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意味・対訳 欠陥アニーリング

JST科学技術用語日英対訳辞書での「defect annealing」の意味

defect annealing


「defect annealing」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 32



例文

An n-type defect layer being a lattice defect is formed by the proton irradiation and the low-temperature annealing processing.例文帳に追加

プロトン照射とその低温アニール処理により格子欠陥であるn型欠陥層を形成できる。 - 特許庁

DEFECT ERASING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR WAFER AND METHOD FOR ANNEALING SEMICONDUCTOR WAFER例文帳に追加

半導体ウエハの欠陥消去装置及び半導体ウエハのアニ−ル方法 - 特許庁

The minute defect of the mold is corrected by laser-annealing only the surface of the mold.例文帳に追加

モールドの表面のみをレーザアニールすることでモールドの微小欠陥を修正する。 - 特許庁

When the thickness of the surface non-defect layer of the annealing wafer is evaluated, the surface of the annealing wafer is etched by an etchant, and an etching allowance up to the observation of a defect on a wafer surface is evaluated as the thickness of the non-defect layer.例文帳に追加

アニールウエーハの表面無欠陥層の厚さを評価するに際し、該アニールウエーハの表面をエッチング液によりエッチングし、ウエーハ表面に欠陥が観察されるまでのエッチング代を無欠陥層の厚さとして評価するようにした。 - 特許庁

To provide laser irradiation equipment used for annealing that can control the generation of a defect by developing an annealing method using a pulsed laser.例文帳に追加

パルスレーザを用いたアニール方法を発展させ、欠陥の発生を抑制することが可能なアニールに用いられるレーザ照射装置を提供する。 - 特許庁

To make a size of void defect small with a nitrogen dopant into a silicon single crystal bar and make the void defect extinct by using hydrogen annealing of the silicon wafer.例文帳に追加

シリコン単結晶棒への窒素ドープにてボイド状欠陥のサイズを小さくし、シリコンウェーハの水素アニール処理にてボイド状欠陥を消滅させる。 - 特許庁

例文

To provide a method for evaluating an annealing wafer solving the controversial point of a conventional technique and being capable of simply evaluating the annealing wafer, particularly the thickness of a non-defect layer formed on the surface of the annealing wafer accurately, and to provide the method for assuring the quality of the annealing wafer utilizing the evaluating method.例文帳に追加

従来技術の問題点を解消し、アニールウエーハ、特に、その表面に作られる無欠陥層の厚さを簡便に精度よく評価することのできるアニールウエーハの評価方法及びこの評価方法を利用したアニールウエーハの品質保証方法を提供する。 - 特許庁

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「defect annealing」の部分一致の例文検索結果

該当件数 : 32



例文

Subsequently, the wafer is subjected to continuous annealing for 10 seconds at 1,150°C under an atmosphere of oxidizing gas in the lamp furnace, as a second annealing step for injecting interstitial silicon into the void defect.例文帳に追加

その後、連続してランプ炉内でウェーハを酸化性ガスの雰囲気下、1150℃で10秒熱処理し、ボイド欠陥に格子間シリコンを注入する第2熱処理工程を施す。 - 特許庁

The magnetic recording medium 11 is characterized in that the defect occurrence frequency is reduced to 1/3 or below compared with the frequency when annealing treatment is not performed by performing the annealing treatment.例文帳に追加

アニール処理を行うことによって、アニール処理を行わない場合に比べて欠陥の発生頻度を1/3以下に減少したことを特徴とする磁気記録媒体11。 - 特許庁

To realize the miniaturization of crystal defect grains and the improvement of pulling up speed at the same time, and improving the production efficiency of a wafer for annealing.例文帳に追加

結晶欠陥の小粒化と引上げ速度の向上とを同時に実現し、アニール用ウエハの生産効率を向上させる。 - 特許庁

A high defect density layer 12 having a high oxygen concentration is formed in the interior of a semiconductor substrate 11, simultaneously with which it is subjected to a hydrogen annealing process to form a non-defect layer 13 on the surface layer.例文帳に追加

半導体基板11の内部に酸素濃度の高い高欠陥密度層12を形成すると共に表面層に無欠陥層13を形成するための水素アニール処理を行う。 - 特許庁

To restrain the bending defect of a deformed strip steel by constituting it so that the temperature of each portion in a coil is uniformly lowered in a bell-type annealing furnace.例文帳に追加

ベル型焼鈍炉において、コイルの各部が均一に降温するように構成することで、異形帯鋼の曲がり不良を抑制する。 - 特許庁

The manufacturing method of the semiconductor device includes the steps of: forming copper layers 5, 12 with plating; forming a defect capturing film 13 on the copper layers 5, 12; shifting a defect of the copper layers 5, 12 into the defect capturing film 13 by e.g., annealing; and removing the defect capturing film 13.例文帳に追加

本発明の半導体装置の製造方法は、銅層5、12をメッキにより形成する工程と、その銅層5、12上に欠陥捕獲膜13を形成する工程と、たとえばアニールにより銅層5、12中の欠陥を欠陥捕獲膜13中に移動させる工程と、欠陥捕獲膜13を除去する工程とを備えている。 - 特許庁

To provide a technique with which a defect in a coil, developed at the time of annealing the coil, is reduced and also any problem on the cost side is not posed while securing the productivity.例文帳に追加

コイルの焼鈍時に発生するコイル欠陥を低減すると共に生産性を確保しつつさらにコスト面からも問題ない技術を提供する。 - 特許庁

例文

To provide a technique with which the defect of a coil, developed at the time of annealing the coil, is reduced and also, while securing the productivity, further any problem is not developed to a cost level.例文帳に追加

コイルの焼鈍時に発生するコイル欠陥を低減すると共に生産性を確保しつつさらにコスト面からも問題ない技術を提供する。 - 特許庁

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「defect annealing」の意味に関連した用語

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