「pellicle」に関連した英語例文の一覧と使い方(4ページ目) - Weblio英語例文検索

This is a method for preparing a pellicle for sensitivity verification which is attached with standard particles, the pellicle being used in a device which detects foreign substances on the surface of a pellicle film.例文帳に追加

ペリクル膜面の異物を検査する装置に用いる感度検定用の標準粒子付着ペリクルの作製方法。 - 特許庁

To provide a pellicle mounter suitable for keeping parallelism between a pellicle plate and a mask when adhering a pellicle and the mask to each other.例文帳に追加

ペリクルとマスクを接着する場合にペリクル板とマスクとの平行度を保持するのに適したペリクルマウンタを得る。 - 特許庁

The life prediction or quality control of the pellicle film is carried out by measuring the spin concentration of the pellicle material or the pellicle film.例文帳に追加

ペリクル材料又はペリクル膜のスピン濃度を測定することによりペリクル膜の寿命予測又は品質管理を行う。 - 特許庁

To provide a pellicle frame capable of suppressing damage of a coating film when coating with a coating material; and to provide a pellicle and a method for manufacturing the pellicle frame.例文帳に追加

塗装材にて塗装を行う場合において、塗膜の破損を抑制できるペリクル枠体、ペリクル、ペリクル枠体の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a pellicle which can be surely and easily attached to a photomask without damaging a pellicle plate and to provide a method for attaching the pellicle.例文帳に追加

ペリクル板を損傷することなくフォトマスクに確実かつ容易に装着可能なペリクルおよびペリクルの装着方法を提供する。 - 特許庁

When the pellicle plate is adhered to the pellicle frame, the pellicle plate is selectively heated in a part inside the adhesion part with the pellicle frame by using a hot plate disposed opposing to the pellicle frame and inside the adhering part with the pellicle frame.例文帳に追加

ペリクル板のペリクルフレームとの接着部分より内側の部分に対向して設けられたホットプレートにより、ペリクル板とペリクルフレームを接着する際に、ペリクル板のペリクルフレームとの接着部分より内側の部分を選択的に加熱する。 - 特許庁

The pellicle for lithography comprises at least a pellicle film, a pellicle frame on which the pellicle film is stretched, and a tacky layer provided on the other end face of the pellicle frame, wherein the pellicle frame is made of a silicon single crystal.例文帳に追加

少なくとも、ペリクル膜と、該ペリクル膜を張設するペリクルフレームと、該ペリクルフレームの他方の端面に設けられた粘着層を有するリソグラフィ用ペリクルであって、前記ペリクルフレームが、シリコン単結晶からなるものであることを特徴とするリソグラフィ用ペリクル。 - 特許庁

To provide techniques to mount a large pellicle in a high-quality state by a simple work, and to provide a large pellicle for the techniques, a method for carrying a large pellicle, a pellicle case housing a large pellicle, and a transfer device for a large pellicle.例文帳に追加

大型ペリクルを簡便な作業で高品質な状態で装着できる手法を提供するものであり、そのための大型ペリクル、大型ペリクルの搬送方法、大型ペリクルを収納するペリクルケース、大型ペリクルの移載装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a pellicle and a manufacturing apparatus for a pellicle with flexibility for selecting materials of a pellicle plate and a pellicle frame, little increase in the scale or the cost of the manufacturing facility, and with high productivity in the manufacture of a pellicle in which tensile stress is given to a pellicle plate.例文帳に追加

ペリクル板に引っ張り応力を与えたペリクルを製造するにあたって、ペリクル板とペリクルフレームの材料選択の自由度があり、製造設備の規模増大・高コスト化が少なく、生産性がよいペリクル製造方法及びペリクル製造装置を得る。 - 特許庁

The pellicle comprises a pellicle membrane, a pellicle frame which supports the pellicle membrane and an adhesive resin layer disposed on a face of the pellicle frame opposite to the pellicle membrane supporting face, and the adhesive resin layer comprises a combination of a hard resin layer and a soft resin layer.例文帳に追加

ペリクル膜、ペリクル膜を支持するペリクル枠、及びペリクル枠のペリクル膜支持面とは反対側の面に設けられる粘着性樹脂層から成り、前記粘着性樹脂層が、硬質樹脂層と軟質樹脂層との組合せから成ることを特徴とする。 - 特許庁

To provide a pellicle frame for obtaining a pellicle having a sufficient exposure region and making accurate measurement of dimensions after processing possible even when the frame distorts by tension of the pellicle film on sticking the pellicle film to the frame, and to provide a pellicle for photolithography using the pellicle frame.例文帳に追加

ペリクル膜を貼付した際にペリクル膜の張力によってフレームが撓んでも十分な露光領域を有するペリクルを得ることができ、かつ加工後の寸法を正確に計測することができるペリクルフレーム、及びそのペリクルフレームを用いたフォトリソグラフィー用ペリクルを提供する。 - 特許庁

PHOTOMASK DISCRIMINATED WITH RF TAG, PELLICLE, PHOTOMASK WITH PELLICLE, AND STORAGE CASE例文帳に追加

ＲＦタグにより識別されるフォトマスク、ペリクル、ペリクル付きフォトマスク及び収納ケース - 特許庁

TOOL, METHOD, AND STRUCTURE FOR MOUNTING PELLICLE, AND THE PELLICLE例文帳に追加

ペリクル装着治具、ペリクル装着方法及びペリクル装着構造並びにペリクル - 特許庁

OPENING METHOD FOR LARGE PELLICLE STORAGE CONTAINER, LID OPENING/CLOSING TOOL, AND LARGE PELLICLE STORAGE CONTAINER例文帳に追加

大型ペリクル収納容器の開封方法および蓋開閉治具および大型ペリクル収納容器 - 特許庁

To provide a kit for manufacturing pellicle which can reduce deformation and distortion of a pellicle frame.例文帳に追加

ペリクルフレームの変形や歪みを低減することができるペリクル製造用キットを提供する。 - 特許庁

PELLICLE LINER OR DEVICE FOR PEELING PELLICLE, PEELING METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING PATTERN SUBSTRATE例文帳に追加

ペリクルライナー又はペリクルの剥離装置、剥離方法及びパターン基板の製造方法 - 特許庁

To provide a handling instrument for a pellicle which facilitates handling of a large pellicle.例文帳に追加

大型のペリクルの取り扱いを容易にするペリクル用ハンドリング器具を提供する。 - 特許庁

PELLICLE ATTACHING DEVICE, PELLICLE ATTACHING METHOD, AND METHOD FOR MANUFACTURING PATTERN SUBSTRATE例文帳に追加

ペリクル装着装置、ペリクル装着方法及びパターン基板の製造方法 - 特許庁

PELLICLE HOUSING CONTAINER, PUSH-UP DEVICE AND METHOD FOR OPENING LID OF PELLICLE HOUSING CONTAINER例文帳に追加

ペリクル収納容器および押上装置およびペリクル収納容器の開蓋方法 - 特許庁

TOOL FOR EVALUATING PELLICLE FILM, METHOD FOR EVALUATING PELLICLE FILM AND TOOL FOR EVALUATING THIN FILM例文帳に追加

ペリクル膜評価用治具及びペリクル膜の評価方法並びに薄膜評価用治具 - 特許庁

PROTECTIVE FILM MATERIAL APPLYING NOZZLE MEMBER ON PELLICLE FRAME AND PROTECTIVE FILM MATERIAL APPLYING METHOD TO PELLICLE FRAME例文帳に追加

ペリクル枠への保護膜材塗布ノズル部材及びペリクル枠への保護膜材塗布方法 - 特許庁

PELLICLE AND METHOD (PELLICLE FILM OPTIMIZED FOR IMMERSION LITHOGRAPHY SYSTEM WITH NA>1)例文帳に追加

ペリクル、方法（ＮＡが１より大きい液浸リソグラフィ・システム用に最適化されたペリクル被膜） - 特許庁

To reduce outgas from a pellicle and gas adsorbing onto the pellicle from the environment during storage.例文帳に追加

ペリクルからのアウトガスや保管時の環境から吸着するガスを低減することにある。 - 特許庁

To provide a pellicle handling tool that does not cause deformation in a pellicle frame.例文帳に追加

ペリクルフレームを変形させることのないペリクルハンドリング治具を提供すること。 - 特許庁

To provide a pellicle maintaining flatness of a mask even when the pellicle is stuck to the mask.例文帳に追加

マスクにペリクルを貼り付けても、マスクの平坦性を維持できるペリクルを提供する。 - 特許庁

To provide a housing container for a pellicle in which a mounting member to dispose a pellicle support frame is made less likely to be detached from the container.例文帳に追加

ペリクル支持枠を配置するための載置部材をペリクル用収納容器から外れにくくする。 - 特許庁

To obtain a pellicle having a flat surface of an adhesive for sticking the pellicle to a mask.例文帳に追加

本発明は、マスクに貼り付ける為の粘着剤の表面が平坦なペリクルを得ることを課題とする。 - 特許庁

To provide a pellicle storage container that can safely and reliably separate a separator from a pellicle.例文帳に追加

ペリクルからセパレートを安全・確実に分離できるペリクル収納容器を提供する。 - 特許庁

To obtain a pellicle structure capable of easily lowering the concentration of O2 within the pellicle structure.例文帳に追加

ペリクル構造体内部のＯ_2濃度を容易に減少させられるペリクル構造体を得る。 - 特許庁

To store a large pellicle in a pellicle storage container without using a separator.例文帳に追加

大型のペリクルにおいて、セパレータを使用せずにペリクルをペリクル収納容器に保管する。 - 特許庁

METHOD FOR BONDING PELLICLE TO PATTERNING DEVICE AND PATTERNING DEVICE COMPRISING PELLICLE例文帳に追加

表皮部材をパターン付与装置に接合する方法および表皮部材を有するパターン付与装置 - 特許庁

PELLICLE FOR FLUORINE EXCIMER LASER LITHOGRAPHY例文帳に追加

フッ素エキシマレーザーリソグラフィー用ペリクル - 特許庁

STORAGE DEVICE AND VENTILATION METHOD OF PHOTOMASK WITH PELLICLE例文帳に追加

ペリクル付きフォトマスクの保管装置及び換気方法 - 特許庁

PHOTOMASK, PATTERN TRANSFER METHOD, AND PELLICLE例文帳に追加

フォトマスク、パターン転写方法、及びペリクル - 特許庁

METHOD AND DEVICE FOR REPAIRING PHOTOMASK WITH PELLICLE例文帳に追加

ペリクル付きフォトマスクのリペア方法及び装置 - 特許庁

LOADING STRUCTURE OF PHOTOMASK WITH PELLICLE例文帳に追加

ペリクルのフォトマスクへの装着構造 - 特許庁

PELLICLE, METHOD FOR PRODUCING THE SAME AND PHOTOMASK例文帳に追加

ペリクル及びその製造方法及びフォトマスク - 特許庁

The pellicle is provided that includes an aluminum pellicle frame having an alumite layer on its entire surface; and a pellicle film stretched over and affixed to the pellicle frame, the anodized layer having a thickness of 4 to 8 μm.例文帳に追加

アルマイト層を表面に有するアルミニウム製ペリクルフレーム、及び、前記ペリクルフレームに張設したペリクル膜を有し、前記アルマイト層の厚さが、４〜８μｍであることを特徴とするペリクル。 - 特許庁

The pellicle includes a pellicle frame having one or more side faces having a filter function or comprising a filter material, and a pellicle film mounted on the pellicle frame.例文帳に追加

１側面以上の側面がフィルター機能またはフィルター素材を有するペリクルフレームと、ペリクルフレームに装着されるペリクル膜と、を備えることを特徴とするペリクル。 - 特許庁

PELLICLE STICKING APPARATUS FOR FPD MASK例文帳に追加

ＦＰＤマスク用ペリクル貼付装置 - 特許庁

β=(1/flexure of a pellicle)×thickness×width (1)例文帳に追加

β＝（１／ペリクルの撓み量）×厚み×幅（１） - 特許庁

FRAME FOR PELLICLE MADE OF ALUMINUM AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME例文帳に追加

アルミニウム製ペリクル用枠およびその製造方法 - 特許庁

FILM FORMING SUBSTRATE FOR LARGE PELLICLE AND ITS USE例文帳に追加

大型ペリクル用成膜基板及びその用途 - 特許庁

To suppress double refraction in a pellicle plate.例文帳に追加

ペリクル板の複屈折を抑制することを目的とする。 - 特許庁

To provide a pellicle for semiconductor lithography by which process for cutting a pellicle film can be easily executed and further handling of a pellicle frame can be easily done in a manufacturing process of the pellicle.例文帳に追加

ペリクルの製造工程において、ペリクル膜切断工程を容易に行い、更には、ペリクルフレームのハンドリングも容易に行うことができる半導体リソグラフィ用ペリクルを提供する。 - 特許庁