Micropipeとは 意味・読み方・使い方

To provide a semiconductor device for preventing deterioration in element characteristics caused by a micropipe and transition and to provide a method for manufacturing the semiconductor device.例文帳に追加

マイクロパイプや転移に起因する素子特性の低下のない半導体素子及びその製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a semiconductor device that can block a micropipe existing in an SiC substrate.例文帳に追加

ＳｉＣ基板に存在するマイクロパイプを、閉塞させることが可能な半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁

To produce a high grade single crystal at high productivity, hardly containing lattice defect and micropipe defect.例文帳に追加

格子欠陥およびマイクロパイプ欠陥の非常に少ない高品位の単結晶を非常に生産性よく製造することができるようにする。 - 特許庁

In particular, the micropipe defect and in-base-plane defect can be discriminated from other defects by using the classifying method.例文帳に追加

特に、本発明による分類方法を用いることにより、マイクロパイプ欠陥及び基底面内欠陥を他の欠陥から区別することが可能である。 - 特許庁

To provide an epitaxial growth method for a silicon carbide single crystal which method hardly causes micropipe defects and improves the crystal growth rate.例文帳に追加

マイクロパイプ欠陥が発生しにくく、かつ結晶成長速度を向上させた炭化珪素単結晶のエピタキシャル成長方法を提供する。 - 特許庁

To reduce dislocation not only within a micropipe but also the surface of a base bottom, and to reduce lamination defects in a manufacturing method of an SiC substrate, the SiC substrate, and a semiconductor device.例文帳に追加

ＳｉＣ基板の製造方法及びＳｉＣ基板並びに半導体装置において、マイクロパイプだけでなく基底面内転位及び積層欠陥も低減すること。 - 特許庁

To provide an inspecting device that detect micropipe defects formed in an SiC substrate and an epitaxial layer and a defect in a base surface with high precision, and discriminates them from other defects.例文帳に追加

SiC基板及びエピタキシャル層に形成されたマイクロパイプ欠陥及び基底面内欠陥を高精度に検出でき、他の欠陥から区別できる検査装置を実現する。 - 特許庁

To eliminate the influence of micropipes, and to manufacture the silicon carbide rectifying element of a large area, using a silicon carbide substrate including the micropipe.例文帳に追加

マイクロパイプを含む炭化珪素基板を用いた炭化珪素整流素子において、マイクロパイプの影響を無くし、大面積の炭化珪素整流素子を歩留まりよく製造する。 - 特許庁