Edge Exposureとは 意味・読み方・使い方

EDGE POSITION MEASURING METHOD AND APPARATUS THEREOF, AND EXPOSURE APPARATUS例文帳に追加

エッジ位置計測方法及び装置、並びに露光装置 - 特許庁

The degassing unit DG subjects a substrate to a degassing treatment after an edge exposure treatment by an edge exposure unit EEW and before an exposure treatment by an exposure apparatus 6.例文帳に追加

エッジ露光部ＥＥＷによるエッジ露光処理後であって露光装置６による露光処理前に、脱ガスユニットＤＧにより基板の脱ガス処理が行われる。 - 特許庁

To provide an edge exposure device which is capable of exposing the edge of a substrate to light having a uniform distribution of light intensity so as to carry out superior edge exposure.例文帳に追加

基板の端縁部を均一な光強度分布で露光して良好なエッジ露光処理を実施することができるエッジ露光装置を提供する。 - 特許庁

To provide an edge exposure system that can perform good exposure on the edge of a substrate by exposing the edge to the light having a uniform intensity distribution.例文帳に追加

基板の端縁部を均一な光強度分布で露光して良好なエッジ露光処理を実施することができるエッジ露光装置を提供する。 - 特許庁

To provide an exposure device capable of removing an immersion liquid in the edge of a substrate in immersion exposure.例文帳に追加

液浸露光において、基板の縁部の液浸液を除去する露光装置を提供する。 - 特許庁

The maskless exposure method of generating an exposure pattern and exposing a substrate with a reduced exposure pattern thereof is such that in subjecting an edge of the exposure pattern to emphasis processing during the exposure.例文帳に追加

露光パターンを生成し縮小させた該露光パターンで基板を露光するマスクレス露光方法であって、前記露光時に、前記露光パターンのエッジを強調処理することを特徴とする。 - 特許庁

An edge intensity value calculation part 55 calculates edge intensity at each pixel position of an edge evaluation image (the short exposure image, for instance) as an edge intensity value.例文帳に追加

エッジ強度値算出部５５は、エッジ評価画像（例えば短露光画像）の各画素位置におけるエッジ強度をエッジ強度値として算出する。 - 特許庁

To provide an aligner which has resistance to exposure light and liquid immersion even when exposure to an edge shot is performed.例文帳に追加

エッジショットの露光を行っても、露光光及び液浸水に耐性のある露光装置を提供する。 - 特許庁