走査反射電子顕微鏡の英語

二次電子像での高分解能化が可能であり、かつＴＴＬ方式の走査型電子顕微鏡にてコントラストの良い反射電子像を効果的に得ることが課題である。例文帳に追加

To provide a TTL-mode scanning electron microscope capable of giving high resolution to a secondary electron image and effectively providing a reflected electron image with good contrast. - 特許庁

試料チャンバを大気開放することなく、低真空二次電子検出とそのほかの例えば反射電子検出等との切り換えを簡便な操作で以て行うことができる走査電子顕微鏡を提供する。例文帳に追加

To provide a scanning electron microscope which can switch in a simple operation a low vacuum secondary electron detection to other detections like a reflector electron detection without exposing a test piece chamber to an atmosphere. - 特許庁

本発明は、短い焦点距離を実現しつつ、試料から低い角度で発生する反射電子を高率良く検出し、試料像を形成する走査形電子顕微鏡の提供を目的とする。例文帳に追加

To provide a scanning electron microscope capable of effectively detecting a reflected electron generated from a sample at a low angle while realizing a short focus distance and forming a sample image. - 特許庁

走査型顕微鏡の制御系ないし隣接する端末から反射電子ないしは２次電子強度の分布を処理し、エッジ近傍を表わす領域の形状を数値化しそれらの結果からテーパ傾向を算出する。例文帳に追加

Distribution of reflection electron or secondary electron intensity is processed from a control system of a scan type microscope and an adjacent terminal, and the shape of an area representing the edge vicinity is digitized to calculate a taper gradient from the result. - 特許庁

走査型顕微鏡の制御系ないし隣接する端末から反射電子ないしは２次電子強度の分布を処理し、エッジ近傍を表わす領域の形状を数値化しそれらの結果からテーパ傾向を算出する。例文帳に追加

A distribution of a reflection electron or secondary electron intensity is processed from a control system of a scanning microscope and an adjacent terminal, and a shape of an area expressing the vicinity of an edge is digitalized to calculate a tapering tendency based on a result thereof. - 特許庁

反射電子検出器を装着した走査電子顕微鏡内に引張り装置を取り付け、反射電子像を撮影しながら試験片を引張り、反射電子像に現れる結晶粒の形の変化を測定し、結晶粒毎の歪量及び引張り方向に対する断面積を逐次演算する。例文帳に追加

This tension testing device is attached to an inside of a scanning electron microscope mounted with a reflected electron detector, a test piece is tensioned while photographing a reflected electron image, and a change of a shape in a crystal grain appearing in the reflected electron image is measured to compute sequentially a strain amount in each crystal grain and a cross section with respect to a tensioned direction. - 特許庁

前記試料ホルダ１４は、試料位置の移動に加え傾斜と回転の機構を有するか、前記走査型電子顕微鏡の鏡筒１と反射電子検出器１２の位置を変更し、前記鏡筒１と反射電子検出器１２を前記試料表面に対向させるための手段を備える。例文帳に追加

The sample holder 14 is equipped with a means, having a mechanism of inclination and rotation, in addition to the movement of the position of the sample or a means for altering the position of the lens barrel 1 of the scanning electron microscope and a reflected electron detector 12, to make the lens barrel 1 and the reflected electron detector 12 face the surface of the sample. - 特許庁

走査型電子顕微鏡装置によると、１対の反射電子検出器からの輝度信号をそれぞれＬ、Ｒ、２次電子検出器からの輝度信号をＳとするとき、それぞれＬ、Ｒ及びＳの１次同次式を用いてＬの調整値Ｌｃ及びＲの調整値Ｒｃを演算する。例文帳に追加

When each luminance signal transmitted from a pair of reflection electron detectors is respectively set as L and R and a luminance signal transmitted from a secondary electron detector as S, an adjusted value Lc of L and an adjusted value Rc of R are respectively calculated by using a primary homogeneous expression of L, R, and S. - 特許庁