radical 36とは 意味・読み方・使い方

Radical generators 35, 36 are attached to the radical inlets 33, 34.例文帳に追加

ラジカル導入口33,34にラジカル発生器35,36を取り付ける。 - 特許庁

Etching radicals R from the radical generators 35, 36 are made to flow in from the radical inlets 33, 34 along inner end surfaces 4, 5 of the deposition chamber 2.例文帳に追加

ラジカル発生器35,36からのエッチングラジカルＲをラジカル導入口33,34から成膜チャンバ２の内端面４,５に沿って流入させる。 - 特許庁

Then, only the hydrogen radical contained in the hydrogen plasma passes through a shielding plate 36 to a treatment chamber 40.例文帳に追加

そして、この水素プラズマに含まれる水素ラジカルのみが、遮蔽板３６をすり抜けて、処理室４０に導かれる。 - 特許庁

In a radical-generating chamber 41 disposed outside the reaction chamber 10, hydrogen radicals 38 are generated by decomposing a radical source gas 36 containing hydrogen using an RF wave and the like.例文帳に追加

一方、反応室１０の外部に設けられたラジカル発生室４１において、少なくとも水素を含むラジカル源ガス３６をＲＦ波等により分解して水素ラジカル３８を生成する。 - 特許庁

In December 1999, the Small and Medium Enterprise Basic Law underwent its first radical overhaul in 36 years, expanding the range of SMEs eligible for support measures and enhancing support for startups and SMEs engaging in business innovation.発音を聞く 例文帳に追加

99年12月には「中小企業基本法」が36年ぶりに抜本改正され、施策の対象となる中小企業の範囲を拡大したほか、創業・経営革新などに取り組む中小企業への支援策充実が図られた。 - 経済産業省

A gas injection port 33 and a gas suction port 36 are provided near a projection lens; and gas containing carbon monoxide is made to flow from a gas supplying unit 31 to react with active substance in a system, for example, ozone, active oxygen, OH radical or the like, and inactivate them.例文帳に追加

投影レンズ近傍にガス噴出口３３及びガス吸引口３６を設け、ガス供給部３１から一酸化炭素を含有したガスを流して系内の活性物質、例えばオゾン、活性酸素、ＯＨラジカルなどと反応させてこれを不活性化させる。 - 特許庁

Immediately after the gate electrode 35 is formed inside the gate recess 32 following the formation of the gate recess 32, the side face and the bottom face defining the gate recess 32 are subject to radical oxygen 40 for an oxide treatment to form an oxide treatment layer 37, and then the protective film 36 is formed.例文帳に追加

ゲートリセス３２を形成し、ゲートリセス３２内にゲート電極３５を形成した直後に、ゲートリセス３２を規定する側面および底面を、ラジカル酸素４０によって酸化処理することによって、酸化処理層３７を形成した上で、保護膜３６を形成するようにする。 - 特許庁