熱陰極電離真空計（例．熱陰極Ｂ−Ａ型電離真空計）における熱陰極を，カ−ボンナノチューブによる冷陰極に置き換え、最小限の電極数で真空計を構成した。例文帳に追加

A hot cathode in a hot cathode ionization vacuum gauge (for example, a hot cathode B-A type ionization vacuum gauge) is replaced to the cold cathode made of a carbon nanotube, and the vacuum gauge is constituted by a minimum number of electrodes. - 特許庁

熱陰極計電離真空計に電源と中央演算素子、および、これの付属回路を共有する冷陰極形電離真空形を組込んだ。例文帳に追加

A cold cathode type ionization vacuum gauge, which shares a power source, a central processing element, and an accessary circuit therefor, is incorporated to a hot cathode type ionization vacuum gauge. - 特許庁

四極子質量分析計または熱陰極電離真空計の測定子用熱電子放出電流制御回路例文帳に追加

THERMIONIC EMISSION CURRENT CONTROL CIRCIT FOR GAUGE HEAD OF QUADRUPOLE MASS SPECTROMETER OR HOT CATHODE IONIZATION GAGE - 特許庁

通電加熱式グリッドを有する電離真空計及び質量分析計の電流導入端子にかかる電流負荷を小さくし、真空端子部の小型化とコスタダウンを図る。例文帳に追加

To reduce a current applied onto current introduction terminals of an ionization vacuum gage and a mass spectrometer having an electrification-heating type grid, to compactify a vacuum terminal part, and to reduce a cost. - 特許庁

三極管型熱陰極電離真空計において、測定管の内部電極と測定管内壁の脱ガス効果を向上させる。例文帳に追加

To enhance the degassing effect of an inner electrode of a measurement tube and that of a measurement-tube inner wall in a triode-type hot cathode ionization vacuum gauge. - 特許庁

加熱区画内の高い加熱温度を計測する熱電対の劣化の前兆を捉えて対処することができ、稼働率の低下がなく加熱不良品が製造されない真空加熱装置を提供すること。例文帳に追加

To provide a vacuum heating device capable of preventing any operation rate from being deteriorated, and preventing any heating defective from being manufactured by facilitating countermeasures to the omen of the deterioration of a thermo-couple for measuring a high heating temperature in a heating block. - 特許庁

ゲージ圧の関数として脱ガス電力レベルを制御することにより、電子衝撃方法および通電加熱方法の脱ガス運転中に熱陰極電離真空計を運転する。例文帳に追加

To operate a hot cathode ionization vacuum gauge during a degassing operation by an electron bombardment method and a current heating method, by controlling degassing power level as a function of gauge pressure. - 特許庁

真空加熱装置１０の第１焼結室２の加熱区画２７の熱電対３１による計測温度が加熱の設定温度に到達した後に一定の温度範囲を越えて振れる場合に熱電対３１の劣化信号を発して加熱を自動的に停止するようにプロセスを制御する。例文帳に追加

When the measured temperature of a heating block 27 of a first sintering chamber 2 of a vacuum heating device 10 obtained by a thermo- couple 31 reaches the set temperature of heating, and oscillates beyond the fixed temperature range, a process is controlled so that the deterioration signal of the thermo-couple can be issued, and that the heating can be automatically stopped. - 特許庁

三極管型熱陰極電離真空計において、集イオン電極７を螺旋形状にし、電極の両端を導入端子１２、１３に接続する。例文帳に追加

In this triode-type hot cathode ionization vacuum gauge, an ion collector electrode 7 is given a helical shape to connect both ends of the electrode to lead-in terminals 12 and 13. - 特許庁

気体の対流によって電気抵抗体の出力電流が変動することを防止し、使用する際の取付け方向によらず、常に安定して圧力の測定が可能な熱伝導型真空計を提供する。例文帳に追加

To provide a heat conduction type vacuum gage capable of preventing fluctuation of an output current from an electric resistor caused by convection of gas, and measuring a pressure always stably regardless of a mounting direction when being used. - 特許庁

熱エネルギーを与え、吸着脱離時間を短縮させ、電子の運動エネルギーを増加させることで放電開始時間を短縮することとし、また、複数種の定電流を切り換えてマグネトロン真空計の両端電圧、周波数及び振幅を測定してその各定電流による測定値データを比較して真空度を表示することとする。例文帳に追加

The magnetron vacuum gage gives thermal energy to shorten an adsorption desorption time and shortens a discharge start time by increasing motion energy of electrons, in addition, measures both end voltages, a frequency and amplitude of the magnetron vacuum gage by switching over a plurality of the constant currents to compare measured value data by each constant current so as to display a degree of vacuum. - 特許庁

デガス処理の際、イオン源のターボ分子ポンプ１３ａの背圧を真空計１３ｆにより測定することにより、通電加熱中のアークチャンバ１２ａ内の圧力の情報を取得して通電加熱、デガス状態を監視する。例文帳に追加

At a time of the degassing treatment, a back pressure of the turbo molecular pump 13a of the ion source is measured by a vacuum gage 13f and a pressure information in the arc-chamber 12a during a conduction heating is obtained and a conduction heating and degassing status is monitored. - 特許庁

熱式流量計１０１は、気体ＧＳの流量を計測する計測流路Ｍに、ヒータである加熱用抵抗線４と、流速計測用抵抗線５Ａ，５Ｂと、測温抵抗体６とを有した流量検知部３を配置し、流量検知部３により気体ＧＳの流量を計測する熱式流量計１において、流量検知部３が、真空の雰囲気下に晒されたとき、流量検知部３を保護するため、加熱用抵抗線４への通電をオフにするスイッチ作動制御手段８０を備える。例文帳に追加

The thermal type flowmeter 1 includes switch operation control means 80 for turning off electric conduction to the heating resistance wire 4 in order to protect the flow rate detection part 3 when exposed to a vacuum atmosphere. - 特許庁

マザーボード基板を使用して複数のプリント基板間の電気的な接続を行う電子機器のうち、特に対流による熱伝達が見込めない高真空環境下においてマザーボード基板の部品実装及びパターン設計に大きな影響を与えることなく、高い排熱特性を有する電子機器の筐体を提供する。例文帳に追加

To provide a housing for an electronic apparatus which has excellent exhaust heat properties without having a major effect on component mounting on a motherboard substrate and its pattern design, out of electronic apparatuses for electrically connecting a plurality of printed boards by using the motherboard substrate, under a high vacuum environment especially where no heat transfer by convection is expected. - 特許庁

ハロゲン系腐食性ガス及びこれらのプラズマに対する耐食性及び熱伝導性に優れ、かつ導電性にも優れ、さらには、様々な真空プロセス装置に用いられる部材に適用した場合においても、設計上の制約が少なく、適用範囲も広く、汎用性に優れた焼結体及びその製造方法を提供する。例文帳に追加

To provide a sintered compact having excellent resistance to corrosion by corrosive halogen gases and by the plasmas thereof and excellent thermal conductivity and having excellent electrical conductivity, little in limitation in design even when applied to members for use in various vacuum process devices, usable in a wide range of applications, and high in versatility. - 特許庁