ガス冷却ループの英語

待機室でのウェーハの変形を防止しつつ、又ウェーハの移動を防止しつつ、不活性ガスを供給して冷却効果を増大させ、更に冷却時間を短縮してスループットの増大を図る。例文帳に追加

To increase a cooling effect by supplying an inert gas and further increase a throughput by shortening a cooling time while preventing deformation of a wafer in a standby chamber and also preventing movement of the wafer. - 特許庁

ガスタービンプラントＰは、ガスタービン１０と、ガスタービン高温部（動翼１３Ａ、静翼１３Ｂ）を冷却する閉ループ循環系１００とを備える。例文帳に追加

A gas turbine plant P is provided with a gas turbine 10 and a closed loop circulation system 100 cooling the gas turbine high temperature part (a moving blade 13A, a stationary blade 13B). - 特許庁

急激な圧力変動に伴うガス流量制御器の制御異常を解決し、大流量のＮ2ガス等によりウェーハを冷却することでスループットの向上を図る。例文帳に追加

To solve the issue of control abnormality of a gas flow rate controller caused by abrupt pressure fluctuation, and to improve throughput by cooling a wafer with N2 gas or the like of high flow rate. - 特許庁

光ファイバ１ｂの線引き速度が上昇する線引き開始時に、上流側の第２冷却筒４への冷却ガスの流量の制御を、光ファイバ１ｂの線引き速度に基づいて制御するオープンループ制御によって行う。例文帳に追加

At the start of drawing when the drawing speed of an optical fiber 1b is rising, the control of the flow rate of a cooling gas to a second cooling tube 4 at the upstream side is performed by open loop control for controlling the flow rate on the basis of the drawing speed of the optical fiber 1b. - 特許庁

熱音響冷却装置１０は、作業ガスが封入されたループ管１１と、ループ管１１に接続され作業ガスに熱音響自励振動による波動を発生させる熱音響発生部１２Ａ及び波動の発生によって作動するヒートポンプ１２Ｂとを備えている。例文帳に追加

The thermoacoustic cooling device 10 includes a loop pipe 11 in which working gas is sealed, a thermoacoustic generation part 12A connected to the loop pipe 11 to generate pulsation by thermoacoustic oscillation in the working gas, and a heat pump 12B operated by generation of the pulsation. - 特許庁

筐体１１と冷却部１３とイオン除去部１４とガス注入部１５と配管とにより形成された気密性及び水密性を有するループ状の経路１８内を、純水１２が循環する。例文帳に追加

The pure water 12 circulates through the loop shaped circulation path 18 which is airtight and watertight and is formed with the case body 11, the cooling unit 13, the ion removal unit 14, the gas introduction unit 15 and pipes. - 特許庁

なお、冷却水配管３４及びガス配管４１は途中をループ状に曲げられ、荷重検出器８ｄの荷重測定に影響を及ぼさないようになっている。例文帳に追加

Also cooling piping 34 and gas piping 41 are bent in their mid-stream in a loop-like form so as not to influence the load measurement by the load detector 8d. - 特許庁

反対方向に向いた冷却孔（４４）のグループは、ボアスコープ孔、点火ポート及び旋回する燃焼器ガスにより生じるホットスポット領域のようなライナ（１２，１４）上の他のホットスポット領域で用いることができる。例文帳に追加

A group of the cooling holes (44) directed oppositely are useable for other hot spot regions on the liners (12, 14) such as a hot spot area formed by turning combustor gas, a firing port, and a bore scope hole. - 特許庁