silane plasmaとは 意味・読み方・使い方

METHOD OF PROCESSING SILICON NITRIDE WITH PLASMA, USING ARGON, NITROGEN AND SILANE GAS例文帳に追加

アルゴン、窒素、およびシランガスを使用した窒化珪素プラズマ処理方法 - 特許庁

PLASMA CVD APPARATUS AND FLUORIDE ORGANIC FILM, AND ORGANIC FILM HAVING SILANE COUPLING GROUP例文帳に追加

プラズマＣＶＤ装置及びフッ化有機膜、シランカップリング基を有する有機膜 - 特許庁

For example, a silane-based plasma SiN or either of SiO, SiON and SiOF is stacked at 100 nm.例文帳に追加

例えばシラン系プラズマＳｉＮもしくはＳｉＯ，ＳｉＯＮ，ＳｉＯＦのいずれかを１００ｎｍ堆積する。 - 特許庁

A helium gas is used to lower the deposition rate of plasma-enhanced silane oxide, silane oxynitride, and silane nitride processes.例文帳に追加

ヘリウムガスを用いてプラズマ励起シラン酸化物プロセス、プラズマ励起シランオキシナイトライドプロセス及びプラズマ励起シランナイトライドプロセスの堆積速度を下げる。 - 特許庁

A method of forming silicon nitride in a plasma process chamber includes a step of mixing argon(Ar), nitrogen(N2) and silane(SiH4) in a plasma.例文帳に追加

プラズマ処理チャンバ内で窒化珪素を形成する方法は、アルゴン（Ar）、窒素（N_2）、およびシラン（SiH_4）をプラズマ中で混合するステップを含む。 - 特許庁

In the film deposition method, film deposition is carried out according to a plasma CVD process using any material for the insulating film selected from n-butyl dimethyl methoxy silane, n-butyl methyl silane, n-butylidene methyl methoxy silane, n-butylidene silanon, allyl dimethyl methoxy silane, allyl methyl silanon, allylidene methyl methoxy silane, allylidene silanon, vinyl ethyl methyl methoxy silane, vinyl ethyl silanon, etc.例文帳に追加

絶縁膜用材料として、ｎ−ブチルジメチルメトキシシラン、ｎ−ブチルメチルシラノン、ｎ−ブチリデンメチルメトキシシラン、ｎ−ブチリデンシラノン、アリルジメチルメトキシシラン、アリルメチルシラノン、アリリデンメチルメトキシシラン、アリリデンシラノン、ビニルエチルメチルメトキシシラン、ビニルエチルシラノンなどを用い、プラズマＣＶＤ法によって成膜する。 - 特許庁

The ultra-high density Si plasma (10^14/cm^3) 1 generated by a pulsed laser beam is subjected to collision reaction against the plasma 2 generated through a different plasma reaction using a silane gas, a hydrogen gas, etc.例文帳に追加

パルスレーザー光によって発生した超高密度のＳｉプラズマ（１０^１４／ｃｍ^３）１を、シランガス、水素ガス等を用いた別のプラズマ反応で生成されたプラズマ２と衝突反応させる。 - 特許庁