バクリの英語

クリエイティブ最適化サーバ、クリエイティブ最適化システム、クリエイティブ最適化方法、並びにプログラム例文帳に追加

CREATIVE CONTENT OPTIMIZATION SERVER, CREATIVE CONTENT OPTIMIZATION SYSTEM, CREATIVE CONTENT OPTIMIZATION METHOD AND PROGRAM - 特許庁

本発明は、各チャンバクリーニングプロセス後に、SiO_2等の誘電体層７６で静電チャック３２のプリコーティングを行うものである。例文帳に追加

After each chamber cleaning process, an electrostatic chuck 32 is subjected to pre-coating by using a dielectric layer 76 such as SiO_2. - 特許庁

誘電層の堆積が完了された後で、第２のステップが次いで実行され、インシチュウのチャンバクリーニング操作を完了する。例文帳に追加

After completion of the dielectric layer, the second step is performed next, and the chamber cleaning operation of the in-situ is completed. - 特許庁

このため、チャンバクリーニング中に、反応生成物が生成されることを抑制でき、パーティクルの発生を抑制することができる。例文帳に追加

According to the suppression, the production of reaction products during chamber cleaning can be suppressed whereby the generation of particles can be suppressed. - 特許庁

本方法は、膜堆積の後一般に実行されるインシチュウのチャンバクリーニング操作を２つの別個のステップに分解する。例文帳に追加

This method breakes down the chamber cleaning operation of in-situ being performed generally after stacking of a film into two separate steps. - 特許庁

フッ素元素を含有するガスにより、チャンバクリーニングが実施される場合であっても、基板支持部と加熱部の密着性が損なわれることがなく、かつ、容易にメンテナンスを行うことができる基板処理装置を提供する。例文帳に追加

To provide a substrate processing apparatus where maintenance can easily be performed without damaging adhesiveness of a substrate supporter and a heater even when a chamber is cleaned with gas containing a fluorine element. - 特許庁

チャンバクリーニングの速度を増加させ、クリーニング頻度を最適化することにより不純物汚染が少なく生産性が高いプラズマCVD装置及び方法を与える。例文帳に追加

To provide a plasma CVD system and method having small impurity contamination and high productivity by increasing a speed of chamber cleaning and optimizing a cleaning frequency. - 特許庁

このように、レシーバクリップ３０９は金属体から構成され、グランドからも離れて配置され、給電部５０１と接続されることによりアンテナとして動作させることが可能となる。例文帳に追加

The receiver clip 309 comprises a metallic body and is spaced from ground, and can thus be utilized as an antenna when connected to the feed section 501. - 特許庁