マスクケースの英語

マスクケースの合せ目の外表面を平滑にして、粘着テープ等により気密性を高める。例文帳に追加

To improve airtightness with an adhesive tape or the like by making external surfaces at a joint of a mask case smooth. - 特許庁

ベルヌーイチャックを従来から使用されているフォトマスクケースに装着することにより、フォトマスク及びフォトマスクブランクを非接触に懸垂し、安定して保持することができるフォトマスクケース。例文帳に追加

In the photomask case, a Bernoulli chuck is fitted to a photomask case used as heretofore and, thereby, the photomask and photomask blank are suspended in non-contact with the case and are stably retained. - 特許庁

フォトマスクの搬送、保管に使用されるフォトマスクケース起因によるフォトマスクの曇りを確実に防止するフォトマスクケースを提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide a photomask case that can reliably prevent fogging of a photomask caused by a photomask case used for conveying or storing a photomask. - 特許庁

マスク及びそのマスクを収納したマスクケースが大型化しても、省スペース化を実現しつつマスクやマスクケースをライブラリなどに円滑に搬送できる搬送手段を備えた露光装置を提供する。例文帳に追加

To provide an exposure device provided with a transportation means which can convey a mask and a mask case smoothly to a library or the like while realizing space saving, even if the mask and the mask case for storing the mask grow in size. - 特許庁

フォトマスクの搬送、保管に使用するフォトマスクケースであって、前記フォトマスクケース作成時の材料に含まれる有機硫黄系物質の合計が５ｎｇ以下、前記フォトマスクケース作成時の材料に含まれる有機リン系物質の合計が５ｎｇ以下、前記フォトマスクケース作成時の材料に含まれる揮発性有機物質の総量が１００ｎｇ以下になっていることを特徴とするフォトマスクケース。例文帳に追加

The photomask case to be used for conveying or storing a photomask is characterized in that: the total amount of organic sulfur substances included in materials when making the photomask case is ≤5 ng; the total amount of organic phosphorous substances included in materials during making the photomask case is ≤5 ng; and the entire amount of volatile organic substances included in materials when making the photomask case is ≤100 ng. - 特許庁

更にマスク準備室１０４を設け、この中にマスクケース１０３に収納されたままのマスク１０２を搬送し、窒素パージを行なう。例文帳に追加

The device is further provided with a mask preparing chamber 104 into which the mask 102 still housed in the mask case 103 is transferred for performing nitrogen purge. - 特許庁

粘着テープ、筐体及びその搬送・保管方法、フォトマスクケース及びその搬送・保管方法例文帳に追加

ADHESIVE TAPE, HOUSING AND METHOD FOR TRANSPORTING/STORING THE SAME, PHOTOMASK CASE AND METHOD FOR TRANSPORTING/STORING THE SAME - 特許庁

マスクがマスクケースと接触することによって発生する静電気をマスクのクロム膜から充分に放出でき、マスクパターンが静電破壊を起こさずに良好にマスクを運搬することのできるマスクケースを提供する。例文帳に追加

To provide a mask case which is capable of sufficiently releasing the static electricity generated by contact of a mask with the mask case from the chromium film of the mask and is capable of well transporting the mask without allowing mask patterns to give rise to electrostatic discharge damage. - 特許庁