欠陥検出分解能の英語

幅の広い鋼板を検査する際に高分解能な縞画像を撮像して、微小な表面欠陥を検出すること。例文帳に追加

To take high-resolution fringe images when checking up wide steel plates and detect minute surface defects. - 特許庁

予め検査装置を用いて欠陥位置を特定する必要なく、欠陥の検出及び高分解能観察を自動的に行うことのできる電子顕微鏡を提供する。例文帳に追加

To provide an electron microscope capable of automatically detecting a defect and observing high resolution without requiring to specify a defect position by using an inspection device in advance. - 特許庁

画素分解能を高め、また、放射線によるノイズを排除することで、欠陥検出能力の高いパターン欠陥検査装置及び検査方法を提供する。例文帳に追加

To provide a pattern defect inspection apparatus and an inspection method having enhanced pixel resolution and high defect detection performance, by excluding the noise due to radiation. - 特許庁

高空間分解能で測定位置の確認ができ、且つ高空間分解能で試料分析ができるカソードルミネッセンス（ＣＬ）を用いた半導体結晶欠陥検出方法等を提供する。例文帳に追加

To provide a semiconductor crystal defect testing method, etc. which uses cathode luminescence (CL) that enables checking of the measurement position at a high spacial resolution, and a sample analysis at a high spacial resolution. - 特許庁

これにより、被検査物の繰り返し周期と撮像画像の分解能が整数比となる分解能で撮像を行って、正常な繰り返しパターンを除去でき、欠陥パターンを検出することができる。例文帳に追加

By this constitution, the imaging is performed with the resolving power, wherein the repeated cycle of the object to be inspected and the resolving power of the taken image become an integral ratio not only to remove the normal repeated pattern but also to detect the flaw pattern. - 特許庁

光学画像では検出困難な欠陥を電子線を用いて高精度に検出するとともに、その際問題となる検査画像のノイズを低減して、検査分解能をさげることなく欠陥の誤検出を低減することができる荷電粒子線を用いた検査装置を提供する。例文帳に追加

To provide an inspection device using a charged particle beam, capable of accurately detecting a defect hard to detect by an optical image by using an electron beam and of reducing erroneous detection of the defect without degrading inspection resolution by reducing noise of the inspection image causing trouble at that time. - 特許庁

Ｘ線検出器は、深さ方向の分解能力を有しており、深さ方向の一部において後方散乱Ｘ線Ｘ（１２）を検出しない場合には、欠陥１０１の存在およびその位置を検出する。例文帳に追加

The X-ray detectors have resolving power in the depth direction and, when the back scattering X-rays X(12) are not detected at a part in the depth direction, the X-ray detectors detect the presence and position of a defect 101. - 特許庁

最適な照明配置条件を見出す時間を短縮でき、検査装置を複雑化および大型化することを回避しながら、数十ｎｍ〜数百ｎｍ程度の分解能で膜厚差を検出できる欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。例文帳に追加

To provide a method and an apparatus for inspecting defects, capable of shortening the time required for finding out optimum light location conditions and detecting differences in film thickness, with a resolution of several tens of nanometers to several hundreds of nanometers, while avoiding complications and enlargement of an inspecting apparatus. - 特許庁