「露光ステージ」に関連した英語例文の一覧と使い方(5ページ目) - Weblio英語例文検索

露光用２ステージエキシマレーザ装置例文帳に追加

TWO-STAGE EXCIMER LASER DEVICE FOR EXPOSURE - 特許庁

ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法例文帳に追加

STAGE APPARATUS, ALIGNER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD - 特許庁

ステージ装置及び露光装置、並びにデバイス製造方法例文帳に追加

STAGE APPARATUS, EXPOSURE EQUIPMENT, AND METHOD FOR FABRICATING DEVICES - 特許庁

保護装置、モータ装置、ステージ装置、および露光装置例文帳に追加

PROTECTIVE DEVICE, MOTOR APPARATUS, STAGE DEVICE, AND EXPOSURE DEVICE - 特許庁

リニアモータ装置、ステージ装置、及び露光装置例文帳に追加

LINEAR MOTOR DEVICE, STAGE DEVICE, AND ALIGNER - 特許庁

リニアモータ及びステージ装置並びに露光装置例文帳に追加

LINEAR MOTOR, STAGE DEVICE AND EXPOSER - 特許庁

ステージ装置およびそれを用いた露光装置例文帳に追加

STAGE SYSTEM AND EXPOSURE APPARATUS USING IT - 特許庁

ステージ制御装置、露光装置、及びデバイス製造方法例文帳に追加

STAGE CONTROLLER, EXPOSURE DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE - 特許庁

ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法例文帳に追加

STAGE APPARATUS, EXPOSURE EQUIPMENT, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD - 特許庁

ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法例文帳に追加

STAGE DEVICE, LITHOGRAPHY AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE - 特許庁

ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法例文帳に追加

STAGE DEVICE, EXPOSURE DEVICE AND DEVICE MANUFACTURING METHOD - 特許庁

ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法例文帳に追加

STAGE DEVICE, EXPOSURE DEVICE AND DEVICE MANUFACTURING METHOD - 特許庁

基板保持装置及びステージ装置並びに露光装置例文帳に追加

SUBSTRATE HOLDER, STAGE APPARATUS AND EXPOSURE APPARATUS - 特許庁

エアパッド、エアベアリング、ステージ及び露光装置例文帳に追加

AIR PAD, AIR BEARING, STAGE, AND PHOTO EXPOSURE DEVICE - 特許庁

ステージ装置およびそれを使った半導体露光装置例文帳に追加

STAGE APPARATUS AND SEMICONDUCTOR ALIGNER USING THE SAME - 特許庁

ステージ装置及びそれを有する露光装置例文帳に追加

STAGE DEVICE AND PROJECTION ALIGNER HAVING THE STAGE DEVICE - 特許庁

ステージ装置及び露光装置並びにデバイス製造方法例文帳に追加

STAGE DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD - 特許庁

ステージ製造方法及び露光装置製造方法例文帳に追加

PROCESS FOR MANUFACTURING STAGE AND PROCESS FOR MANUFACTURING EXPOSURE APPARATUS - 特許庁

制振装置及びステージ装置並びに露光装置例文帳に追加

DAMPING APPARATUS AND STAGE UNIT, AND EXPOSURE EQUIPMENT - 特許庁

組立構造体、ステージ装置および露光装置例文帳に追加

ASSEMBLY STRUCTURE, STAGE APPARATUS, AND ALIGNER - 特許庁

計測方法、ステージ装置、及び露光装置例文帳に追加

MEASURING METHOD, STAGE SYSTEM AND EXPOSURE APPARATUS - 特許庁

ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法例文帳に追加

STAGE DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD OF DEVICE - 特許庁

露光装置におけるマスクステージの取り付け構造例文帳に追加

MASK STAGE MOUNTING STRUCTURE IN ALIGNER - 特許庁

モータ装置、ステージ装置、及び露光装置例文帳に追加

MOTOR DEVICE, STAGE DEVICE, AND ALIGNER - 特許庁

環境調整装置及びステージ装置並びに露光装置例文帳に追加

ENVIRONMENTAL ADJUSTMENT DEVICE, STAGE DEVICE AND EXPOSING DEVICE - 特許庁

リニアパルスモータ、ステージ装置及び露光装置例文帳に追加

LINEAR PULSE MOTOR, STAGE DEVICE, AND EXPOSURE APPARATUS - 特許庁

ステージ装置およびその制振方法並びに露光装置例文帳に追加

STAGE DEVICE AND ITS DAMPING METHOD AND PROJECTION ALIGNER - 特許庁

光学装置、ステージ装置、光学系及び露光装置例文帳に追加

OPTICAL DEVICE, STAGE DEVICE, OPTICAL SYSTEM, AND EXPOSURE APPARATUS - 特許庁

ステージ装置及び露光装置、計測方法例文帳に追加

STAGE UNIT AND EXPOSURE APPARATUS, AND MEASURING METHOD - 特許庁

ステージ制御装置及び方法並びに露光装置例文帳に追加

STAGE CONTROL EQUIPMENT AND METHOD THEREFOR AND ALIGNER - 特許庁

多相モータ駆動装置、ステージ装置、露光装置例文帳に追加

POLYPHASE MOTOR DRIVER, STAGE APPARATUS, AND ALIGNER - 特許庁

ＸＹステージ機構及び露光装置例文帳に追加

XY STAGE MECHANISM AND EXPOSING DEVICE - 特許庁

ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法例文帳に追加

STAGE APPARATUS, EXPOSURE EQUIPMENT AND DEVICE FABRICATION METHOD - 特許庁

リニアモータ及びステージ装置並びに露光装置例文帳に追加

LINEAR MOTOR AND STAGE DEVICE AND ALIGNER - 特許庁

微動テーブル装置、ステージ装置及び露光装置例文帳に追加

FINELY MOVING TABLE, STAGE APPARATUSES, AND EXPOSURE APPARATUS - 特許庁

露光装置は、露光処理を実行するための露光ステージ４とアライメント計測を実行するためのアライメントステージ７を有する。例文帳に追加

The aligner has an exposure stage 4 used for executing exposure treatment, and an alignment stage 7 used for executing alignment and measurement. - 特許庁

レチクル（原盤）を逐次ウェハー（基板）に転写露光する露光装置において、粗動位置決めステージと微動位置決めステージを持つレチクルステージにおいて、一つの粗動位置決めステージ上に複数の微動位置決めステージを持つ。例文帳に追加

In an aligner for performing the transfer exposure of reticle (master) onto a wafer (substrate) successively, a reticle stage having a coarse positioning stage and a fine movement positioning stage has a plurality of fine movement stages on one coarse positioning stage. - 特許庁

ステージ制御方法及び装置、ステージ制御プログラム、露光装置、並びにデバイス製造方法例文帳に追加

STAGE CONTROL METHOD AND EQUIPMENT, STAGE CONTROL PROGRAM, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD - 特許庁

ステージ制御装置、露光装置、デバイス製造方法、及びステージ制御方法例文帳に追加

STAGE CONTROLLER, EXPOSURE APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD AND STAGE CONTROL METHOD - 特許庁

ステージ装置およびその浮上制御方法と、ステージ装置を用いた露光装置例文帳に追加

STAGE DEVICE, ITS LIFTING CONTROL METHOD, AND EXPOSURE DEVICE USING STAGE DEVICE - 特許庁

ステージ装置、ステージ制御方法、露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法例文帳に追加

STAGE DEVICE, STAGE CONTROL METHOD, EXPOSURE DEVICE AND METHOD, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD - 特許庁

ステージ装置、これを用いた露光装置およびデバイス製造方法ならびにステージ制御方法例文帳に追加

STAGE DEVICE, EXPOSURE DEVICE USING THE SAME, DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND STAGE CONTROL METHOD - 特許庁

ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法ならびにステージ駆動方法例文帳に追加

STAGE DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND STAGE DRIVING METHOD - 特許庁

ステージ駆動方法及びステージ装置、露光装置、並びにデバイス製造方法例文帳に追加

STAGE DRIVE METHOD AND STAGE UNIT, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD - 特許庁

走査露光を行う際のレチクルステージとウエハステージとを高精度に制御する。例文帳に追加

To control both a reticle stage and a wafer stage with high accuracy when a scanning exposure operation is carried out. - 特許庁