時間系走査ビームの英語

複数のレーザビームを出力する光走査光学系のビームプロファイルを精密に計測でき、計測時間を短縮化でき、かつ、計測作業を簡易化できる光走査光学系の計測方法を提供する。例文帳に追加

To provide a measuring method of a light-scanning optical system capable of accurately measuring beam profile of the light-scanning optical system outputting a plurality of laser beams, capable of shortening measurement time and capable of simplifying the measurement operation. - 特許庁

各マルチビーム走査光学系のレーザービームが共有している同期検出手段を光学的に走査する時間をずらすして、各マルチビームのレーザーの走査を１つの同期検出手段より生成される同期検出信号で時間的ずれて同期検出パルスが発生させるマルチビーム画像形成装置を提供すること。例文帳に追加

To obtain a multibeam image forming device which causes synchronous detection pulses to generate in a state of shifting the scanning of the lasers of respective multibeams with time with the synchronous detection signals generated by one synchronous detecting means by shifting the time for optically scanning the synchronous detecting means co-possessed by the laser beams of respective multibeam scanning optical systems. - 特許庁

走査するビーム光がテレセントリック光学系をなすとともに、固定体側には走査するビーム光の一部を遮光するスリットＳが設けられており、走査するビーム光の走査開始時からスリットにより遮光されるまでの時間を測定することにより固定体側と移動体側との相対位置を検出する。例文帳に追加

The beam light to be scanned forms a telecentric optical system, a slit S for shielding a portion of the beam light to be scanned is provided on the stator side, and time from the start of the scan of the beam light to be scanned to shielding by the slit is measured, thus detecting the relative position between the stator side and the movable body side. - 特許庁

複数ビーム走査光学系で、特定ビームが走査開始端付近に配置した光検出器を通過する時間間隔を検出し、この時間間隔の所定値からのずれをなくすよう、アレイ光源の傾きを常時制御して、すべての走査ビームピッチを均等に保持できるようにして、画像信号の高精度書き込みを可能にした。例文帳に追加

In a plurality of beams scanning optical system, a time interval for which a specific beam passes a photodetector disposed near a scanning start edge is detected, an inclination of the array light source is controlled always so as to eliminate the deviation from the prescribed value of this time interval and high precision writing of an image signal is performed by holding all scanning beam pitchs equally. - 特許庁

常に走査光学系の光学的特性のばらつきを検査し、補正することができ、かつ製造過程での時間的、経済的な負担を軽減することができるレーザビーム走査システムを提供する。例文帳に追加

To provide a laser beam scanning system constituted so that the variation in the optical characteristic of a scanning optical system can be always inspected and corrected and a timewise and economic burden can be reduced in a manufacturing process. - 特許庁

少ない光センサを使用し、走査光学系を有する画像形成装置の走査ビームの光学特性を極めて短時間で高精度に測定する。例文帳に追加

To measure optical characteristics of a scanning beam of an image forming device with a scanning optical system in a very short time with high precision by using a small number of optical sensors. - 特許庁

成膜又は選択エッチングをするための所望の照射領域に対して，あらかじめ記憶したデポレート又はエッチングレートの走査周期依存性から，荷電粒子線の最適走査方法となる光学系の設定とビーム滞在時間と走査間隔を見つけ出し，その判断結果を表示する。例文帳に追加

A setting of an optical system as an optimum way of scanning charged particle beam, a beam staying period, and a scanning distance are found against an intended irradiation area for film formation and selective etching, depending on a deposition rate stored in advance or a scanning cycle dependent etching rate, and the result of judgment is displayed. - 特許庁