electrostatic focusとは 意味・読み方・使い方

In the periphery of the top edge of a susceptor 5, the annular focus ring 15 is so arranged as to surround a wafer W placed on an electrostatic chuck 11.例文帳に追加

サセプタ５の上端周縁部には、静電チャック１１上に載置されたウエハＷを囲むように、環状のフォーカスリング１５が配置されている。 - 特許庁

A shield ring 5 is arranged on an upper electrode 2 arranged in an etching device, and a focus ring 10 is arranged in an electrostatic chuck 6, and rough faces 5a and 10a are respectively formed on a portion of the exposed surfaces of the shield ring 5 and the focus ring 10.例文帳に追加

エッチング装置に設けられた上部電極２にシールドリング５を配置するとともに、静電チャック６にフォーカスリング１０を配置し、シールドリング５およびフォーカスリング１０の露出面の一部に粗面５ａ、１０ａをそれぞれ形成する。 - 特許庁

To provide an X-ray tube device of an electrostatic deflection system capable of economically realizing upgrade of an existing X-ray tube device and carrying out deflection moving of the X-ray focus so that there is no effect on a shape of the X-ray focus and a tube current of the X-ray tube.例文帳に追加

既存のＸ線管装置のアップグレイドを経済的に実現でき、Ｘ線焦点の形状やＸ線管の管電流に影響が出ないようにＸ線焦点を偏向移動できる静電偏向方式のＸ線管装置を提供する。 - 特許庁

To provide a color cathode-ray tube in which deformation and displacement of the correction electrode plate of flat plate-shape forming the electrostatic quadrupole lens are avoided and which has superior focus characteristics throughout the screen.例文帳に追加

静電四重極レンズを形成する平板状の補正電極板の変形、変位を回避して画面全体にわたってフォーカス特性の優れたカラー陰極線管を得る。 - 特許庁

This invention shows how to maintain the focus position 9 constant with the magnetic lens having the permanent magnetic material and the electrostatic lens irrespective of the particle energy of the beam 1.例文帳に追加

本発明は、永久磁気物質を備えた磁気レンズと静電レンズによってビーム１での粒子エネルギーと関係なく集束位置９をどのようにして一定に維持することができるかを示す。 - 特許庁

To provide an electrostatic chuck device capable of keeping constant the temperature of a focus ring during processing, stabilizing the temperature of the outer peripheral part of a planar sample, thereby uniformizing etching characteristics within a plane of the planar sample and preventing the deposition of deposit on the focus ring by adjusting the temperature of the focus ring provided so as to surround the planar sample of a silicon wafer or the like.例文帳に追加

シリコンウエハ等の板状試料を囲むように設けられたフォーカスリングの温度を調整することにより、処理中のフォーカスリングの温度を一定に保持することができ、板状試料の外周部の温度を安定化することができ、よって板状試料の面内におけるエッチング特性を均一化することができ、フォーカスリング上に堆積物が堆積するのを防止することができる静電チャック装置を提供する。 - 特許庁

To provide a cathode-ray tube that is equipped with an electron gun which prevents generation of a moire by appropriately correcting the beam shape by the electrostatic quadrupole lens for beam shaping and which has a high resolution property by obtaining a good focus property in the wide area of the screen picture.例文帳に追加

ビーム整形用の静電四重極レンズによるビーム形状の好適補正により、モアレの発生を抑制し、スクリーン画面広域で良好なフォーカス特性を得て、高解像度特性の電子銃を備えた陰極線管を提供する。 - 特許庁

Additionally, by arranging a second scanner so that a deflection center coincides with an incident side focus on a plane vertical to the scanning surface of ion beams composited by the device for making parallelism, the magnetic field type lens 40, or the electrostatic lens, precision in the parallelism in two directions of the ion beams can be improved further.例文帳に追加

また、平行化装置と、磁場型レンズ４０、又は、静電レンズにより合成されるイオンビームの走査面に垂直な平面での入射側焦点に、その偏向中心を一致させるように第２の走査器を配置すると、イオンビームの二方向の平行化精度を一層向上させることができる。 - 特許庁