ei mとは 意味・読み方・使い方

To enhance the convergency of ions of same m/z, when emitting pulse-likely the ions in an ion source by an EI method.例文帳に追加

ＥＩ法によるイオン源でパルス的にイオンを出射させる場合に、同一m/zのイオンの収束性を高める。 - 特許庁

The projection optical system for exposing a photosensitive surface by projecting the image of the pattern surface on an original plate M to the photosensitive surface on a substrate P satisfies the conditions L/Ei<7 where L: the distance on the optical axis from the pattern surface and Ei: the diameter of the exposure region where the photosensitive surface is exposed.例文帳に追加

原版Ｍ上のパターン面の像を、基板Ｐ上の感光面に投影して感光面を露光する投影光学系において、Ｌ：パターン面から感光面までの光軸上の距離、Ｅｉ：感光面を露光する露光領域の直径、とするとき、Ｌ／Ｅｉ＜７なる条件を満足する。 - 特許庁