「beam alignment」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

CHARGE PARTICLE BEAM PROJECTION ALIGNMENT METHOD例文帳に追加

荷電粒子線投影露光方法 - 特許庁

CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND AXIS ALIGNMENT METHOD OF BEAM AXES例文帳に追加

荷電ビーム装置及びそのビーム軸の軸合わせ方法 - 特許庁

ALIGNMENT METHOD IN LASER BEAM MACHINING DEVICE AND ALIGNMENT PROGRAM例文帳に追加

レーザ加工装置におけるアライメント方法、およびアライメントプログラム - 特許庁

LASER EQUIPMENT FOR BEAM LINE ALIGNMENT FOR ION-BEAM APPLIED APPARATUSES例文帳に追加

イオンビーム応用機器のビームラインアライメント調整用レーザ装置 - 特許庁

ALIGNMENT METHOD, ALIGNMENT APPARATUS, AND MASK FOR CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE例文帳に追加

アライメント方法、アライメント装置、および荷電粒子線露光用マスク - 特許庁

An extra optical element is put across an alignment beam during alignment.例文帳に追加

アライメントの間、アライメントビーム内に特別な光学素子を配置する。 - 特許庁

AXIS ALIGNMENT METHOD OF CHARGED PARTICLE BEAM, AND CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS例文帳に追加

荷電粒子線の軸合わせ方法及び荷電粒子線装置 - 特許庁

METHOD AND APPARATUS FOR PRECISE ALIGNMENT FOR RECTANGULAR BEAM例文帳に追加

矩形ビーム用精密アライメント装置と方法 - 特許庁

ALIGNMENT ADJUSTING MECHANISM OF TORSION BEAM TYPE SUSPENSION例文帳に追加

トーションビーム式サスペンションのアライメント調整機構 - 特許庁

DATA STORAGE DEVICE AND ELECTRON BEAM ALIGNMENT METHOD例文帳に追加

データ記憶装置および電子ビーム整列方法 - 特許庁

ION BEAM MEASUREMENT METHOD AND ALIGNMENT TREATMENT METHOD例文帳に追加

イオンビーム測定方法および配向処理方法 - 特許庁

ALIGNMENT METHOD FOR CHARGED PARTICLE BEAM COLUMN, AND DEVICE例文帳に追加

荷電粒子ビームカラムのアライメント方法および装置 - 特許庁

ALIGNMENT MARK, RETICLE, AND CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSURE SYSTEM例文帳に追加

アライメントマーク、レチクル及び荷電粒子線露光装置 - 特許庁

ELECTRON BEAM REDUCTION/TRANSFER DEVICE AND ALIGNMENT METHOD例文帳に追加

電子線縮小転写装置及びアライメント方法 - 特許庁

An alignment tool illuminates an alignment mark P1 on a substrate W with an alignment beam, and measures a reflection spectrum.例文帳に追加

アライメントツールは、基板Ｗ上のアライメントマークＰ１をアライメントビームで照らし、反射スペクトルを測定する。 - 特許庁

SUBSTRATE ALIGNMENT METHOD, SUBSTRATE ALIGNMENT DEVICE, LASER BEAM MACHINING APPARATUS AND SOLAR PANEL MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

基板アライメント方法、基板アライメント装置、レーザ加工裝置及びソーラパネル製造方法 - 特許庁

LIGHT BEAM FORM MEASURING APPARATUS AND ALIGNMENT MEASURING APPARATUS例文帳に追加

光ビーム形状計測装置及びアライメント測定装置 - 特許庁

To provide a method of making axial alignment of a charged particle beam, by which axial alignment of the charged particle beam can be easily performed.例文帳に追加

容易に荷電粒子ビームの軸合わせができる荷電粒子ビームの軸合わせ方法を提供する。 - 特許庁

METHOD AND APPARATUS FOR ALIGNMENT AND ELECTRON BEAM EXPOSURE SYSTEM例文帳に追加

アライメント方法、アライメント装置、及び電子線露光装置 - 特許庁

BEAM AXIS ADJUSTING METHOD BY ALIGNMENT COIL AND CHARGED PARTICLE BEAM DRAWING METHOD例文帳に追加

アライメントコイルによるビーム軸調整方法及び荷電粒子ビーム描画方法 - 特許庁

To improve a calculating method for an alignment beam angle of an alignment system, and a verification method for front surface-rear surface alignment (FTBA) error.例文帳に追加

アライメントシステムのアライメントビームの角度を算出、表面−裏面アライメント（FTBA）エラーの検証方法を改善する。 - 特許庁

Then, a particle beam alignment process is performed to the exposed alignment material layer.例文帳に追加

次に、配向膜形成層の露出部分に対して粒子ビーム配向処理を行う。 - 特許庁

ALIGNMENT MARK, RETICLE FOR CHARGED PARTICLE BEAM ALIGNER AND CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSING METHOD例文帳に追加

アライメントマーク、荷電粒子線露光装置用レチクル及び荷電粒子線露光方法 - 特許庁

DEVICE AND MAINTAINING ALIGNMENT BETWEEN FOCAL POINT OF LASER BEAM AND SLIT APERTURE例文帳に追加

レーザビームの焦点とスリット開口との整合維持装置 - 特許庁

MEASURING SUBSTRATE, SUBSTRATE TABLE, LITHOGRAPHIC APPARATUS, CALCULATING METHOD FOR ALIGNMENT BEAM ANGLE IN ALIGNMENT SYSTEM, AND ALIGNMENT VERIFICATION SYSTEM例文帳に追加

計測基板、基板テーブル、リソグラフィ装置、アライメントシステムにおけるアライメントビーム角度の算出方法、およびアライメント検証システム - 特許庁

To effectively make axis alignment for crossing two beam axes in a charged particle beam device with two beam axes.例文帳に追加

２つのビーム軸を有する荷電ビーム装置において、２つのビーム軸を交差させる軸合わせを効率化する。 - 特許庁

To provide an alignment tool which obtains a variable focal depth of an alignment beam.例文帳に追加

アライメントビームの可変焦点深度を可能にするアライメントツールを提供することを目的とする。 - 特許庁

ALIGNMENT MATCHING METHOD OF MICROSCOPE AND MICROSCOPE HAVING ALIGNMENT MATCHING DEVICE OF LIGHT BEAM例文帳に追加

顕微鏡のアライメント整合方法および光ビームのアライメント整合装置を備える顕微鏡 - 特許庁

The used wavelength may coincide with the wavelength of the alignment beam.例文帳に追加

この波長は、アライメントビームの波長と一致することができる。 - 特許庁

The detector (128) receives the alignment optical beam (118) from the dedicated output optical fiber (204), and forms a signal expressing the alignment optical beam (118).例文帳に追加

検出器(128)は専用出力光ファイバ(204)からアライメント光ビーム(118)を受光し、アライメント光ビーム(118)を表す信号を生成する。 - 特許庁

The optical system receives the radiation beam, produces an alignment beam, directs the alignment beam to a mark located on an object, receives alignment radiation back from the mark, and transmits the received radiation.例文帳に追加

光学システムは、放射ビームを受光し、アライメントビームを生成し、アライメントビームをオブジェクト上に位置するマークに誘導し、そのマークから戻るアライメント放射を受光し、受光した放射を伝送する。 - 特許庁

A self-referencing interferometer includes an optical system for splitting an alignment beam to create a reference beam and a transformed beam.例文帳に追加

自己参照干渉計は、アライメントビームを分割して参照ビームおよび変性ビームを生成する光学システムを含む。 - 特許庁

To improve an alignment mark detection accuracy in an electron beam exposure.例文帳に追加

電子ビーム露光における、アライメントマーク検出精度を向上する。 - 特許庁

To obtain an adjustment method of charged particle beam axis in which beam axis alignment can be made easily even if the optical element is made of multiple stages.例文帳に追加

光学要素が複数段であってもビームの軸合わせを容易にできるようにする。 - 特許庁

To provide an alignment mark which can be detected with both an optical alignment sensor and an alignment sensor that uses charged particle beam.例文帳に追加

光学式のアライメントセンサと荷電粒子線を使用するアライメントセンサの両方で検出が可能であるアライメントマークを提供する。 - 特許庁

The signals indicative of vertical light beam alignment and horizontal light beam alignment can be used to detect light beam misalignment, so that compensation for such misalignment can be performed.例文帳に追加

垂直光線の位置及び水平光線の位置を示す前記信号は、光線の位置ずれを検出するために利用でき、そのような位置ずれを補償することができる。 - 特許庁

To provide a laser beam irradiation device allowing easy alignment.例文帳に追加

容易に調心することができるレーザ光照射装置を提供する。 - 特許庁

BEAM IRRADIATION UNIT, UNIT ALIGNMENT METHOD, MICRO- FABRICATION METHOD AND APPARATUS THEREOF例文帳に追加

ビーム出射ユニット、ユニット調整方法、微細加工方法および装置 - 特許庁

The diffraction beam is compared to a desired diffraction beam, so that alignment of the substrate is performed, based on a result of comparison between the detected diffraction beam and the desired diffraction beam.例文帳に追加

該回折ビームは所望の回折ビームと比較され、検出された回折ビームと所望の回折ビームとの比較に基づいて基板のアライメントが行われる。 - 特許庁

To provide an adjustment method for an electron beam optical system performing alignment of the electron beam optical system.例文帳に追加

簡単に電子線光学系のアライメントを行う電子線光学系の調整方法を提供する。 - 特許庁

To provide a laser beam machining device which facilitates alignment of the axis of laser beam with a simple mechanism.例文帳に追加

簡易な機構によりレーザ光の光軸調整が容易なレーザ光線加工装置を提供する。 - 特許庁

Another particle beam alignment process is performed to the exposed alignment material layer, and then the another mask layer is removed.例文帳に追加

配向膜形成層の露出部分に対して粒子ビーム配向処理を再度行い、マスク層を除去する。 - 特許庁

To provide alignment equipment of a semiconductor exposure equipment, capable of automatically sensing beams of orders which exclude +/- first-order beam of the alignment beam, generated due to twisting, scattering or the like of the beam.例文帳に追加

整列ビームの捩れと散乱などにより発生する整列ビームの＋／−１次光を除いた他の次数の光を自動的に感知できる半導体露光装備の整列システムを提供する。 - 特許庁

To provide an axis alignment method of a charged particle beam for at least three stages of multipoles and to provide a charged particle beam apparatus capable of the axis alignment.例文帳に追加

少なくとも三段の多極子に対する荷電粒子線の軸合わせ方法、及び当該軸合わせが可能な荷電粒子線装置を提供する。 - 特許庁

The regularity of a V-shaped groove of the alignment layer can effectively be destroyed by using a beam whose beam shape length direction is orthogonal to a groove direction of the alignment layer.例文帳に追加

ビーム形状の長さ方向が配向膜の溝方向と直交方するビームを用いることで、効果的に配向膜のＶ字溝の規則性を破壊させる。 - 特許庁