FRAME FOR LARGE-SIZED PELLICLE例文帳に追加
大型ペリクル用枠体 - 特許庁
PELLICLE FRAME CLEANING METHOD例文帳に追加
ペリクルフレームの洗浄方法 - 特許庁
MONOLITHIC HARD PELLICLE例文帳に追加
モノリシック・ハード・ペリクル - 特許庁
PELLICLE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME例文帳に追加
ペリクルおよびその製造方法 - 特許庁
ASSEMBLING APPARATUS OF LARGE-SIZE PELLICLE例文帳に追加
大型ペリクルの組立装置 - 特許庁
ADHESIVE MATERIAL COMPOSITION FOR PELLICLE例文帳に追加
ペリクル用粘着材組成物 - 特許庁
PELLICLE MOUNTER AND METHOD FOR MOUNTING PELLICLE ON PHOTOMASK例文帳に追加
ペリクルマウンタ及びペリクルのフォトマスクへの装着方法 - 特許庁
PELLICLE MOUNTER AND METHOD FOR MOUNTING PELLICLE ONTO PHOTOMASK例文帳に追加
ペリクルマウンタおよびペリクルのフォトマスクへの装着方法 - 特許庁
METHOD FOR DISCRIMINATING DETERIORATION OF PELLICLE MEMBRANE AND PELLICLE MEMBRANE THEREFOR例文帳に追加
ペリクル膜劣化識別方法およびそのためのペリクル膜 - 特許庁
PELLICLE FRAME, AND PELLICLE FOR PHOTO-LITHOGRAPHY USING THE FRAME例文帳に追加
ペリクルフレーム、および該フレームを用いたフォトリソグラフィー用ペリクル - 特許庁
METHOD OF PEELING PELLICLE FROM MASK AND REUSE METHOD OF PELLICLE例文帳に追加
ペリクルのマスクからの剥離方法およびペリクルの再利用方法 - 特許庁
FILM FORMING SUBSTRATE FOR LARGE PELLICLE AND METHOD FOR MANUFACTURING LARGE SIZE PELLICLE FILM例文帳に追加
大型ペリクル用成膜基板及び大型ペリクル膜の製造方法 - 特許庁
LINER FOR PROTECTION OF PELLICLE ADHESIVE LAYER AND PELLICLE HAVING THE SAME例文帳に追加
ペリクル粘着層保護用ライナーおよびこれを具備するペリクル - 特許庁
PELLICLE FRAME AND PELLICLE FOR PHOTO LITHOGRAPHY USING IT例文帳に追加
ペリクルフレーム及びそれを用いたフォトリソグラフィー用ペリクル - 特許庁
PELLICLE FOR LITHOGRAPHY AND MITIGATING METHOD OF WARP OF PELLICLE FILM例文帳に追加
リソグラフィー用ペリクルおよびペリクル膜の反りの緩和方法 - 特許庁
PROTECTIVE FILM FOR LARGE PELLICLE AND METHOD FOR STORING LARGE PELLICLE例文帳に追加
大型ペリクルの保護フィルム及び大型ペリクルの収納方法 - 特許庁
The pellicle for photolithography has the above pellicle frame.例文帳に追加
及び、そのペリクルフレームを具備するフォトリソグラフィー用ペリクル。 - 特許庁
PELLICLE STORAGE CONTAINER AND CLAMPING MEMBER FOR PELLICLE STORAGE CONTAINER例文帳に追加
ペリクル収納容器およびペリクル収納容器用の挟持部材 - 特許庁
PELLICLE FRAME, AND PELLICLE FOR LITHOGRAPHY USING THE SAME例文帳に追加
ペリクルフレームおよびこれを用いたリソグラフィー用ペリクル - 特許庁
PELLICLE FRAME, AND METHOD FOR MANUFACTURING PLATE MATERIAL FOR MANUFACTURING PELLICLE FRAME例文帳に追加
ペリクル枠及びペリクル枠製造用板材の製造方法 - 特許庁
PELLICLE STRUCTURE AND METHOD FOR REPLACING ATMOSPHERE WITHIN PELLICLE STRUCTURE例文帳に追加
ペリクル構造体及びペリクル構造体内部の雰囲気置換方法 - 特許庁
SUBSTRATE FOR FORMING PELLICLE FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING PELLICLE FILM BY USING THE SAME例文帳に追加
ペリクル成膜用基板およびそれを用いたペリクル膜の製造方法 - 特許庁
METHOD FOR PRODUCING PELLICLE FRAME AND HOLLOW EXTRUDED MATERIAL FOR PELLICLE FRAME例文帳に追加
ペリクル枠およびペリクル枠用中空押出材の製造方法 - 特許庁
JIG FOR EVALUATING PELLICLE FILM AND METHOD FOR EVALUATING PELLICLE FILM例文帳に追加
ペリクル膜評価用治具及びペリクル膜の評価方法 - 特許庁
To provide a pellicle and an exposure method using the pellicle.例文帳に追加
ペリクル、および該ペリクルを用いた露光処理方法を提供する。 - 特許庁
METHOD FOR CARRYING LARGE PELLICLE, CARRYING TOOL, AND PELLICLE CASE例文帳に追加
大型ペリクルの搬送方法、搬送用治具及びペリクルケース - 特許庁
The pellicle is constructed by using such a pellicle frame.例文帳に追加
そして、このようなペリクルフレームを使用してペリクルを構成する。 - 特許庁
The pellicle is preferably the pellicle for lithography of this invention.例文帳に追加
ペリクルが本発明のリソグラフィー用ペリクルであることが好ましい。 - 特許庁
JIG FOR PRODUCTION OF PELLICLE AND PRODUCTION OF PELLICLE USING THE SAME例文帳に追加
ペリクル製造用治具およびこれを用いたペリクルの製造方法 - 特許庁
PELLICLE ATTACHING DEVICE, AND PELLICLE ATTACHING METHOD USING THE SAME例文帳に追加
ペリクル付着装置及びそれを利用したペリクル付着方法 - 特許庁
In the pellicle consisting of a pellicle membrane made of a fluorine-containing material and a pellicle frame which supports the pellicle membrane, the pellicle membrane is bonded to the pellicle frame by way of the ultraviolet-curing fluorine-containing adhesive.例文帳に追加
フッ素系材料から成るペリクル膜とペリクル膜を支持するペリクル枠から成るペリクルにおいて、該ペリクル膜が紫外線硬化型フッ素系接着剤を介してペリクル枠に接着されていることを特徴とするペリクル。 - 特許庁
A method of manufacturing a pellicle includes: forming the pellicle film consisting of a fluororesin; peeling off the pellicle film from a substrate forming the pellicle film; and heating the pellicle film.例文帳に追加
本発明のペリクルの製造方法は、ペリクル膜がフッ素樹脂からなり、ペリクル膜を、その膜を形成する基板から剥離した後加熱することを特徴とする。 - 特許庁
To provide a pellicle frame, preventing the occurrence of a defect due to variation in tension of a pellicle film and reducing flexure due to tension of the pellicle film, and to provide a pellicle using the pellicle frame.例文帳に追加
ペリクル膜の張力のばらつきによる不具合が生じず、かつ、ペリクル膜の張力による撓みが小さいペリクルフレーム、及び、このペリクルフレームを用いたペリクルを提供すること。 - 特許庁
To provide a pellicle and a method for fixing a pellicle plate and a pellicle frame each other such that an adhesive to adhere the pellicle plate and the pellicle frame does not deteriorate by exposure light.例文帳に追加
露光光によるペリクル板とペリクルフレームとを接着する接着剤の劣化が生じないペリクルおよびペリクル板とペリクルフレームとの固定方法を提供する。 - 特許庁
To provide a pellicle which reduces an inclination proper to a pellicle and a pellicle attached photomask.例文帳に追加
ペリクルの有する傾きを低減するペリクル及びペリクル装着フォトマスクを提供することを目的とする。 - 特許庁
To provide a pellicle capable of ensuring high-precision parallelism between the surface of the pellicle membrane and the surface of a reticle when the pellicle is stuck to the reticle.例文帳に追加
ペリクルをレチクルに貼り付ける際、ペリクル膜面とレチクル面との間で高い精度の平行度を確保できるペリクル。 - 特許庁
To provide a pellicle in which when a pellicle film is torn, deposition of the torn pellicle film on the pattern face of a reticle can be prevented.例文帳に追加
ペリクル膜が破れた場合に、破れたペリクル膜がレチクルのパターン面に付着するのを防止することができるペリクルを提供する。 - 特許庁
To provide an attachment structure of a pellicle to a photo mask allowing the pellicle to be easily peeled off from the photo mask while inhibiting generation of gas from the pellicle.例文帳に追加
ペリクルからの発ガスを抑制し、フォトマスクからペリクルを簡単に剥がせるペリクルのフォトマスクへの取り付け構造を提供すること。 - 特許庁
A pressure sensitive adhesive is used as a membrane adhesive for a pellicle which bonds a pellicle membrane comprising a fluororesin to a pellicle frame.例文帳に追加
フッ素系樹脂からなるペリクル膜をペリクル枠に接着するペリクル用メンブレン接着剤として粘着剤を使用する。 - 特許庁
Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved. |
ログイン |
Weblio会員(無料)になると 検索履歴を保存できる! 語彙力診断の実施回数増加! |
ログイン |
Weblio会員(無料)になると 検索履歴を保存できる! 語彙力診断の実施回数増加! |