プラズマ析出の英語

含フッ素エラストマーとして耐熱性にすぐれるシアノ基含有パーフルオロエラストマーを用い、シリカのみを添加することによって耐プラズマ性にすぐれ、かつ加硫後製品表面に析出物を生じないシール材を提供し得る含フッ素エラストマー組成物を提供する。例文帳に追加

To provide a fluorine-containing elastomer composition giving a sealing material having excellent plasma resistance and forming no deposition on the surface of the product after vulcanization by using a cyano-containing perfluoroelastomer having excellent heat-resistance as the fluorine-containing elastomer and adding exclusively silica as an additive. - 特許庁

ホウ素源および窒素源のガスをプラズマを用いて反応させて窒化ホウ素を析出させる方法において、フッ素ガスまたはフッ素を含むガス種を気相の一成分として用い、さらに基板バイアスを用いて上記の立方晶窒化ホウ素を気相から合成する。例文帳に追加

In a method for precipitating boron nitride by reacting gases of a boron source and a nitrogen source by using a plasma, a fluorine gas or a fluorine-containing gaseous species is used as one component of a vapor phase and a substrate bias is used to synthesize the cubic boron nitride from the vapor phase. - 特許庁

温度Ｔ_２、Ｔ_３、・・Ｔ_ｎは金属の結晶化温度であり、プラズマ溶融させた金属溶融物質Ｍ_１を受け入れたるつぼ１２を順次温度領域内に移行させ、各温度領域ごとに特定の金属を析出させ、固化した金属インゴットの層から金属を分別回収する。例文帳に追加

The crucible 12 charged with the molten metal material M_1 subjected to the plasma melting is successively transferred into the temperature zones to precipitate specified metals per temperature zone, so that the metals are fractionally recovered from the layers of the solidified metal ingots. - 特許庁

該シリコンナノワイヤは、一次元構造の結晶シリコンナノワイヤにＯ^２＋イオンを注入してから不活性ガス雰囲気下にアニールしてその内部にシリコンナノ結晶を析出させ、その後、加熱と共に水素プラズマ処理することにより得られる。例文帳に追加

The silicon nanowire is obtained by implanting O^2+ ions into a crystalline silicon nanowire of a one-dimensional structure, depositing silicon nanocrystals within the nanowire by annealing the nanowire in an inert gas atmosphere, and carrying out hydrogen plasma treatment with heating. - 特許庁

ＰＦＣ含有ガス中に含まれる金属不純物を効率良く除去し、金属不純物の析出に起因する閉塞や腐食性ガスに起因する排ガス吸引装置の腐食などを防止し、高いＰＦＣ分解性能を維持するための手段を備えたプラズマ式ＰＦＣ分解システムを提供する。例文帳に追加

To provide a plasma type PFC (perfluorocompound) decomposition system having a means for maintaining high PFC decomposition performance by efficiently removing metal impurities contained in PFC-containing gas and preventing the clogging caused by the deposition of the metal impurities, the corrosion of exhaust gas suction devices caused by corrosive gas, and the like. - 特許庁

熱処理時の低分子量物および紫外線吸収剤の析出が少なく、光学用途に用いる際の加工特性に優れたポリエステルフィルム、特にプラズマディスプレイパネルの反射防止フィルムとして用いられるポリエステルフィルム、を提供する。例文帳に追加

To provide a polyester film, having less precipitation of a low molecular-weight substance and a UV UV-absorption during heat treatment, and showing superior processing characteristics, when it is used for optical applications, and in particular, to provide a polyester film used as an antireflection film of a plasma display panel. - 特許庁

透明基材フィルムの両面にオリゴマー析出ブロック層を積層し、次いで、そのいずれか一方の面に導電性薄膜層を積層してなる透明導電性フィルムであって、該オリゴマー析出ブロック層は、プラズマＣＶＤ法によって蒸着された炭素含有酸化珪素蒸着膜からなる層であることを特徴とする透明導電性フィルムを提供する。例文帳に追加

In the transparent conductive film formed by laminating an oligomer precipitation block layer on both sides of a transparent base film and then laminating a conductive thin film layer on any one side thereof, the oligomer precipitation block layer is a layer consisting of a carbon-containing silicon oxide deposition film deposited by plasma CVD. - 特許庁

基材と、その表面に形成された１５〜４０ａｔ％の水素を含有する化学的に安定なアモルファス状炭素・水素固形物の気相析出蒸着膜と、そのアモルファス状炭素・水素固形物の気相析出蒸着膜中には金属酸化物の超微粒子を分散含有させることによって、耐食性と耐プラズマエロージョン性を兼備した半導体加工装置用部材をつくる。例文帳に追加

The member for a semiconductor processing apparatus having corrosion resistance and plasma erosion resistance in combination is created by a base material, and a vapor phase precipitated vapor deposition film of a chemically stable amorphous carbon-hydrogen solid material containing 15 to 40at.% hydrogen formed on the surface of the base material, and by dispersively incorporating superfine particles of a metal oxide into the vapor phase precipitated vapor deposition film of the amorphous carbon-hydrogen solid material. - 特許庁