Dry lineとは 意味・読み方・使い方

The antireflection film is patterned by dry etching (b) (a broken line showing the proper patterning position).例文帳に追加

ドライエッチングで反射防止膜をパターニングする（ｂ）（破線は本来のパターン位置を示す）。 - 特許庁

This system further may comprise a dry well recirculation subsystem 46, a valve 52 located within a suction pipe, a blower 50 connected to a suction line, and a discharge line 54 communicating with the dry well.例文帳に追加

また、ドライウェルガス再循環サブシステム（４６）と吸引管内に位置した弁（５２）と吸引管路に結合された送風機（５０）とドライウェルと連通する吐出管路（５４）とを含んでも良い。 - 特許庁

Thus, a rectangular resist pattern (line) having good dry etching resistance and small line edge roughness can be formed.例文帳に追加

これにより、レジストパターン（ライン）が矩形でありドライエッチング耐性が良好、かつ、ラインエッジラフネスの小さいレジストパターンの形成が可能となる。 - 特許庁

The system is equipped with a scanning electron microscope 30 for measuring a pattern line width in a vacuum chamber 20 for dry etching so as to carry out intermediate length measurement of a pattern line width while a dry-etched photomask substrate 10 is mounted in the vacuum chamber for dry etching.例文帳に追加

ドライエッチング用真空チャンバー２０にパターン線幅を測長する走査型電子顕微鏡３０を備え、ドライエッチングしたフォトマスク基板１０をドライエッチング用真空チャンバー内に載置した状態でパターン線幅を中間測長する。 - 特許庁

To provide a method for binding dry laver bundles comprising reducing footprint areas occupied by a folding device and a bundling device so as to improve a produced amount of dry laver in a laver production line.例文帳に追加

折曲装置と結束装置とが合わせて占める設置面積を小さくすることによって、海苔製造ラインの乾海苔生産量を上げる。 - 特許庁

The system has a function of verifying the pattern line width with the dimensional specification; and if the line width fails the specification, the system has a function of automatically performing feedback and continuing the dry etching in the vacuum chamber for dry etching.例文帳に追加

パターン線幅を寸法規格と照合し、寸法規格に至らない際には、自動でフィードバックしてドライエッチング用真空チャンバー内でドライエッチングを継続して行う機能を備えたこと。 - 特許庁

To provide a resin raw material of a resist composition excellent in sensitivity, resolution, dry etching resistance and line edge roughness.例文帳に追加

感度、解像度、ドライエッチング耐性、ラインエッジラフネスに優れるレジスト組成物の樹脂原料を提供する。 - 特許庁

An exhaust line 15 connected with the chamber 13 is composed of a TMP 22 (turbo-molecular pump) and a dry pump 23.例文帳に追加

チャンバ１３に接続された排気ライン１５は、ＴＭＰ２２と、ドライポンプ２３と、から構成されている。 - 特許庁