Laminar Flow Clean Roomとは 意味・読み方・使い方

To provide an air flow control system for a clean room capable of reducing the running cost of the clean room by controlling the air flow of a plurality of air cleaners existing in the clean room to secure the proper laminar air flow of the clean room.例文帳に追加

クリーンルームの適当な層流が確保されるように、クリーンルームに存在する複数個の空気清浄器の風量を制御することによって、クリーンルームのランニングコストを低減させることが可能なクリーンルームの風量制御システムを提供する。 - 特許庁

A motor for controlling the speed of rotation is used, and the air is sucked into the same direction as the laminar flow direction by adjusting the capacity of every suction fan, so that the laminar flow is maintained in a clean room without causing diagonal flow as shown by an arrow.例文帳に追加

回転数制御できるモーターを使用し、各吸込みファン毎に能力を調整して層流方向と同方向に吸込むため、矢印に示すようにクリーンルームでは斜流を起こさず、層流を維持できる。 - 特許庁

In a full vertical laminar flow type clean room, lower suction is divided into a plurality of parts, and the lower suction is sucked into the same direction as the laminar flow direction by adjusting the fan capacity of every suction.例文帳に追加

全面鉛直層流型クリーンルームにおいて、下部吸込みを複数に分割し、各吸込み毎のファン能力を調整して層流方向と同方向に吸込むことを特徴とするクリーンルームである。 - 特許庁

To provide an installation structure of a fire sensor capable of maintaining a laminar flow without letting an air flow flowing into a room turbulent in a clean room or the like, and blocking collection of minute dust on the upper face of the fire sensor.例文帳に追加

クリーンルームなどにおいて、室内に流入する空気流が乱されることなく層流を維持することができ、かつ火災感知器の上面に微細な塵埃がたまることのない火災感知器の取付構造を提供すること。 - 特許庁

To provide a device which does not disturb the laminar flow of a down flow inside a down flow system clean room without causing a turbulence by a cup cover near the cup cover, when the cup cover of a spin coater device installed inside the clean room moves vertically.例文帳に追加

ダウンフロー方式のクリーンルーム内設置したスピンコーター装置のカップカバーの上下動作時、前記カップカバー近傍において、クリーンルーム内のダウンフローの層流を乱さず、カップカバーにあたり乱流することがない装置を提供することにある。 - 特許庁

To provide a structure for forming a high degree of cleanness region of a clean room to prevent the occurrence of oscillation even when an external force is exerted and a laminar flow is generated at the periphery of a manufacturing device.例文帳に追加

外力が加わっても揺らぎが生じず、さらに製造装置の周囲に層流を形成することのできるクリーンルームにおける高清浄度領域の形成用構造を提供する。 - 特許庁

To provide an opening and closing device for a photomask storage container for opening and closing an upper cap of a storage container for carrying in or out a photomask, the device capable of opening and closing while keeping cleanliness of a substrate in a vertical laminar flow type clean room environment.例文帳に追加

フォトマスクを搬入出のために収納容器の上蓋を開閉するフォトマスクの収納容器の開閉装置において、垂直層流型クリーンルーム環境において、基板の清浄度を維持しながら開閉することを可能ならしめる開閉装置を提供すること。 - 特許庁