始動時の純水の温度を速やかに上昇させる。 - 特許庁

A cover rinse nozzle 51 for liquid film formation is also a two-fluid nozzle for generating and discharging mixture fluid comprising pure water drops.例文帳に追加

液膜形成のためのカバーリンスノズル５１も純水液滴を含む混合流体を生成吐出する二流体ノズルである。 - 特許庁

The electroless plating apparatus also has a lower thermoregulation body installed below the back surface of the substrate, which passes the thermoregulatng fluid therein, exchanges heat between the thermoregulating fluid and a fluid for the back surface side such as pure water, to thermoregulate the pure water, and fills the pure water in a space between the back surface of the substrate and the lower thermoregulation body.例文帳に追加

また基板の裏面側に下部温調体を設けてこの中に温調用流体を通流させ、ここで裏面側用流体例えば純水と熱交換して当該純水を温調し、この純水により基板の裏面と下部温調体との間を満たすようにする。 - 特許庁

As a result, the fluid component of pure water is eliminated from the substrate core so that the pure water liquid layer exists only in a periphery.例文帳に追加

その結果、基板中心部からは純水の液体成分が排除され、周辺部のみに純水液層が存在する状態へと移行する。 - 特許庁

The humidifying pure water system 32 is provided with a first pure water tank 1 open to the atmosphere for storing pure water and a second pure water tank 3 open to the atmosphere connected to the first one through a connecting pipe 13 equipped with a fluid level sensor 14.例文帳に追加

加湿純水系３２としては、純水を貯蓄する、大気に開放された第一純水タンク１と、これに接続配管１３を介して接続し、液面レベルセンサ１４を備える、大気に開放された第二純水タンク３を備える。 - 特許庁

A double fluid nozzle 30 mixes an N_2 gas and pure water supplied by supply ducts 51b, 52b and discharges a mixed fluid M to a substrate W.例文帳に追加

二流体ノズル３０は供給管路５１ｂ，５２ｂにより供給されるＮ_2 ガスおよび純水を混合し、その混合流体Ｍを基板Ｗへ吐出する。 - 特許庁

The substrate processing apparatus 1 has a two-fluid nozzle 2 where pure water (DIW) and nitrogen gas are introduced for spraying the pure water in droplets, and a controller 20.例文帳に追加

この基板処理装置１は、純水（ＤＩＷ）および窒素ガスを導入して純水の液滴を噴射する二流体ノズル２およびコントローラ２０を備えている。 - 特許庁

Pure water to be a running fluid is sealed in each groove under a voltage reduced state to constitute a heat pipe 6.例文帳に追加

溝１は、内部に作動流体である純水が減圧下で封入されてヒートパイプ６を構成している。 - 特許庁