gas familyとは 意味・読み方・使い方

A thin film on a semiconductor substrate is dry-etched by selectively generating desired dissociated species through interaction between an inert gas that is excited to a quasi-stable state in plasma and a fron-family gas, to accurately control the composition of the dissociated species from the reaction gas.例文帳に追加

半導体基板上の薄膜をドライエッチングするに際し、プラズマ中で準安定状態に励起させた不活性ガスと、フロン系ガスとを相互作用させて所望の解離種を選択的に得ることにより、反応ガスの解離種の組成制御を精密に行う。 - 特許庁

This device includes a charcoal furnace 1 that accommodates wood and performs carbonization for generating charcoal, a gasification furnace 2 that accommodates plant-family waste, burns the charcoal being generated in the charcoal furnace for performing the carbonization of the plant-family waste, and generates a combustible gas, and an incinerator 3 that burns the combustible gas and generates thermal energy.例文帳に追加

木材を収納し、乾留を行うことで木炭を生成する木炭炉（１）と、植物系廃棄物を収納し、木炭炉で生成された木炭を燃焼させることにより植物系廃棄物の乾留を行うことで、可燃性ガスを生成するガス化炉（２）と、可燃性ガスを燃焼することにより、熱エネルギーを生成する燃焼炉（３）とを具備する。 - 特許庁

The organic matter elimination mechanism 30 supplies a very small amount of an oxygen- family gas such as O2 and O3 gases between the substrates before the substrate W is thrown into the reaction chamber 1, and additionally supplies an nitrogen N2 gas between the substrates W for eliminating the organic matters from the substrate W.例文帳に追加

有機物除去機構３０は、基板Ｗを反応室１に投入する前に、基板Ｗ間に微量の酸素系ガス（Ｏ_2、Ｏ_3ガス等）を供給したうえで、さらに基板Ｗ間に窒素Ｎ_2ガスを供給して基板Ｗから有機物を除去する。 - 特許庁

The apparatus for fuel reforming decomposes a hydrogen nitride family fuel gas G containing at least one of ammonia and hydrazine by a catalytic reaction to generate hydrogen and nitrogen.例文帳に追加

本発明は、触媒反応によりアンモニアおよびヒドラジンの少なくとも一方からなる窒化水素系ガス燃料Ｇを分解して水素および窒素を生成する燃料改質装置である。 - 特許庁

Further, since the hydrogen nitride family fuel gas has high reactivity with a catalyst metal, the reforming reaction is synergistically promoted with activation of the catalyst by the microwave.例文帳に追加

さらに、窒化水素系ガス燃料は触媒金属との反応性が高いため、マイクロ波による触媒の活性化とあわせて相乗的に改質反応が促進される。 - 特許庁

After that, a feed gas for semiconductor crystal growth such as a GaN-family compound semiconductor is supplied to the substrate, and crystal growth is simply carried out from the upper part of the projection part 11, thus forming a first semiconductor layer 2.例文帳に追加

その後、この基板に例えばＧａＮ系化合物半導体などの半導体結晶成長用の原料ガスを供給し、凸部１１の上方部から専ら結晶成長させることで第１の半導体層２を形成する。 - 特許庁

To provide a load control system which is linked with various sensors such as a gas leak sensor or a fire detection sensor which can be installed at low costs and with a good looking with respect to an existing single-family housing or a multiple dwelling housing.例文帳に追加

既存の戸建て住宅や集合住宅など対して、低コストで、且つ、見栄えよく設置可能なガス漏れセンサや火災検知センサなどの各種センサに連動した負荷制御システムを提供する。 - 特許庁

To provide a calculating method, a calculating device, a computer program and a recording media for calculating a prediction amount to properly evaluate a situation of energy saving of consumption objects such as gas, electricity, water and the like by family.例文帳に追加

ガス、電気及び水道水等の消費対象の省エネルギの状況を、世帯毎に適切に評価すべく予測量を算出する算出方法、算出装置、コンピュータプログラム及び記録媒体を提供する。 - 特許庁