hot substrateとは 意味・読み方・使い方

HOT WORKING METHOD OF MULLITE BASE CERAMIC SUBSTRATE USING KAOLIN CLAY例文帳に追加

カオリン粘土を用いたムライト基セラミック基板の熱間加工法 - 特許庁

A surface oxide film 4 is formed on a silicon substrate 1 with a hot oxidation method.例文帳に追加

シリコン基板１に熱酸化法により表面酸化膜４を形成する。 - 特許庁

The substrate is placed on a hot plate when the gas is blown.例文帳に追加

さらに、その気体を吹き付ける際に、ホットプレート上に基板を載せておく。 - 特許庁

The substrate body 2 and the heat sink 3 are then hot pressed vertically.例文帳に追加

基板本体２および放熱板３を上下から加圧しつつ加熱する。 - 特許庁

To uniformly heat a substrate by controlling deformation through heating of a hot plate itself.例文帳に追加

熱による熱板自体の変形を抑制し，基板を均一に加熱する。 - 特許庁

To position a substrate in a predetermined position on a hot plate easily.例文帳に追加

基板を容易にホットプレート上の所定位置に位置決めする。 - 特許庁

In a substrate heating chamber 21 a hot plate 22 for heating a substrate is provided.例文帳に追加

基板加熱室２１内には、基板を加熱するためのホットプレート２２が備えられている。 - 特許庁

The heating device which cools the substrate heated by a hot plate at a cooling position close to the hot plate, is provided with the hot plate 45 for heating the substrate or a wafer W from the lower side in a heating chamber 4 equipped with the inbound exit of the wafer W.例文帳に追加

加熱装置は、ウエハＷの搬入出口が備わった加熱室４内に、基板であるウエハＷを下方側から加熱する熱板４５を有している。 - 特許庁